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公開番号2025170617
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-19
出願番号2024075350
出願日2024-05-07
発明の名称ピックアップユニット、実装装置及びピックアップ方法
出願人株式会社新川
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20251112BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】シートの表面からチップ部品を確実に剥離する。
【解決手段】ピックアップユニット30は、ステージ35と、独立して昇降可能に構成されステージ35により保持されたダイシングシート120の裏面120bを介して半導体チップ101を突き上げる複数のブロック40と、複数のブロック40をそれぞれ昇降させる複数の昇降駆動装置37と、複数の昇降駆動装置37の動作を制御するピックアップ用コントローラ70と、を備える。ピックアップ用コントローラ70は、複数のブロック40を上昇させる上昇動作処理と、複数のブロック40を順次に下降させる下降動作処理と、下降動作処理にて下降させるブロック40をピックアップ動作に伴って上下動するように動作させる上下動作処理と、を実行する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
シートの表面上に貼り付けられたチップ部品を前記シートからピックアップする際に用いられるピックアップユニットであって、
前記シートを吸着して保持するステージと、
それぞれ独立して昇降可能に構成され、前記ステージにより保持された前記シートの裏面を介して前記チップ部品を突き上げる複数の突上げ部と、
複数の前記突上げ部をそれぞれ昇降させる複数の昇降駆動部と、
複数の前記昇降駆動部の動作を制御する駆動制御部と、を備え、
前記駆動制御部は、
複数の前記突上げ部を、前記チップ部品を突き上げる突上げ位置まで上昇させる第１動作処理と、
前記第１動作処理の後、複数の前記突上げ部を順次に下降させる第２動作処理と、
前記第２動作処理にて下降させる前記突上げ部を、ピックアップ動作に伴って上下動するように動作させる第３動作処理と、を実行する、ピックアップユニット。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
複数の前記突上げ部は、平面視において同心状に配置され、
前記第２動作処理では、外側の前記突上げ部から内側の前記突上げ部の順で、複数の前記突上げ部を順次に下降させる、請求項１に記載のピックアップユニット。
【請求項３】
前記第３動作処理では、前記第２動作処理にて下降させる複数の前記突上げ部のうち少なくとも最初に下降させる１又は複数の前記突上げ部を上下動するように動作させる、請求項１に記載のピックアップユニット。
【請求項４】
前記第３動作処理では、前記第２動作処理にて下降させる１又は複数の前記突上げ部を、当該下降の前に、もしくは、当該下降と同時に、又は、当該下降の前であって当該下降よりも下降量が小さい予備下降の後に、上下動するように動作させる、請求項１に記載のピックアップユニット。
【請求項５】
前記ステージは、前記シートが載置される載置面と、前記載置面に開口する開口部と、を含み、
複数の前記突上げ部は、前記開口部の内部に配置され、
前記開口部の内部のエアを吸引する吸引部を更に備え、
前記吸引部は、前記第３動作処理の実行中には吸引を開始及び停止しない、請求項１に記載のピックアップユニット。
【請求項６】
複数の前記突上げ部は、
第１ブロックと、平面視で前記第１ブロックの外側を囲うように配置される第２ブロックと、平面視で前記第２ブロックの外側を囲うように配置される第３ブロックと、平面視で前記第３ブロックの外側を囲うように配置される第４ブロックと、を含み、
前記第２動作処理では、
前記第４ブロックの下降、前記第３ブロックの下降、前記第２ブロックの下降、及び第１ブロックの下降をこの順で開始させ、
前記第３動作処理では、
前記第４ブロックの下降開始前に、前記第４ブロックを上下動するように動作させ、
前記第４ブロックの下降開始後で且つ前記第３ブロックの下降開始前に、前記第３ブロックを上下動するように動作させ、
前記第３ブロックの下降開始後で且つ前記第２ブロックの下降開始前に、前記第２ブロックを上下動するように動作させ、
前記第２ブロックの下降開始後で且つ前記第１ブロックの下降開始前に、前記第１ブロックを上下動するように動作させる、請求項１に記載のピックアップユニット。
【請求項７】
前記第３動作処理の前記上下動は、前記第２動作処理で複数の前記突上げ部を下降させる距離の０．１～０．２５倍の移動距離の上昇動作及び下降動作を複数含む、請求項１に記載のピックアップユニット。
【請求項８】
前記チップ部品を吸着して保持し、前記チップ部品を前記シートからピックアップするチップ保持部を更に備え、
前記駆動制御部は、
前記チップ保持部の動作を更に制御し、
前記第２及び第３動作処理の前に、前記第１動作処理にて突き上げたチップ部品を前記チップ保持部に吸着させる第４動作処理を実行する、請求項１に記載のピックアップユニット。
【請求項９】
