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公開番号2025164465
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-30
出願番号2024068467
出願日2024-04-19
発明の名称センサ装置
出願人株式会社デンソー
代理人弁理士法人服部国際特許事務所
主分類G12B 17/02 20060101AFI20251023BHJP(器械の細部)
要約【課題】ノイズの影響を低減可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】状態監視センサ1は、センサ部10と、ケーブル部40と、を備える。センサ部10は、基材11、12に設けられる熱電素子、基材11、12の一方側の面に設けられる第1配線層21、および、基材11、12の他方側の面に設けられる第2配線層22を有し、弾性部に封止されている。ケーブル部40は、信号線41、42、および、シールド線45を有する。第1配線層21および第2配線層22の少なくとも一方には、信号線41と接続されるセンサ端子211、221、および、シールド線45と接続されるアース端子213が形成されている。アース端子213は、熱電素子が設けられる素子形成領域を覆うカバー部215と、接続部214を経由して接続されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基材（１１、１２）に設けられるセンサ素子（１１１、１１２、１２１、１２２）、前記基材の一方側の面に設けられる第１配線層（１１）、および、前記基材の他方側の面に設けられる第２配線層（１２）を有し、封止部（５０）に封止されているセンサ部（１０）と、
信号線（４１、４２）、および、シールド線（４５）を有するケーブル部（４０）と、
を備え、
前記第１配線層および前記第２配線層の少なくとも一方には、前記信号線と接続されるセンサ端子（２１１、２２１）、および、前記シールド線と接続されるアース端子（２１３、２２３）が設けられており、
前記アース端子は、前記センサ素子が設けられる素子形成領域を覆うカバー部（２１５、２２５）と、接続部（２１４、２２４）を経由して接続されているセンサ装置。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
前記アース端子は、前記第１配線層および前記第２配線層に設けられており、
前記シールド線は、先端が２つに分岐しており、一方が前記第１配線層の前記アース端子と接続され、他方が前記第２配線層の前記アース端子と接続されている請求項１に記載のセンサ装置。
【請求項３】
前記アース端子は、前記第１配線層に設けられており、前記基材に設けられる導電素子（１１５、１２５）およびスルーホール（２１６、２２６）を経由して、前記第２配線層の前記カバー部と電気的に接続されている請求項１に記載のセンサ装置。
【請求項４】
前記接続部は、前記アース端子より幅狭に形成されている請求項１～３のいずれか一項に記載のセンサ装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、計測対象の熱流の変化を検出する状態検出センサが知られている。例えば特許文献１の状態検出センサは、第１絶縁層、第１基材、中間絶縁層、第２基材および第２絶縁層が積層されており、厚さ方向に通過する熱流の向きおよび熱量に応じた熱起電力をセンサ信号として出力する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－２３１６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば特許文献１のような状態検出センサでは、シールド線を金属体にねじ止めすることでノイズ対策をしている場合がある。しかしながら、状態検出センサの設置位置によっては、シールド線のねじ止めが難しい場合がある。また、検出対象によって必要となるシールド線の長さが異なり、センサの仕様を決めることが難しい。
【０００５】
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノイズの影響を低減可能なセンサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のセンサ装置は、センサ部（１０）と、ケーブル部（４０）と、を備える。センサ部は、センサ素子（１１１、１１２、１２１、１２２）、第１配線層（２１）、および、第２配線層（２２）を有し、封止部（５０）に封止されている。センサ素子は、基材（１１、１２）に設けられている。第１配線層は、基材の一方側の面に設けられる。第２配線層は、基材の他方側の面に設けられる。ケーブル部は、信号線（４１、４２）、および、シールド線（４５）を有する。
【０００７】
第１配線層および第２配線層の少なくとも一方には、信号線と接続されるセンサ端子（２１１、２２１）、および、シールド線と接続されるアース端子（２１３、２２３）が設けられている。アース端子は、センサ素子が形成される素子形成領域を覆うカバー部（２１５、２２５）と、接続部（２１４、２２４）を経由して接続されている。これにより、ノイズの影響を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態による状態監視センサの平面図である。
図１のＩＩ－ＩＩ線断面図である。
図１のＩＩＩ－ＩＩＩ線断面図である。
図１のＩＶ－ＩＶ線断面図である。
第１実施形態による状態監視センサを設備に配置した状態を示す説明図である。
第２実施形態による状態監視センサの平面図である。
図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線断面図である。
第３実施形態による状態監視センサの平面図である。
図８のＩＸ－ＩＸ線断面図である。
図８のＸ－Ｘ線断面図である。
（ａ）は参考例による状態監視センサの平面図、（ｂ）は参考例による状態監視センサを設備に配置した状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明によるセンサ装置を図面に基づいて説明する。以下、複数の実施形態において、実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
【００１０】
（第１実施形態）
第１実施形態を図１～図５に示す。図１～図５に示すように、センサ装置としての状態監視センサ１は、センサ部１０と、ケーブル部４０と、弾性部５０（図５参照）と、を備える。状態監視センサ１は、熱流センサであって、熱の流れを電圧信号に変換して出力する。
（【００１１】以降は省略されています）

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