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公開番号2025151451
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024052885
出願日2024-03-28
発明の名称構造部材
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類C04B 41/87 20060101AFI20251002BHJP(セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物)
要約【課題】プラズマに対する耐久性の高い構造部材を提供する。
【解決手段】構造部材10は、基材100と、基材100の表面S1を覆う保護膜200と、を備える。保護膜200は、アルカリ土類金属の酸化物又はアルカリ土類金属のハロゲン化物を含む多結晶の材料により形成された膜である。構造部材10では、保護膜200の表面S2にあるそれぞれの結晶子210の配向の向きが揃っておらず不規則となっている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基材と、
前記基材の表面を覆う保護膜と、を備え、
前記保護膜は、アルカリ土類金属の酸化物又はアルカリ土類金属のハロゲン化物を含む多結晶の材料により形成された膜であり、
前記保護膜の表面にあるそれぞれの結晶子の配向の向きが揃っておらず不規則となっていることを特徴とする、構造部材。
続きを表示（約 66 文字）【請求項２】
前記保護膜がエアロゾルデポジション法により形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の構造部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は構造部材に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
基材の表面に保護膜を有する構造部材は、半導体製造装置等の様々な分野で用いられる。例えば下記特許文献１に記載されているように、半導体製造装置においては、チャンバーの内壁を構成する基材の表面に、基材をプラズマから保護するための保護膜が形成されている。基材としては例えばセラミックス等が用いられる。保護膜としては例えばイットリア等が用いられる。基材の表面に保護膜を形成する方法としては、例えば溶射や物理蒸着法（ＰＶＤ）、化学蒸着法（ＣＶＤ）等、様々な成膜方法を採用することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－３２１１８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明者らは、上記保護膜の材料として、アルカリ土類金属の酸化物又はアルカリ土類金属のハロゲン化物を含む、多結晶の材料を用いることについて検討を進めている。本発明者らが行った実験によれば、このような材料を用いて保護膜を形成した場合には、プラズマに対する当該保護膜の耐久性が、その表面にある結晶子の配向の向きに応じて大きく変化するという知見が得られている。従って、保護膜の表面において、それぞれの結晶子の配向の向きが特定の方向に揃っている場合には、プラズマに対する保護膜の耐久性が著しく低下してしまう可能性がある。
【０００５】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、プラズマに対する耐久性の高い構造部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る構造部材は、基材と、基材の表面を覆う保護膜と、を備える。保護膜は、アルカリ土類金属の酸化物又はアルカリ土類金属のハロゲン化物を含む多結晶の材料により形成された膜である。この構造部材では、保護膜の表面にあるそれぞれの結晶子の配向の向きが揃っておらず不規則となっている。
【０００７】
このような構造部材においても、保護膜の表面にある複数の結晶子の中には、保護膜の耐久性が低下するような方向に配向しているものが含まれ得る。しかしながら、それぞれの結晶子の配向の向きは不規則となっているので、上記のような（つまり好ましくない方向に配向している）結晶子が一部に存在していたとしても、保護膜の全体についてみれば保護膜の耐久性は平均化されるため、プラズマに対する十分な耐久性を確保することができる。結晶子の向きが不規則となっている保護膜は、例えば、エアロゾルデポジション法等を用いることにより成膜することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、プラズマに対する耐久性の高い構造部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本実施形態に係る構造部材の断面を模式的に表す図である。
保護膜の表面にある結晶子を模式的に表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照しながら本実施形態について説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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