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公開番号2025166445
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-06
出願番号2024070506
出願日2024-04-24
発明の名称ダイアフラムポンプの製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類F04B 43/04 20060101AFI20251029BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】ダイアフラムポンプに弁を組み付ける際に生じる位置ずれを抑制したダイアフラムポンプの製造方法を提供する。
【解決手段】第1の貫通孔および第2の貫通孔を備えた第1の部材を用意する用意工程と、前記第1の貫通孔の開口および前記第2の貫通孔の開口を覆うように、前記第1の部材とフィルムとを接合するフィルム接合工程と、前記フィルムを切断して、前記第1の貫通孔の開口を開閉する第1の弁と、前記第2の貫通孔の開口を開閉する第2の弁と、を形成する弁形成工程と、凹部が形成された第2の部材を、前記凹部が前記第1の貫通孔と前記第2の貫通孔とを連通させるように、前記第1の部材の前記フィルムが接合された側の面に接合する第2の部材接合工程と、を含むダイアフラムポンプの製造方法であって前記弁形成工程は前記フィルム接合工程後に行うことを特徴とするダイアフラムポンプの製造方法。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１の貫通孔および第２の貫通孔を備えた第１の部材を用意する用意工程と、
前記第１の貫通孔の開口および前記第２の貫通孔の開口を覆うように、前記第１の部材とフィルムとを接合するフィルム接合工程と、
前記フィルムを切断して、前記第１の貫通孔の開口を開閉する第１の弁と、前記第２の貫通孔の開口を開閉する第２の弁と、を形成する弁形成工程と、
凹部が形成された第２の部材を、前記凹部が前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とを連通させるように、前記第１の部材の前記フィルムが接合された側の面に接合する第２の部材接合工程と、
を含むダイアフラムポンプの製造方法であって、
前記ダイアフラムポンプは、前記第１の貫通孔、前記第１の弁、前記凹部、前記第２の弁、前記第２の貫通孔の順に流体を流動し、
前記弁形成工程は前記フィルム接合工程後に行うことを特徴とするダイアフラムポンプの製造方法。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記凹部を覆うように、前記第２の部材とダイアフラムとを接合するダイアフラム接合工程を含む、請求項１に記載のダイアフラムポンプの製造方法。
【請求項３】
前記ダイアフラム接合工程は、レーザーの照射により前記第２の部材と前記ダイアフラムとを接合する、請求項２に記載のダイアフラムポンプの製造方法。
【請求項４】
前記ダイアフラムの前記凹部を覆う側の面の裏面に、前記ダイアフラムを変形させるための圧電ユニットを接合する圧電ユニット接合工程を含む、請求項２に記載のダイアフラムポンプの製造方法。
【請求項５】
前記圧電ユニット接合工程は、前記圧電ユニットと前記ダイアフラムとを接着剤により接着する、請求項４に記載のダイアフラムポンプの製造方法。
【請求項６】
前記圧電ユニットは、電圧の印加により変位する圧電素子と、金属を含む振動版と、を備え、
前記圧電ユニット接合工程は、前記振動版と前記ダイアフラムとを接着剤により接着する、請求項５に記載のダイアフラムポンプの製造方法。
【請求項７】
前記フィルム接合工程において、前記第１の貫通孔の開口および前記第２の貫通孔の開口は、それぞれ別体の前記フィルムに覆われる、請求項１に記載のダイアフラムポンプの製造方法。
【請求項８】
前記フィルム接合工程は、前記フィルムと前記第１の部材とを熱溶着する、請求項１に記載のダイアフラムポンプの製造方法。
【請求項９】
前記第１の部材は、前記フィルムと熱溶着されるためのリブを有している、請求項８に記載のダイアフラムポンプの製造方法。
【請求項１０】
前記弁形成工程は、レーザーの照射により前記フィルムを切断する、請求項１に記載のダイアフラムポンプの製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイアフラムポンプの製造方法に関するものである。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
高い精度で定量の流体を圧送するポンプとしてダイアフラムポンプが知られている。ダイアフラムポンプは、圧力を発生させるアクチュエーターと、アクチュエーターの発生する圧力により変形するダイアフラムと、ダイアフラムの変形に伴って容積が変化するポンプ室と、を備えている。ダイアフラムの変形に伴ってポンプ室の容積が拡大すると、ポンプ室内部の圧力が小さくなり、ダイアフラムポンプの外部から流体がポンプ室に流入する。一方、ポンプ室の容積が縮小すると、ポンプ室内部の圧力が大きくなり、ポンプ室から外部へ流体が流出する。また、ダイアフラムポンプは、流体がポンプ室に流入する流入孔及び流体がポンプ室から流出する流出孔に逆止弁を配置することで、一方通行の流体の流れを作りだす。ポンプ室への流体の流出と、ポンプ室からの流体の流出を繰り返すことでポンプとして機能を果たす。
【０００３】
このようなダイアフラムポンプは、ポンプ室内の容積変化から生じる圧力差を利用して流体の流入及び流出を繰り返すため、逆止弁の開閉により生じる圧力損失が小さい程ポンプ性能が向上する。そのため、逆止弁としては、薄く可撓性のあるフィルムやゴム等が使用される。
【０００４】
特許文献１には、そのような弁が使用されたダイアフラムポンプが開示されている。特許文献１に開示されているダイアフラムポンプは、弁形状に加工されたフィルムを、部材に挟み込むことによって製造されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００１－１９３６５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら。弁が薄いフィルムやゴム材等の場合には弁自体の重量が非常に軽い。さらには、剛性が小さいため弁を部材へ組付けする際の取り扱いが困難であり、弁を組み付ける際に位置ずれが生じやすい。位置ずれが生じると、ダイアフラムポンプが正常に動作しない懸念がある。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑み、ダイアフラムポンプに弁を組み付ける際に生じる位置ずれを抑制したダイアフラムポンプの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のダイアフラムポンプの製造方法は、第１の貫通孔および第２の貫通孔を備えた第１の部材を用意する用意工程と、前記第１の貫通孔の開口および前記第２の貫通孔の開口を覆うように、前記第１の部材とフィルムとを接合するフィルム接合工程と、前記フィルムを切断して、前記第１の貫通孔の開口を開閉する第１の弁と、前記第２の貫通孔の開口を開閉する第２の弁と、を形成する弁形成工程と、凹部が形成された第２の部材を、前記凹部が前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とを連通させるように、前記第１の部材の前記フィルムが接合された側の面に接合する第２の部材接合工程と、を含むダイアフラムポンプの製造方法であって、前記ダイアフラムポンプは、前記第１の貫通孔、前記第１の弁、前記凹部、前記第２の弁、前記第２の貫通孔の順に流体を流動し、前記弁形成工程は前記フィルム接合工程後に行うことを特徴とするダイアフラムポンプの製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ダイアフラムポンプに弁を組み付ける際に生じる位置ずれを抑制したダイアフラムポンプの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
ダイアフラムポンプの外観斜視図。
ダイアフラムポンプの分解斜視図
駆動状態のダイアフラムポンプの断面図。
ダイアフラムポンプの製造工程を示すフロー図。
第１の部材の斜視図。
第１の部材にフィルムを接合する前の概略図。
第１の部材にフィルムを押し当てる工程を示す概略図。
第１の部材にフィルムを接合する最中の概略図
フィルムをロールから切り離す工程を示す概略図。
フィルム接合後の第１の部材の概略図。
流入孔の開口の近傍の拡大図。
第１の弁の斜視図。
第１の弁および第２の弁が接合された第１の部材の斜視図。
ダイアフラムポンプを第１の部材側から見た外観図。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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