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公開番号2025156848
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-15
出願番号2024059567
出願日2024-04-02
発明の名称半導体装置
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類H10H 20/857 20250101AFI20251007BHJP()
要約【課題】導体層が基材の切断面において露出することを抑制可能な半導体装置を提供するものである。
【解決手段】半導体装置(100,300)は、基板(10)を備えている。基板は、基材(11)と、第1導体層(12)及び第2導体層(13)とを有する。基材は、第1主面(11a)と第1主面の反対面である第2主面(11b)とを有する。第1導体層及び第2導体層は、それぞれ第1主面上及び第2主面上に配置されている。平面視において、第1導体層は第1主面の外周縁から離間しており、かつ第2導体層は第2主面の外周縁から離間している。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
基板を備え、
前記基板は、基材と、第1導体層及び第2導体層とを有し、
前記基材は、第1主面と、前記第1主面の反対面である第2主面とを有し、
前記第1導体層及び前記第2導体層は、それぞれ前記第1主面上及び前記第2主面上に配置されており、
平面視において、前記第1導体層は前記第1主面の外周縁から離間しており、かつ前記第2導体層は前記第2主面の外周縁から離間している、半導体装置。
続きを表示(約 910 文字)【請求項2】
前記基材は、前記第1主面及び前記第2主面に連なる側面をさらに有し、
前記第1主面、前記第2主面及び前記側面に沿った前記第1導体層と前記第2導体層との間の沿面距離の最小値は、前記基材の厚さの1.8倍以上である、請求項1に記載の半導体装置。
【請求項3】
前記基板は、第1無電解めっき層と、第2無電解めっき層とをさらに有し、
前記第1無電解めっき層及び前記第2無電解めっき層は、それぞれ前記第1導体層上及び前記第2導体層上に配置されている、請求項1に記載の半導体装置。
【請求項4】
半導体素子と、
ボンディングワイヤとをさらに備え、
前記第1導体層は、第1導体パターンと、第2導体パターンとを有し、
前記第1導体パターンは、第1ランドを有し、
前記第2導体パターンは、第2ランドを有し、
前記半導体素子は、前記第1ランド上に配置されており、
前記ボンディングワイヤは、一方端において前記半導体素子に接続されており、他方端において前記第2ランドに接続されている、請求項3に記載の半導体装置。
【請求項5】
前記第1導体パターンは、前記第1ランドと反対側の端に第3ランドを有し、
前記第2導体パターンは、前記第2ランドと反対側の端に第4ランドを有し、
平面視において、前記第3ランドの外周縁は、第1部分円弧を有し、
平面視において、前記第4ランドの外周縁は、第2部分円弧を有し、
前記第1部分円弧の中心角及び前記第2部分円弧の中心角は、180°以上である、請求項4に記載の半導体装置。
【請求項6】
封止樹脂をさらに備え、
前記封止樹脂は、前記半導体素子及び前記ボンディングワイヤを覆うように前記基板上に配置されている、請求項4に記載の半導体装置。
【請求項7】
前記半導体素子は、LEDであり、
前記封止樹脂は、前記LEDが発生させる光を透過させる樹脂材料で形成されている、請求項6に記載の半導体装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は、半導体装置に関する。
続きを表示(約 1,800 文字)【背景技術】
【0002】
特開2022-81300号公報(特許文献1)には、半導体装置が記載されている。特許文献1に記載の半導体装置は、基板を有している。
【0003】
基板は、基材と、第1導体層と、第2導体層と、第1電解めっき層と、第2電気めっき層とを有している。基材は、第1主面と、第1主面の反対面である第2主面とを有している。第1導体層及び第2導体層は、それぞれ、第1主面上及び第2主面上に配置されている。第1電解めっき層及び第2電解めっき層は、それぞれ、第1導体層上及び第2導体層上に配置されている。基板は、複数の基板が含まれている1つの切断前基板を切断することにより得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2022-81300号公報 [概要] 切断前基板に含まれている1つの基板を第1基板とし、第1基板に隣り合う他の1つの基板を第2基板とする。第1電解めっき層及び第2電解めっき層を電解めっきで形成するためには、第1基板上にある第1導体層と第2基板上にある第1導体層との間に接続箇所が存在していること又は第1基板上にある第2導体層と第2基板上にある第2導体層との間に接続箇所が存在していることが必要である。このことを別の観点から言えば、第1導体層が第1主面の外周縁に達していること及び第2導体層が第2主面の外周縁に達していることのいずれかが必要である。
【0005】
その結果、切断前基板を切断することにより、第1導体層又は第2導体層が切断面に存在することになる。第1導体層又は第2導体層が切断面に存在すると、バリの原因や第1導体層と第2導体層との間の短絡の原因となることがある。
【0006】
本開示の半導体装置は、基板を備える。基板は、基材と、第1導体層及び第2導体層とを有する。基材は、第1主面と、第1主面の反対面である第2主面とを有する。第1導体層及び第2導体層は、それぞれ第1主面上及び第2主面上に配置されている。平面視において、第1導体層は第1主面の外周縁から離間しており、かつ第2導体層は第2主面の外周縁から離間している。
【図面の簡単な説明】
【0007】
半導体装置100の平面図である。
半導体装置100の底面図である。
半導体装置100の断面図である。
半導体装置100の製造工程図である。
穴開け工程S2を説明する平面図である。
導体層パターンニング工程S3を説明する平面図である。
導体層パターンニング工程S3を説明する底面図である。
無電解めっき工程S4を説明する平面図である。
無電解めっき工程S5を説明する平面図である。
無電解めっき工程S5を説明する底面図である。
レジスト形成工程S6を説明する平面図である。
半導体素子搭載工程S7を説明する平面図である。
ワイヤボンディング工程S8を説明する平面図である。
樹脂封止工程S9を説明する断面図である。
半導体装置200の平面図である。
半導体装置200を製造する際の導体層パターンニング工程S3を説明する平面図である。
半導体装置300の平面図である。
半導体装置300の底面図である。
【0008】
[詳細な説明]
本開示の実施形態の詳細を、図面を参照しながら説明する。以下の図面では、同一又は相当する部分に同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さないものとする。
【0009】
(第1実施形態)
第1実施形態に係る半導体装置を説明する。第1実施形態に係る半導体装置を、半導体装置100とする。
【0010】
図1は、半導体装置100の平面図である。なお、図1では、封止樹脂50の図示が省略されている。図2は、半導体装置100の底面図である。図3は、半導体装置100の断面図である。図1から図3に示されているように、半導体装置100は、基板10と、レジスト20と、半導体素子30と、ボンディングワイヤ40及びボンディングワイヤ41と、封止樹脂50とを有している。
(【0011】以降は省略されています)

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