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公開番号2025139963
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024039073
出願日2024-03-13
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250919BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】温調制御のための回路構成を簡素化することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100を加熱するヒーターユニット300と、を備える。ヒーターユニット300は、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部331を有する。上面視において、発熱部331は、複数の領域HAのそれぞれにおいて個別に引き回されている。複数の領域HAは、第1領域HA11と第2領域HA12とを含む。第1領域HA11において引き回されている発熱部331の電気抵抗値をR1とし、第2領域HA12において引き回されている発熱部331の電気抵抗値をR2としたときに、この静電チャック10は、(|R1-R2|)/R2<0.15の条件を満たす。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板を加熱するヒーターと、を備え、
前記ヒーターは、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部を有し、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記発熱部は、
複数の領域のそれぞれにおいて個別に引き回されており、
複数の前記領域は、第１領域と第２領域とを含み、
前記第１領域において引き回されている前記発熱部の電気抵抗値をＲ１とし、
前記第２領域において引き回されている前記発熱部の電気抵抗値をＲ２としたときに、
（｜Ｒ１－Ｒ２｜）／Ｒ２＜０．１５
の条件を満たすことを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 200 文字）【請求項２】
周方向に並ぶように配置された複数の前記領域であって、
前記第１領域及び前記第２領域の選び方によることなく前記条件を満たすような一群の前記領域が存在することを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記第１領域と前記第２領域とは、前記発熱部を引き回すことが可能な部分の面積において互いに異なっていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
基板の処理中においては、基板の面内温度分布を可能な限り均等とすることが求められる。基板の面内温度分布を高い精度で調整可能とするために、近年ではヒーターを備えた静電チャックも開発され、既に実用化されている。ヒーターは、例えば下記特許文献１に記載されているように誘電体基板の内部に設けられることもあるが、ユニット化された状態で誘電体基板の外側に設けられることもある。いずれの構成においても、ヒーターは、線状に引き回された導体である発熱部を有する。発熱部は、ヒーターの全体において１つだけ設けられるのではなく、複数の領域のそれぞれにおいて個別に引き回されることが多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－１２０９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
複数の上記領域の中には、発熱部を引き回し得る部分の面積において互いに異なっている一対の領域が存在し得る。このような一対の領域のそれぞれにおいて、上面視における各部の線幅や間隔が均等となるように発熱部を引き回した場合には、一方の領域にある発熱部の電気抵抗値と、他方の領域にある発熱部の電気抵抗値との差が大きくなってしまう可能性がある。
【０００６】
電気抵抗値が、上記のように発熱部ごとに大きくばらついているような場合には、それぞれの発熱部に接続される電源の仕様を共通化することが難しくなる等の理由により、温調制御のための回路構成が複雑になってしまうという問題が生じ得る。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、温調制御のための回路構成を簡素化することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板を加熱するヒーターと、を備える。ヒーターは、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部を有する。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、発熱部は、複数の領域のそれぞれにおいて個別に引き回されている。複数の領域は、第１領域と第２領域とを含む。この静電チャックは、第１領域において引き回されている発熱部の電気抵抗値をＲ１とし、第２領域において引き回されている発熱部の電気抵抗値をＲ２としたときに、（｜Ｒ１－Ｒ２｜）／Ｒ２＜０．１５の条件を満たす。
【０００９】
このような構成の静電チャックでは、互いに異なる領域において引き回されている一対の発熱部の電気抵抗値が、互いに概ね等しい値となる。このため、それぞれの発熱部に接続される電源の仕様を共通化する等、温調制御のための回路構成を簡素化することが可能となる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、温調制御のための回路構成を簡素化することのできる静電チャック、を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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