特許ウォッチ

公開番号2025136903
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024035834
出願日2024-03-08
発明の名称駆動装置及び位置調整装置
出願人ナブテスコ株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20250911BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ワークの位置調整を容易に行うことができるとともに、小型化できる駆動装置及び位置調整装置を提供する。
【解決手段】実施形態の駆動装置1は、電動モータ8の動力が入力されて回転力を出力する内歯歯車11を有する減速装置10と、内歯歯車11に取り付けられ、ワークを移動させるためのアーム4と、アーム4とワークとの間に設けられ、ワークのアーム4に対する位置を調整する位置調整装置5と、を備える。減速装置10とワークとが水平方向に並んだ状態で、上下方向からみたとき、減速装置10の一部と位置調整装置5の一部とが重なっている。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
駆動源の動力が入力されて回転力を出力する出力部を有する減速装置と、
前記出力部に取り付けられ、ワークを移動させるためのアームと、
前記アームと前記ワークとの間に設けられ、前記ワークの前記アームに対する位置を調整する位置調整装置と、
を備え、
前記減速装置と前記ワークとが水平方向に並んだ状態で、上下方向からみたとき、前記減速装置の一部と前記位置調整装置の一部とが重なっている、
駆動装置。
続きを表示（約 1,900 文字）【請求項２】
前記減速装置と前記ワークとが水平方向に並んだ状態のときに水平方向で、かつ前記減速装置に接近、離間する方向をＸ方向とし、上下方向をＺ方向とし、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向をＹ方向としたとき、
前記位置調整装置は、
前記ワークの前記Ｘ方向の位置調整を行うＸ調整部と、
前記ワークの前記Ｙ方向の位置調整を行うＹ調整部と、
前記ワークの前記Ｚ方向の位置調整を行うＺ調整部と、
を備え、
前記Ｘ調整部、前記Ｙ調整部及び前記Ｚ調整部は、それぞれ別々の箇所に配置されている、
請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記位置調整装置は、前記減速装置寄りから前記ワーク寄りに向かうに従って前記Ｘ調整部、前記Ｚ調整部、前記Ｙ調整部の順に配置されている、
請求項２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記Ｘ調整部及び前記Ｚ調整部は同一の平面上に並んで配置されており、
前記Ｘ調整部及び前記Ｚ調整部はそれぞれ位置調整を行うための操作部を有し、
前記操作部は同一面に設けられている、
請求項３に記載の駆動装置。
【請求項５】
第１部材と、
第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とを連結し、前記第１部材に対して前記第２部材の位置調整を行う連結部材と、
を備え、
前記第１部材、前記第２部材、及び前記連結部材は、前記第１部材と前記第２部材とをそれぞれ別々に互いに交差する２方向にスライド移動可能な２つのガイド部を有する、
位置調整装置。
【請求項６】
前記ガイド部は、
前記第１部材及び前記第２部材に形成され、それぞれ移動方向に沿う複数の長円形状のガイド孔と、
前記連結部材に形成され、各前記ガイド孔に通じる箇所に固定雌ネジ部と、
前記ガイド孔を介して前記固定雌ネジ部に締め付けられる複数の固定ボルトと、
を含む、
請求項５に記載の位置調整装置。
【請求項７】
前記ガイド部は、
前記連結部材及び前記第１部材のいずれか一方に設けられ、移動方向に沿う第１ガイド凸部と、
前記連結部材及び前記第１部材のいずれか他方に設けられ、前記第１ガイド凸部にスライド移動自在に嵌る第１ガイド凹部と、
前記連結部材及び前記第２部材のいずれか一方に設けられ、移動方向に沿う第２ガイド凸部と、
前記連結部材及び前記第２部材のいずれか他方に設けられ、前記第２ガイド凸部にスライド移動自在に嵌る第２ガイド凹部と、
前記第１部材及び前記第２部材をスライド移動させる調整部と、
を含む、
請求項６に記載の位置調整装置。
【請求項８】
前記連結部材と前記第１部材とを一定の隙間を介して保持するとともに、前記連結部材と前記第２部材とを一定の隙間を介して保持する補助固定部を備える、
請求項７に記載の位置調整装置。
【請求項９】
前記補助固定部は、
ピン部と、
前記ピン部の軸方向の一端に設けられ、段差部を介して前記ピン部の直径よりも小さい直径で形成された雄ネジ部と、
前記ピン部の軸方向の他端に設けられた頭部と、
を有し、
前記連結部材は前記ピン部が挿入される貫通孔を有し、
前記第１部材及び前記第２部材は、前記雄ネジ部が締め付けられる補助固定雌ネジ部を有し、
前記連結部材と前記頭部との間に配置されるワッシャを備え、
前記ピン部の長さは、前記連結部材の厚さに前記ワッシャの厚さを加算した厚さよりも長い、
