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公開番号2025138333
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-25
出願番号2024037361
出願日2024-03-11
発明の名称真空ポンプ
出願人エドワーズ株式会社
代理人個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20250917BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】ポンプ内の副生成物の析出を抑制できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】ケーシング310と、ケーシング310内に配置されたロータ軸113と、ロータ軸113と共に回転可能な回転翼102と、を備え、回転翼102の回転によりガスを排気する真空ポンプ300であって、真空ポンプ300内のガス流路を加熱する加熱手段340を有し、加熱手段340は、コイル342と、コイル342に交流電流を流すことによる電磁誘導により加熱される磁性体である被加熱部343と、コイル342の被加熱部343が配置される正面344側の反対側を覆う高透磁率磁性体341と、を有する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
ケーシングと、
前記ケーシング内に配置されたロータ軸と、
前記ロータ軸と共に回転可能な回転翼と、
を備え、前記回転翼の回転によりガスを排気する真空ポンプであって、
前記真空ポンプ内のガス流路を加熱する加熱手段を有し、
前記加熱手段は、
コイルと、
前記コイルに交流電流を流すことによる電磁誘導により加熱される磁性体である被加熱部と、
前記コイルの前記被加熱部が配置される正面側の反対側を覆う高透磁率磁性体と、を有することを特徴とする真空ポンプ。
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
前記被加熱部は、前記ガス流路を形成するステータ部品に連結される、または前記ステータ部品の一部であることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記被加熱部は、前記回転翼に連結される、または前記回転翼の一部であることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記ロータ軸を磁気浮上されて支持する磁気軸受を有することを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記コイルに印加される電流の周波数は、前記磁気軸受の制御周波数の等倍または倍数であることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記高透磁率磁性体の一部は、前記コイルの通電方向と垂直な断面において前記コイルから前記被加熱部へ向かう方向と垂直な側方側に配置されることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記コイルは、前記ガス流路内に配置されることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
前記高透磁率磁性体は、マンガンおよび亜鉛を含有する軟磁性フェライトであることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置、液晶製造装置、電子顕微鏡、表面分析装置または微細加工装置等は、装置内の環境を高度の真空状態にすることが必要である。これらの装置の内部を高度の真空状態とするために、真空ポンプが用いられている。使用される真空ポンプの例として、例えば、ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプとを組み合わせた複合ポンプが挙げられる。
【０００３】
ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプとを組み合わせた真空ポンプは、軸方向に交互に配列された回転翼および固定翼を有するターボポンプの下流側に、ネジ溝ポンプが配置される。吸気口より取込まれた排気ガスは、ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプによって圧縮されて、排気口より真空ポンプの外部に排出される。
【０００４】
排気ガスは、特に下流の流路において比較的圧力が高くなっていることで、粘性流のような挙動を示す。このため、真空ポンプの流路の、排気ガスの流れが淀む箇所で、副生成物が析出しやすい。流路に副生成物が析出すると、本来接触しない箇所が接触するという事象が発生し、真空ポンプの損傷や、内部構造の伝熱性能の変化に伴う温度分布の変異が発生して安全性・生産性を損なう恐れがある。
【０００５】
このため、真空ポンプは、ガス流路に副生成物が析出することを抑制するために、ガス流路を形成する部品を加熱する加熱手段が配置される場合がある。例えば特許文献１には、固定翼側のステータ部品を電磁誘導加熱により加熱する加熱部を配置する構造が開示されている。
【０００６】
加熱部は、ステータ部品に固定されたヨークと、ヨーク上に配置されたコイルと、ステータ部品に連結された加熱板とを有している。加熱板とヨークは、鉄系材料やステンレス材料等の磁性材料で形成されている。コイルに高周波の交流電流を流すと、コイル、加熱板およびヨークが電磁結合し、加熱板およびヨークの内部に渦電流が発生する。加熱板およびヨークは、固有の電気抵抗を有するため、ジュール熱を発生させる。また、加熱板やヨークでは鉄損発熱、コイルでは銅損発熱が生じ、これらの熱によっても、ステータ部品が加熱される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
国際公開第２０１４／１１９１９１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載の真空ポンプでは、コイルの周囲に金属部材が存在するため、加熱したい部位以外も同時に加熱することになり、加熱板を効率よく加熱することができない。このため、ポンプ内に副生成物が析出する可能性がある。
【０００９】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、ポンプ内の副生成物の析出を抑制できる真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的は、下記（１）に記載の発明により達成される。
（【００１１】以降は省略されています）

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