請求項１～８の何れか一項に記載のピックアップユニットと、
前記ピックアップユニットがピックアップした前記チップ部品を基板にボンディングするボンディングユニットと、を備える、実装装置。
【請求項１０】
シートの表面上に貼り付けられたチップ部品を前記シートからピックアップする際に実施されるピックアップ方法であって、
複数の突上げ部を上昇させ、ステージに吸着されて保持された前記シートの裏面を介して複数の当該突上げ部により前記チップ部品を突き上げる第１工程と、
前記第１工程の後、複数の前記突上げ部を順次に下降させる第２工程と、
前記第２工程にて下降させる前記突上げ部を、ピックアップ動作に伴って上下動するように動作させる第３工程と、を備える、ピックアップ方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピックアップユニット、実装装置及びピックアップ方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
シートの表面上に貼り付けられたチップ部品をシートからピックアップする際、ピックアップユニットが用いられる場合がある。ピックアップユニットでは、ステージでシートを吸着して保持し、複数の突上げ部を上昇させてシートの裏面を介してチップ部品を突き上げると共に、当該チップ部品を吸着して保持する。その後、複数の突上げ部を下降させることにより、当該チップ部品をピックアップする。このようなピックアップユニットに関する技術として、例えば特許文献１に記載されたピックアップ装置が知られている。
【０００３】
特許文献１に記載されたピックアップ装置では、ステージの開口の内部に複数の突上げ部（移動要素）が配置され、チップ部品（半導体ダイ）をピックアップする際、複数の突上げ部を下降させる前に、真空に近い第１圧力と大気圧に近い第２圧力との間で開口圧力を複数回切換える。これにより、シートの表面からチップ部品を容易に剥離することが図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－１７９８１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、例えば高集積化等の要求に応じてチップ部品の厚さが益々薄くなる中、上述したような技術では、シートの表面からのチップ部品の剥離を上手く行えず、エラーが生じてしまうおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明は、シートの表面からチップ部品を確実に剥離することが可能なピックアップユニット、実装装置及びピックアップ方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一形態のピックアップユニットは、シートの表面上に貼り付けられたチップ部品をシートからピックアップする際に用いられるピックアップユニットであって、シートを吸着して保持するステージと、それぞれ独立して昇降可能に構成され、ステージにより保持されたシートの裏面を介してチップ部品を突き上げる複数の突上げ部と、複数の突上げ部をそれぞれ昇降させる複数の昇降駆動部と、複数の昇降駆動部の動作を制御する駆動制御部と、を備え、駆動制御部は、複数の突上げ部を、チップ部品を突き上げる突上げ位置まで上昇させる第１動作処理と、第１動作処理の後、複数の突上げ部を順次に下降させる第２動作処理と、第２動作処理にて下降させる突上げ部を、ピックアップ動作に伴って上下動するように動作させる第３動作処理と、を実行する。
【０００８】
このピックアップユニットでは、シートの表面上に貼り付けられたチップ部品をシートからピックアップ（以下、単に「チップ部品をピックアップ」ともいう）する際、複数の突上げ部を突上げ位置まで上昇させ、シートの裏面を介してチップ部品を突き上げた後、複数の突上げ部を順次に下降させる。ここで、下降させる突上げ部をピックアップ動作に伴って上下動するように動作させる。このような突上げ部の上下動により、シートの表面からのチップ部品の剥離を促進することができ、チップ部品をシートの表面から確実に剥離させることが可能となる。その結果、チップ部品の剥離ミスによるエラーの発生を低減することが可能となる。
【０００９】
上記のピックアップユニットにおいて、複数の突上げ部は、平面視において同心状に配置され、第２動作処理では、外側の突上げ部から内側の突上げ部の順で、複数の突上げ部を順次に下降させてもよい。このように、第２動作処理において外側の突上げ部から内側の突上げ部の順で複数の突上げ部を順次に下降させることにより、シートの表面からチップ部品を一層確実に剥離させることが可能となる。
【００１０】
上記のピックアップユニットにおいて、第３動作処理では、第２動作処理にて下降させる複数の突上げ部のうち少なくとも最初に下降させる１又は複数の突上げ部を上下動するように動作させるてもよい。複数の突上げ部を下降させる場合、通常、最初に突上げ部を下降した際にシートからチップ部品を上手く剥離できないことが多い。そのため、少なくとも最初に下降する突上げ部を上下動させることで、シートからチップ部品を確実且つ効果的に剥離することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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