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公開番号2025128700
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-03
出願番号2024025513
出願日2024-02-22
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250827BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】載置面における温度分布に影響を与えることなく、載置面に供給するガスの流量を増加させることができる保持装置を提供すること。
【解決手段】保持する半導体ウエハWが載置される載置面11を備える板状部材10と、載置面11へ不活性ガスを供給するために板状部材10内に形成されたガス流路40と、を有する静電チャック1において、ガス流路40は、板状部材10内で平面方向に延びる横ガス流路44と、板状部材10の厚さ方向に延びて、一端が横ガス流路44に連通し、他端が載置面11に開口する複数のガス排出流路42と、を備え、横ガス流路44の長手方向に垂直な断面であって、一つのガス排出流路42を含む特定断面において、横ガス流路44を画定する載置面11側の辺44aが、排出流路42の延びる方向に垂直な垂線Lに対して傾いている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
保持する対象物が載置される載置面を備える板状部材と、
前記載置面へ不活性ガスを供給するために前記板状部材内に形成されたガス流路と、
を有する保持装置において、
前記ガス流路は、
前記板状部材内で平面方向に延びる横穴と、
前記板状部材の厚さ方向に延びて、一端が前記横穴に連通し、他端が前記載置面に開口する複数の縦穴と、を備え、
前記横穴の長手方向に垂直な断面であって、一つの前記縦穴を含む特定断面において、
前記横穴を画定する前記載置面側の辺が、前記縦穴の延びる方向に垂直な垂線に対して傾いている
ことを特徴とする保持装置。
続きを表示（約 310 文字）【請求項２】
請求項１に記載する保持装置において、
前記特定断面において、前記横穴の前記載置面側とは反対側の辺が、前記載置面側へ突出した凸部を有する
ことを特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する保持装置において、
前記特定断面において、前記横穴の角部の少なくとも１つがＲ形状になっている
ことを特徴とする保持装置。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載する保持装置において、
前記特定断面において前記縦穴は、前記載置面側の開口部分より前記横穴との連通部分が大きい
ことを特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
対象物を保持する保持装置として、静電チャックが知られている。そして、静電チャックでは、保持する対象物との熱交換を向上させるために、載置面と対象物との間の微少空間に不活性ガスを供給して充填させている。この種の静電チャックでは、例えば特許文献１に記載されているように、セラミック絶縁体（板状部材）の内部にガス流路が形成されている。このガス流路は、セラミック絶縁体（板状部材）の平面方向に伸びる横穴と、セラミック絶縁体（板状部材）の厚み方向に伸びて横穴に連通する縦穴とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第４７６８３３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、静電チャックに高電圧が印加される（ハイパワーで使用される）ことが増えており、保持する対象物の温度が従来より高温になる傾向にある。そして、対象物の温度が高くなるほど、対象物に対するプロセス処理の効率が低下するため、対象物の温度を短時間で低下させることができる抜熱性（抜熱性の向上）が要求されている。
【０００５】
そのため、抜熱性を向上させるために、載置面に供給するガスの流量を増やすことが望まれている。ここで、縦穴の直径（流路断面積）を大きくすれば、載置面に供給されるガスの流量を増やすことができるが、縦穴の直径を大きくすると、載置面において、縦穴の開口周辺に形成される温度特異点の領域が拡がってしまう。その結果、載置面における温度分布の均一性が低下してしまうという問題が発生する。このような現状において、縦穴の直径（流路断面積）を変化させずにガスの流量を増加させることが望まれている。
【０００６】
そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、載置面における温度分布に影響を与えることなく、載置面に供給するガスの流量を増加させることができる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、
保持する対象物が載置される載置面を備える板状部材と、
前記載置面へ不活性ガスを供給するために前記板状部材内に形成されたガス流路と、
を有する保持装置において、
前記ガス流路は、
前記板状部材内で平面方向に延びる横穴と、
前記板状部材の厚さ方向に延びて、一端が前記横穴に連通し、他端が前記載置面に開口する複数の縦穴と、を備え、
前記横穴の長手方向に垂直な断面であって、一つの前記縦穴を含む特定断面において、
前記横穴を画定する前記載置面側の辺が、前記縦穴の延びる方向に垂直な垂線に対して傾いていることを特徴とする。
【０００８】
この保持装置では、横穴と縦穴とで構成されるガス流路が板状部材内に形成されている。そして、横穴の長手方向に垂直な断面であって、一つの縦穴を含む特定断面にて、横穴を画定する載置面側の辺が、縦穴の延びる方向に垂直な垂線に対して傾いている。これにより、縦穴が横穴に接続する箇所（縦穴のガス流入口に相当する部分）における縦穴の入り口（面積）を大きくすることができる。
【０００９】
そのため、従来の保持装置と比べて、縦穴を流れるガスの流量を増加させることができる。そして、縦穴の直径（開口面積）は変えていないため、載置面における縦穴周辺の温度分布に影響を与えることなく、載置面に供給するガスの流量を増加させることができる。これにより、載置面における温度分布の均一性を悪化させず抜熱性を向上させることができる。
【００１０】
上記した保持装置において、
前記特定断面において、前記横穴の前記載置面側とは反対側の辺が、前記載置面側へ突出した凸部を有することが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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