特許ウォッチ

公開番号2025136809
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024035673
出願日2024-03-08
発明の名称真空ポンプ
出願人株式会社島津製作所
代理人個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20250911BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】ステータの上下方向の変形を抑制する。
【解決手段】真空ポンプ1は、ハウジング2に収納され回転駆動されるロータ4と、ロータ4に設けられる複数段のロータ翼22と、複数段のロータ翼22の間に配置される複数段のステータ5と、を備える。ステータ5は、内周リブ51と、外周リブ53と、内周リブ51と外周リブ53とを接続するステータ翼55と、を有し、外周リブ53がスペーサ31により挟持された状態でハウジング2に収納される。ステータ5の外周リブ53の少なくとも一部には、内周リブ51及び/又はステータ翼55の径方向の変形を許容する変形許容部57が設けられる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ハウジングに収納され、回転駆動されるロータと、
前記ロータに設けられた複数段のロータ翼と、
複数段のロータ翼の間に配置される複数段のステータと、
を備え、
前記ステータは、内周リブと、外周リブと、前記内周リブと前記外周リブとを接続するステータ翼と、を有し、前記外周リブがスペーサにより挟持された状態で前記ハウジングに収納され、
前記外周リブの少なくとも一部には、前記内周リブ及び／又は前記ステータ翼の径方向の変形を許容する変形許容部が設けられる、
真空ポンプ。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
各段のステータは、複数のステータ要素により構成され、
前記変形許容部は、ステータ要素の外周リブの周方向の端部に形成される、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記変形許容部は、前記外周リブの他の部分よりも厚さが小さくなっている、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記変形許容部は、前記外周リブを貫通する貫通部を有する、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記変形許容部は、前記外周リブの内部に形成された中空部を有する、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記変形許容部は、前記外周リブに形成された溝部を有する、請求項１に記載の真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
真空ポンプには、ロータ翼を有するロータと、ロータ翼の間に配置されたステータと、を有するものがある（例えば、特許文献１を参照）。この真空ポンプでは、ロータを回転させることにより、ロータ翼がステータに設けられたステータ翼に対して移動して、真空ポンプによる排気対象装置の内部を吸引し、吸引した気体を外部に排出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１３９３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の真空ポンプは、例えば真空ポンプの内部に生成物が堆積することを抑制するためにステータが高温に温度調整されることがある。また、温度調整しない場合でも、ロータの高速回転や排気するガスの負荷によってもステータが高温になることがある。従来の真空ポンプでは、この温度調整等によるステータの高温への温度変動により、ステータが上下方向（すなわち、ロータ翼に接近する方向）に変形して、ステータがロータ翼に接触する可能性があった。ステータがロータ翼に接触すると、真空ポンプが適切に動作しない、ステータ及び／又はロータ翼が破損するなどの問題が発生する可能性がある。
【０００５】
従って、本発明の目的は、ステータの回転軸方向の変形を抑制して、真空ポンプを安全に動作させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る真空ポンプは、ロータと、複数段のロータ翼と、複数段のステータと、を備える。ロータは、ハウジングに収納され、回転駆動される。複数段のロータ翼は、ロータに設けられる。複数段のステータは、複数段のロータ翼の間に配置される。各ステータは、内周リブと、外周リブと、ステータ翼と、を有する。ステータ翼は、内周リブと外周リブとを接続する。各ステータは、外周リブがスペーサにより挟持された状態でハウジングに収納される。ステータの外周リブの少なくとも一部には、内周リブ及び／又はステータ翼の径方向の変形を許容する変形許容部が設けられる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一態様に係る真空ポンプでは、ステータの外周リブ少なくとも一部に、内周リブ及び／又はステータ翼の径方向の変形を許容する変形許容部が設けられている。これにより、外周リブがスペーサにより挟持されていて径方向への変形が困難であっても、内周リブ及び／又はステータ翼は径方向へ変形しやすくなる。この結果、例えば真空ポンプにおいて温度変動があった場合に、内周リブ及び／又はステータ翼が径方向へ変形できるので、内周リブ及び／又はステータ翼がロータ翼に近づく方向に変形することを抑制できる。これにより、例えば真空ポンプにおいて温度変動があっても、ステータがロータ翼に接触することはなく、真空ポンプを安全に動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
真空ポンプの断面図である。
ステータ要素の全体図である。
ステータ要素の変形許容部を設けた部分の断面図である。
溝部を設けた変形許容部の断面図である。
中空部を設けた変形許容部の断面図である。
円形以外の貫通部、溝部、中空部の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図１を用いて、真空ポンプを説明する。図１は、真空ポンプ１の断面図である。真空ポンプ１は、ハウジング２と、ベース３と、ロータ４と、複数段のステータ５と、を含む。
【００１０】
ハウジング２は、第１端部１１と、第２端部１２と、第１内部空間Ｓ１とを含む。第１端部１１には吸気口１３が設けられている。吸気口１３は、排気対象装置の内部と気体流通可能に接続される。第１内部空間Ｓ１は、吸気口１３に連通している。第２端部１２は、ロータ４の軸線方向（以下、単に「軸線方向Ａ１」と呼ぶ）において、第１端部１１の反対に位置している。第２端部１２は、ベース３に接続される。ベース３は、ベース端部１４を含む。ベース端部１４は、ハウジング２の第２端部１２に接続される。ベース３は、例えば、アルミニウム製の部材である。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許