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公開番号2025139961
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024039071
出願日2024-03-13
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250919BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】処理中における基板の面内温度分布のばらつきを抑制することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100を加熱するヒーターユニット300と、を備える。ヒーターユニット300は、線状に引き回された導体である発熱部351を有する。上面視において、発熱部351は、互いに近接する位置に配置された一対の円形の領域、である第1領域D1及び第2領域D2のそれぞれを通らない経路に沿って引き回されており、且つ、第1領域D1及び第2領域D2の全体を間に挟むよう配置された第1発熱部351Aと第2発熱部351Bとを含むものである。第1発熱部351A及び第2発熱部351Bのそれぞれが、第1領域D1と第2領域D2との間の部分、に向けて凹状に入り込むような経路に沿って引き回されている。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板を加熱するヒーターと、を備え、
前記ヒーターは、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部を有し、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記発熱部は、
互いに近接する位置に配置された一対の円形の領域、である第１領域及び第２領域のそれぞれを通らない経路に沿って引き回されており、且つ、
前記第１領域及び前記第２領域の全体を間に挟むよう配置された第１発熱部と第２発熱部とを含むものであって、
前記第１発熱部及び前記第２発熱部のそれぞれが、
前記第１領域と前記第２領域との間の部分、に向けて凹状に入り込むような経路に沿って引き回されていることを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
前記第１発熱部及び前記第２発熱部のうちの少なくとも一方は、
前記第１領域の外形に沿った円弧状の経路に沿って伸びている第１円弧部と、
前記第２領域の外形に沿った円弧状の経路に沿って伸びている第２円弧部と、を有することを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１領域と重なる部分、及び、前記第２領域と重なる部分、のうちの少なくとも一方には、前記載置面に対し垂直な方向に伸びる電路が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記発熱部は、
前記第１発熱部及び前記第２発熱部よりも前記載置面側となる位置に配置された第３発熱部、を更に含み、
前記電路を介して前記第３発熱部への給電が行われることを特徴とする、請求項３に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記誘電体基板を支持するベースプレートを更に備え、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記ベースプレートのうち前記誘電体基板側の面には、
前記第１領域と重なる部分、及び、前記第２領域と重なる部分、のいずれにも開口が形成されていないことを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
基板の処理中においては、基板の面内温度分布を可能な限り均等とすることが求められる。基板の面内温度分布を高い精度で調整可能とするために、近年ではヒーターを備えた静電チャックも開発され、既に実用化されている。ヒーターは、例えば下記特許文献１に記載されているように誘電体基板の内部に設けられることもあるが、ユニット化された状態で誘電体基板の外側に設けられることもある。いずれの構成においても、ヒーターは、線状に引き回された導体である発熱部を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－１２０９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
外部からの電力が発熱部に供給されると、発熱部ではジュール熱が生じる。誘電体基板の各部を均等に加熱できるよう、発熱部は、上面視において各部の線幅や間隔が可能な限り均等となるような経路に沿って引き回される。
【０００６】
しかしながら、一部においては、発熱部を引き回すことのできない領域や、発熱部を引き回すことが難しい領域も存在し得る。例えば吸着電極等に繋がる電路、がヒーターを貫くように設けられている場合には、当該電路を包含する円形の領域を避けるような経路に沿って、発熱部を引き回す必要がある。このため、上記領域の直上にある誘電体基板の加熱が十分には行われなくなってしまい、処理中における基板の面内温度分布のばらつきが大きくなってしまう可能性がある。特に、２つの上記領域が互いに近接しているような場合には、基板の面内温度分布のばらつきが大きくなりやすい。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理中における基板の面内温度分布のばらつきを抑制することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板を加熱するヒーターと、を備える。ヒーターは、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部を有する。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、発熱部は、互いに近接する位置に配置された一対の円形の領域、である第１領域及び第２領域のそれぞれを通らない経路に沿って引き回されており、且つ、第１領域及び第２領域の全体を間に挟むよう配置された第１発熱部と第２発熱部とを含むものである。この静電チャックでは、第１発熱部及び第２発熱部のそれぞれが、第１領域と第２領域との間の部分、に向けて凹状に入り込むような経路に沿って引き回されている。
【０００９】
上記構成の静電チャックでは、第１領域と第２領域との間の部分、すなわち、従来においては発熱部から遠い位置にあった部分に向けて、発熱部の一部を凹状に入り込ませている。これにより、誘電体基板の全体を発熱部によって加熱して、処理中における基板の面内温度分布のばらつきを抑制することが可能となる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、処理中における基板の面内温度分布のばらつきを抑制することのできる静電チャック、を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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