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公開番号2025168593
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2025149916,2021095633
出願日2025-09-10,2021-06-08
発明の名称ひずみゲージ
出願人ミネベアミツミ株式会社
代理人弁理士法人ITOH
主分類G01B 7/00 20060101AFI20251030BHJP(測定;試験)
要約【課題】耐ひずみ性を向上可能なひずみゲージを提供する。
【解決手段】本ひずみゲージは、可撓性を有する基材と、前記基材上に、Cr、CrN、及びCr₂Nを含む膜から形成された抵抗体と、を有し、測定対象物のひずみ方向に対して前記抵抗体のグリッド方向が直交するように、前記測定対象物に貼り付けられる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
可撓性を有する基材と、
前記基材上に、Ｃｒ、ＣｒＮ、及びＣｒ
２
Ｎを含む膜から形成された抵抗体と、
前記基材上に形成され、配線を介して前記抵抗体と電気的に接続された一対の電極と、を有し、
前記配線は、前記抵抗体のグリッド方向に対して傾斜する部分を含む、ひずみゲージ。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
前記配線は、前記抵抗体のグリッド方向に対して垂直方向に伸びる部分を含む、請求項１に記載のひずみゲージ。
【請求項３】
測定対象物のひずみ方向に対して前記抵抗体のグリッド方向が平行になるように、前記測定対象物に貼り付けられる、請求項１又は２に記載のひずみゲージ。
【請求項４】
前記電極は、前記抵抗体を挟んで前記ひずみ方向と直交する方向の両側に配置されている、請求項３に記載のひずみゲージ。
【請求項５】
前記配線は、前記電極と接続される部分に折り返し部を有する、請求項１乃至４の何れか一項に記載のひずみゲージ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ひずみゲージに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
測定対象物に貼り付けて、測定対象物のひずみを検出するひずみゲージが知られている。ひずみゲージは、ひずみを検出する抵抗体を備えており、抵抗体は、例えば、絶縁性樹脂上に形成されている。抵抗体は、例えば、配線を介して、電極と接続されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－７４９３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ひずみゲージは起歪体へ貼り付けられ、起歪体の動きに追従し伸び縮みすることで、起歪体のひずみ量を検出する。そのため、より大きなひずみ量を検出するためには、伸び縮みの過程でひずみゲージ自身が破損してはならず、より高い耐ひずみ性が求められている。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、耐ひずみ性を向上可能なひずみゲージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本ひずみゲージは、可撓性を有する基材と、前記基材上に、Ｃｒ、ＣｒＮ、及びＣｒ
２
Ｎを含む膜から形成された抵抗体と、前記基材上に形成され、配線を介して前記抵抗体と電気的に接続された一対の電極と、を有し、前記配線は、前記抵抗体のグリッド方向に対して傾斜する部分を含む。
【発明の効果】
【０００７】
開示の技術によれば、耐ひずみ性を向上可能なひずみゲージを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係るひずみゲージを例示する平面図である。
第１実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その１）である。
第１実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その２）である。
ひずみゲージの貼り付け方向について説明する図（その１）である。
第１実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その３）である。
第１実施形態の変形例１に係るひずみゲージを例示する平面図である。
ひずみゲージの貼り付け方向について説明する図（その２）である。
第１実施形態の変形例２に係るひずみゲージを例示する平面図（その１）である。
第１実施形態の変形例２に係るひずみゲージを例示する平面図（その２）である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１０】
〈第１実施形態〉
図１は、第１実施形態に係るひずみゲージを例示する平面図である。図２は、第１実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その１）であり、図１のＡ－Ａ線に沿う断面を示している。図３は、第１実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その２）であり、図１のＢ－Ｂ線に沿う断面を示している。なお、図１に示す矢印Ｅは、ひずみゲージ１が貼り付けられる測定対象物のひずみ方向（伸縮方向）を示している。
（【００１１】以降は省略されています）

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