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公開番号2025162661
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-28
出願番号2024065982
出願日2024-04-16
発明の名称センサ装置の製造方法
出願人株式会社デンソー
代理人弁理士法人服部国際特許事務所
主分類G01B 21/32 20060101AFI20251021BHJP(測定;試験)
要約【課題】計測対象の状態を適切に検出可能なセンサ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】状態監視センサ1の製造方法は、熱プレス工程と、気泡除去工程と、冷却工程と、を含む。状態監視センサ1は、弾性変形により発熱または吸熱する弾性部20と、弾性部20の変形により生じた熱流を検出可能であって弾性部20に封止されているセンサ部10と、を備える。熱プレス工程では、弾性部20が溶融する温度にてセンサ部10をモールドする。気泡除去工程では、熱プレス工程の後、弾性部20の荷重たわみ温度まで冷却して真空引きおよびプレスを行う。冷却工程では、状態監視センサ1を常温まで冷却する。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
弾性変形により発熱または吸熱する弾性部（２０）と、前記弾性部の変形により生じた熱流を検出可能であって前記弾性部に封止されているセンサ部（１０）と、を備えるセンサ装置（１）の製造方法であって、
前記弾性部が溶融する温度にて前記センサ部をモールドする熱プレス工程（Ｓ１４、Ｓ２６）と、
前記熱プレス工程の後、前記弾性部の荷重たわみ温度まで冷却して真空引きおよびプレスを行う気泡除去工程（Ｓ１６、Ｓ２８）と、
常温まで冷却する冷却工程（Ｓ１７、Ｓ２９）と、
を含むセンサ装置の製造方法。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
前記熱プレス工程の前に、前記弾性部の荷重たわみ温度にてプレスを行う予備加熱工程（Ｓ２４）を含む請求項１に記載のセンサ装置の製造方法。
【請求項３】
前記弾性部が溶融する温度にて保温可能な第１プレス装置（９１）、および、前記弾性部の荷重たわみ温度にて保温可能な第２プレス装置（９２）が用いられ、
前記第１プレス装置および前記第２プレス装置の一方から他方へ前記センサ装置を搬送する搬送工程（Ｓ１５、Ｓ２５、Ｓ２７）を含む請求項１または２に記載のセンサ装置の製造方法。
【請求項４】
前記センサ装置および押し型（８５）を内部に収容可能な真空容器（３０）が用いられ、
前記真空容器は、前記センサ装置を内部に収容して真空引きを継続した状態にて、前記第１プレス装置と前記第２プレス装置とを移動可能、かつ、前記第１プレス装置および前記第２プレス装置にてプレス可能である請求項３に記載のセンサ装置の製造方法。
【請求項５】
前記真空容器は、弾性変形可能であって、前記押し型を挟持するダイヤフラムプレート（３２、４２）を有し、
前記第１プレス装置および前記第２プレス装置では、前記ダイヤフラムプレートの外側からプレス荷重を印加する請求項４に記載のセンサ装置の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基準に対する部材の位置変化を検出可能な位置検出センサが知られている。例えば特許文献１では、弾性部材の発熱または吸熱による熱流束の変化を検出することで、被検出体のベースに対する位置変化を検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－７８７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
位置検知センサの弾性体として、熱弾性係数が大きい樹脂（例えば超高分子ポリエチレン：ＵＰＥ）が使われる場合があるが、高温（例えば９０℃以上）となる箇所に適用する場合、荷重たわみ温度を超えて弾性体の剛性が低下すると、センサ感度が低下する。一方、荷重たわみ温度が高い樹脂を用いる場合、モールド時の流動性が低く、確実にモールドすべく樹脂を沸点まで加熱すると、冷却後に気泡が残ることで剛性が低下し、センサ感度が低下する。
【０００５】
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、計測対象の状態を適切に検出可能なセンサ装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、弾性変形により発熱または吸熱する弾性部（２０）と、弾性部の変形により生じた熱流を検出可能であって弾性部に封止されているセンサ部（１０）と、を備えるセンサ装置（１）の製造方法であって、熱プレス工程（Ｓ１４、Ｓ２６）と、気泡除去工程（Ｓ１６、Ｓ２８）と、冷却工程（Ｓ１８、３０）と、を含む。
【０００７】
熱プレス工程では、弾性部が溶融する温度にてセンサ部をモールドする。気泡除去工程では、熱プレス工程の後、荷重たわみ温度まで冷却して真空引きおよびプレスを行う。冷却工程では、センサ装置を常温まで冷却する。これにより、計測対象の状態を適切に検出可能なセンサ装置を製造可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態による状態監視センサの側面図である。
状態監視センサの製造工程の概要を説明する説明図である。
図２の製造工程を説明するタイムチャートである。
弾性部に気泡が残る状態を説明する説明図である。
第１実施形態による真空容器を示す平面図である。
図５のＶＩ－ＶＩ線断面図である。
第１実施形態による真空容器のプレス時の挙動を説明する断面図である。
第１実施形態による状態監視センサの製造方法を説明するフローチャートである。
第１実施形態による状態監視センサの製造方法を説明するタイムチャートである。
第１実施形態による状態監視センサの製造方法を説明する説明図である。
状態監視センサの製造において、局所的な沸騰が生じる場合を説明する説明図である。
第２実施形態による状態監視センサの製造方法を説明するフローチャートである。
第２実施形態による状態監視センサの製造方法を説明するタイムチャートである。
第２実施形態による状態監視センサの製造方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明によるセンサ装置の製造方法を図面に基づいて説明する。以下、複数の実施形態において、実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。図１に示すように、センサ装置としての状態監視センサ１は、センサ部１０と、配線部１３と、弾性部２０と、を備える。
【００１０】
センサ部１０は、熱流センサであって、熱の流れを電圧信号に変換して出力する。センサ部１０は、熱流センサ素子を有し、平面視略矩形の平板状に形成されている。センサ部１０は、熱プレス加工工程を経て製造されたものを用いる。
（【００１１】以降は省略されています）

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