請求項８に記載の位置調整装置。
【請求項１０】
前記第１部材及び前記第２部材には、それぞれ複数の前記ガイド孔が整列配置されており、
前記ワッシャは、
複数の第１挿入孔が形成された第１ワッシャと、
複数の第２挿入孔が形成された第２ワッシャと、
を有し、
前記複数の第１挿入孔は、前記第１部材に形成された複数の前記ガイド孔に通じるとともに前記固定ボルトが挿入され、
前記複数の第２挿入孔は、前記第２部材に形成された複数の前記ガイド孔に通じるとともに前記固定ボルトが挿入される、
請求項９に記載の位置調整装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置及び位置調整装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品の導通検査を行うためのテストヘッドを旋回させる検査装置が知られている。テストヘッドは、電動モータ等の駆動源を有する駆動装置（テストヘッド旋回機構）によって旋回させられる。これにより、例えば検査対象である半導体ウェハ等にテストヘッドが接近したり離間したりする。
駆動装置は、電動モータの回転を減速して出力する出力部を有する減速装置と、出力部に取り付けられるアーム（支持アーム）と、を備える。出力部には雌ネジ部が形成されているとともに、アームには雌ネジ部に通じる貫通孔が形成されている。貫通孔にボルトを挿入し、このボルトを雌ネジ部に締め付けることにより、出力部にアームが固定される。この他に、アームにはテストヘッドがボルトにより取り付けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６６５０８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、精度よく検査を行うためには、検査対象に対してテストヘッドを高精度に位置決めする必要がある。上述の従来技術にあっては、単にボルトによって出力部にアームが取り付けられていたり、アームにテストヘッドが取り付けられていたりするだけである。このため、検査対象に対するテストヘッドの位置調整を行う場合、駆動装置そのものの位置を調整したり、アームに対するテストヘッドの位置を直接調整したりする必要がある。このように、テストヘッドの位置調整が煩わしいという課題があった。
とりわけ、高重量のテストヘッドの位置調整は、高重量な分だけ作業性が悪化してしまうとともに、駆動装置にかかる負荷も大きくなってしまう。このため、駆動装置が大型化してしまう可能性があった。
【０００５】
本発明は、テストヘッドなどのワークの位置調整を容易に行うことができるとともに、小型化できる駆動装置及び位置調整装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る駆動装置は、駆動源の動力が入力されて回転力を出力する出力部を有する減速装置と、前記出力部に取り付けられ、ワークを移動させるためのアームと、前記アームと前記ワークとの間に設けられ、前記ワークの前記アームに対する位置を調整する位置調整装置と、を備え、前記減速装置と前記ワークとが水平方向に並んだ状態で、上下方向からみたとき、前記減速装置の一部と前記位置調整装置の一部とが重なっている。
【０００７】
このように、アームとワークとの間に位置調整装置を設ける。このため、ワークの位置を調整するために、駆動装置自体の取り付け位置を調整したり、アームに対してワークの位置を直接調整したりする必要が無くなる。よって、ワークの位置調整を容易に行うことができる。
減速装置とワークとが水平方向に並んだ状態で、上下方向からみたとき、減速装置の一部と位置調整装置の一部とが重なっている。このため、減速装置とワークとの間の長さをできる限り短くできる。この分、減速装置に作用するモーメントを低減でき、駆動装置を小型化できる。
【０００８】
上記構成において、前記減速装置と前記ワークとが水平方向に並んだ状態のときに水平方向で、かつ前記減速装置に接近、離間する方向をＸ方向とし、上下方向をＺ方向とし、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向をＹ方向としたとき、前記位置調整装置は、前記ワークの前記Ｘ方向の位置調整を行うＸ調整部と、前記ワークの前記Ｙ方向の位置調整を行うＹ調整部と、前記ワークの前記Ｚ方向の位置調整を行うＺ調整部と、を備え、前記Ｘ調整部、前記Ｙ調整部及び前記Ｚ調整部は、それぞれ別々の箇所に配置されてもよい。
【０００９】
上記構成において、前記位置調整装置は、前記減速装置寄りから前記ワーク寄りに向かうに従って前記Ｘ調整部、前記Ｚ調整部、前記Ｙ調整部の順に配置されてもよい。
【００１０】
上記構成において、前記Ｘ調整部及び前記Ｚ調整部は同一の平面上に並んで配置されており、前記Ｘ調整部及び前記Ｚ調整部はそれぞれ位置調整を行うための操作部を有し、前記操作部は同一面に設けられてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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