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公開番号2025152865
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024055027
出願日2024-03-28
発明の名称圧力センサ用金属部材
出願人TDK株式会社
代理人前田・鈴木国際特許弁理士法人
主分類G01L 19/14 20060101AFI20251002BHJP(測定;試験)
要約【課題】強度を確保しつつ側壁の厚みを薄くすることができる圧力センサ用金属部材を提供する。
【解決手段】底壁と、前記底壁に対して交差する方向に延びる側壁とを有し、前記底壁の外底面が、平面視において、前記側壁と重なる外底面側壁領域と、前記外底面側壁領域の内側に前記外底面側壁領域に接して位置し前記側壁と重ならない外底面側壁内領域とを有し、前記外底面側壁内領域が、平面視において、前記外底面側壁内領域に配置可能な最大円より外側に存在する突出部を有する圧力センサ用金属部材。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
底壁と、前記底壁に対して交差する方向に延びる側壁とを有し、
前記底壁の外底面が、平面視において、前記側壁と重なる外底面側壁領域と、前記外底面側壁領域の内側に前記外底面側壁領域に接して位置し前記側壁と重ならない外底面側壁内領域とを有し、
前記外底面側壁内領域が、平面視において、前記外底面側壁内領域に配置可能な最大円より外側に存在する突出部を有する圧力センサ用金属部材。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
平面視において、前記突出部は、前記最大円の中心を中心とする第１回転方向に沿って前記最大円から遠ざかる方向に延びる第１の辺と、前記第１回転方向に沿って前記最大円に近づく方向に延びる第２の辺とを有し、前記第１の辺と前記第２の辺との夾角が９０度以下である請求項１に記載の圧力センサ用金属部材。
【請求項３】
平面視において、前記突出部は、前記最大円の中心を中心とする第１回転方向に沿って前記最大円から遠ざかる方向に延びる第１の辺と、前記第１回転方向に沿って前記最大円に近づく方向に延びる第２の辺とを有し、前記第１の辺と前記第２の辺との夾角が１０度以上である請求項１に記載の圧力センサ用金属部材。
【請求項４】
少なくとも一部が前記外底面側壁内領域における前記最大円より内側に配置され前記底壁の歪を検出する第１の抵抗配線と、
少なくとも一部が前記突出部に配置され前記底壁の温度を検出する第２の抵抗配線と、を有する請求項１に記載の圧力センサ用金属部材。
【請求項５】
前記底壁と前記側壁の厚みが略同じである請求項１に記載の圧力センサ用金属部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステム等とも呼ばれる圧力センサ用金属部材に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
圧力センサなどのセンサとして、ステム等の金属部材の底面に、抵抗配線を形成する技術が提案されている（特許文献１等参照）。
【０００３】
圧力センサに用いる金属部材に関しては、圧力検出時の金属部材の強度を確保するために、金属部材の側壁の厚みを厚くしたものが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１１－３７８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の金属部材では、金属部材の側壁の厚みを薄くすると、圧力検出時の金属部材の外側領域の歪が大きくなり、圧力検出時の金属部材の強度が不足するという課題がある。また、金属部材の側壁の厚みを厚くすると、重量が重くなるとともに材料コストが増大する問題がある。
【０００６】
本開示では、強度を確保しつつ側壁の厚みを薄くすることができる圧力センサ用金属部材に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示に係る圧力センサ用金属部材は、
底壁と、前記底壁に対して交差する方向に延びる側壁とを有し、
前記底壁の外底面が、平面視において、前記側壁と重なる外底面側壁領域と、前記外底面側壁領域の内側に前記外底面側壁領域に接して位置し前記側壁と重ならない外底面側壁内領域とを有し、
前記外底面側壁内領域が、平面視において、前記外底面側壁内領域に配置可能な最大円より外側に存在する突出部を有する。
【０００８】
このような突出部を有する圧力センサ用金属部材は、単純な円形の外底面側壁内領域を有する金属部材に比べて、側壁の厚みが同じであっても、圧力検出時の金属部材の外側領域の歪が抑制され、大きな強度を持つことができる。したがって、このような圧力センサ用金属部材は、強度を確保しつつ、側壁の厚みを薄くすることができる。
【０００９】
また、たとえば、平面視において、前記突出部は、前記最大円の中心を中心とする第１回転方向に沿って前記最大円から遠ざかる方向に延びる第１の辺と、前記第１回転方向に沿って前記最大円に近づく方向に延びる第２の辺とを有し、前記第１の辺と前記第２の辺との夾角が９０度以下であってもよい。
【００１０】
このような突出部を有することにより、単純な円形の外底面側壁内領域を有する金属部材に比べて、突出部およびその周辺に生じる歪の大きさを効果的に低減することができる。また、突出部について、最大円の中心を中心とする半径方向の幅を確保しやすい利点がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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