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公開番号2025130504
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-08
出願番号2024027716
出願日2024-02-27
発明の名称パワーモジュール及び半導体装置
出願人ダイキン工業株式会社
代理人弁理士法人前田特許事務所
主分類H01L 25/07 20060101AFI20250901BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】半導体素子で発生した熱を放熱し易くする。
【解決手段】第1配線部材(11)は、半導体素子(2)が実装された実装面(15)と、実装面(15)とは反対側で露出する露出面(16)と、を有する。第2配線部材(12)は、第1配線部材(11)に対して、第1配線部材(11)の板厚方向と直交する方向に間隔をあけて配置される。保持部材(20)は、第1配線部材(11)と第2配線部材(12)との間に配置され、第1配線部材(11)及び第2配線部材(12)を保持する。保持部材(20)は、突部(22)を有する。突部(22)は、露出面(16)から板厚方向の露出面(16)側に突出する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
半導体素子(2)と、
導電性を有する板状の部材で構成され、前記半導体素子(2)が実装された実装面(15)と、前記実装面(15)とは反対側で露出する露出面(16)と、を有する第1配線部材(11)と、
導電性を有する板状の部材で構成され、前記第1配線部材(11)に対して、前記第1配線部材(11)の板厚方向と直交する方向に間隔をあけて配置され、前記第1配線部材(11)の前記露出面(16)と同じ側で露出する露出面(16)を有する第2配線部材(12)と、
前記第1配線部材(11)と前記第2配線部材(12)との間に配置され、前記第1配線部材(11)及び前記第2配線部材(12)を保持し、前記露出面(16)から板厚方向の前記露出面(16)側に突出する突部(22)を有する絶縁性の保持部材(20)と、
前記半導体素子(2)と、前記第1配線部材(11)及び前記第2配線部材(12)の前記実装面(15)と、を少なくとも覆う絶縁性の封止材(36)と、を備えるパワーモジュール。
続きを表示(約 1,000 文字)【請求項2】
請求項1のパワーモジュールにおいて、
前記保持部材(20)における前記第1配線部材(11)の前記実装面(15)側の端部は、前記実装面(15)と面一、又は前記実装面(15)よりも前記露出面(16)側に配置される
パワーモジュール。
【請求項3】
請求項1又は2のパワーモジュールにおいて、
前記突部(22)は、前記突部(22)の先端に向かって先細な形状である
パワーモジュール。
【請求項4】
請求項1又は2のパワーモジュールにおいて、
前記第1配線部材(11)と一体に形成された接続端子(13)を備える
パワーモジュール。
【請求項5】
請求項4のパワーモジュールにおいて、
前記接続端子(13)は、前記第1配線部材(11)の板厚方向に直交する方向に延び、
前記接続端子(13)における前記第1配線部材(11)の前記露出面(16)側に設けられた絶縁部材(25)を備える
パワーモジュール。
【請求項6】
請求項4のパワーモジュールにおいて、
前記接続端子(13)は、前記第1配線部材(11)の前記実装面(15)から板厚方向の前記実装面(15)側に延びた後、前記第1配線部材(11)の板厚方向に直交する方向に延びる
パワーモジュール。
【請求項7】
請求項4の何れか1つのパワーモジュールにおいて、
前記第1配線部材(11)及び前記第2配線部材(12)を含む配線層(50)が、板厚方向に間隔をあけて複数設けられる
パワーモジュール。
【請求項8】
請求項1又は2のパワーモジュールにおいて、
前記封止材(36)を覆うケース(30)を備える
パワーモジュール。
【請求項9】
請求項1又は2のパワーモジュールにおいて、
前記封止材(36)は、モールド樹脂で形成され、
前記保持部材(20)は、前記封止材(36)と一体に成形される
パワーモジュール。
【請求項10】
請求項1又は2のパワーモジュール(10)と、
前記保持部材(20)の前記突部(22)に当接するように配置された放熱器(40)と、
前記第1配線部材(11)及び前記第2配線部材(12)の前記露出面(16)と、前記放熱器(40)と、の間に配置された絶縁性の熱伝導材(41)と、を備える
半導体装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は、パワーモジュール及び半導体装置に関するものである。
続きを表示(約 1,300 文字)【背景技術】
【0002】
特許文献1には、パワー半導体素子と、パワー半導体素子が搭載された回路基板であるセラミック基板と、放熱グリスを用いてセラミック基板が搭載された放熱フィンと、を備えたパワーモジュールが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特許第6234630号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、特許文献1の発明では、パワー半導体素子と放熱フィンとの間に、絶縁放熱部材としてのセラミック基板が配置されている。そのため、パワー半導体素子で発生した熱を放熱させる際に、絶縁放熱部材で熱抵抗が生じてしまい、放熱性能が低下するという問題がある。
【0005】
本開示の目的は、半導体素子で発生した熱を放熱し易くすることにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の第1の態様は、半導体素子(2)と、導電性を有する板状の部材で構成され、前記半導体素子(2)が実装された実装面(15)と、前記実装面(15)とは反対側で露出する露出面(16)と、を有する第1配線部材(11)と、導電性を有する板状の部材で構成され、前記第1配線部材(11)に対して、前記第1配線部材(11)の板厚方向と直交する方向に間隔をあけて配置され、前記第1配線部材(11)の前記露出面(16)と同じ側で露出する露出面(16)を有する第2配線部材(12)と、前記第1配線部材(11)と前記第2配線部材(12)との間に配置され、前記第1配線部材(11)及び前記第2配線部材(12)を保持し、前記露出面(16)から板厚方向の前記露出面(16)側に突出する突部(22)を有する絶縁性の保持部材(20)と、前記半導体素子(2)と、前記第1配線部材(11)及び前記第2配線部材(12)の前記実装面(15)と、を少なくとも覆う絶縁性の封止材(36)と、を備えるパワーモジュールである。
【0007】
第1の態様では、半導体素子(2)で発生した熱が、第1配線部材(11)の露出面(16)から直接放熱されることで、熱抵抗を低減することができる。また、突部(22)を設けることで、第1配線部材(11)と第2配線部材(12)との間の沿面絶縁距離を確保することができる。
【0008】
本開示の第2の態様は、第1の態様のパワーモジュールにおいて、前記保持部材(20)における前記第1配線部材(11)の前記実装面(15)側の端部は、前記実装面(15)と面一、又は前記実装面(15)よりも前記露出面(16)側に配置される。
【0009】
第2の態様では、第1配線部材(11)と第2配線部材(12)とをワイヤボンディングする際に、保持部材(20)が邪魔になるのを抑えることができる。また、保持部材(20)の使用量を低減することができる。
【0010】
本開示の第3の態様は、第1又は2の態様のパワーモジュールにおいて、前記突部(22)は、前記突部(22)の先端に向かって先細な形状である。
(【0011】以降は省略されています)

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