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公開番号2025141546
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024041541
出願日2024-03-15
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250919BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】対象物を保持する面における均熱性を向上させることができる保持装置を提供すること。
【解決手段】本開示の一態様は、静電チャック1において、板状部材10の内部には、チャック電極40と、チャック電極40に給電するための複数のビア50及び複数の接続パッド60とが配置され、板状部材10の下面12には、空間部13が形成されており、複数のビア50のうち保持面11から同じ高さ位置に配置されてチャック電極40に接続されるビア50には、冷媒流路23が真下に有る基準のビア50Aと、冷媒流路23が真下に無いビア50B,50Cとが含まれており、基準のビア50Aの面積(S)と、ビア50B,50Cの面積(S)とが異なる。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面とを備える板状部材と、
冷媒を流すための冷媒流路と、を備え、
前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記板状部材の内部には、内部電極と、前記内部電極に給電するための複数のビア及び複数の接続パッドと空間部とが配置され、
前記複数のビアのうち前記第１の面から同じ高さ位置に配置されて前記内部電極に接続されるビアには、
前記厚み方向視にて前記冷媒流路には重ならない位置に配置されて前記接続パッドのうちの１つに接続される第１ビアと、
前記厚み方向視にて前記冷媒流路と重なる位置に配置されて前記接続パッドのうちの別の１つに接続される第２ビアと、
が含まれており、
前記第１ビアの前記厚み方向視における面積と、前記第２ビアの前記厚み方向視における面積とが異なること、
又は、
前記複数のビアのうち前記第１の面から同じ高さ位置に配置されて前記内部電極に接続されるビアには、
前記厚み方向視にて前記空間部には重ならない位置に配置されて前記接続パッドのうちの１つに接続される第３ビアと、
前記厚み方向視にて前記空間部と重なる位置に配置されて前記接続パッドのうちの別の１つに接続される第４ビアと、
が含まれており、
前記第３ビアの前記厚み方向視における面積と、前記第４ビアの前記厚み方向視における面積とが異なること、
を特徴とする保持装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面とを備える板状部材と、
冷媒を流すための冷媒流路と、を備え、
前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記板状部材の内部には、内部電極と、前記内部電極に給電するための複数のビア及び複数の接続パッドと空間部とが配置され、
前記複数の接続パッドのうち前記第１の面から同じ高さ位置に配置されて前記内部電極に接続される接続パッドには、
前記厚み方向視にて前記冷媒流路には重ならない位置に配置される第１接続パッドと、
前記厚み方向視にて前記冷媒流路と重なる位置に配置される第２接続パッドと、
が含まれており、
前記第１接続パッドの前記厚み方向視における面積と、前記第２接続パッドの前記厚み方向視における面積とが異なること、
又は、
前記複数の接続パッドのうち前記第１の面から同じ高さ位置に配置されて前記内部電極に接続される接続パッドには、
前記厚み方向視にて前記空間部には重ならない位置に配置される第３接続パッドと、
前記厚み方向視にて前記空間部と重なる位置に配置される第４接続パッドと、
が含まれており、
前記第３接続パッドの前記厚み方向視における面積と、前記第４接続パッドの前記厚み方向視における面積とが異なること、
を特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項１に記載する保持装置において、
前記第１ビアと前記第２ビアとの数は同じ数であり、
前記第１ビアと前記第２ビアとは前記厚み方向視でそれぞれ円形であり、
前記第１ビアと前記第２ビアとの前記厚み方向視での直径が異なること、
又は、
前記第３ビアと前記第４ビアとの数は同じ数であり、
前記第３ビアと前記第４ビアとは前記厚み方向視でそれぞれ円形であり、
前記第３ビアと前記第４ビアとの前記厚み方向視での直径が異なること、
を特徴とする保持装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１つに記載する保持装置において、
前記内部電極は、チャック電極であること、
を特徴とする保持装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれか１つに記載する保持装置において、
前記第１ビアの前記厚み方向視における面積と、前記第２ビアの前記厚み方向視における面積との比率が１．３以上、又は、
前記第１接続パッドの前記厚み方向視における面積と、前記第２接続パッドの前記厚み方向視における面積との比率が、１．３以上であること、
又は、
前記第３ビアの前記厚み方向視における面積と、前記第４ビアの前記厚み方向視における面積との比率が１．３以上、又は、
前記第３接続パッドの前記厚み方向視における面積と、前記第４接続パッドの前記厚み方向視における面積との比率が、１．３以上であること、
を特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、板状部材（セラミック基板）の内部に内部電極に給電するための複数のビア及び複数の接続パッド（内部配線層や中間導電層）が配置されている保持装置（静電チャック）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－２２８３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示される保持装置において、ビア及び接続パッドは発熱するが、ベース部材（金属ベース）内の冷媒流路（冷却路）を流れる冷媒によって、ビア及び接続パッドの熱が引かれる。しかしながら、冷媒流路が真下に有るビア及び接続パッドと、冷媒流路が真下に無いビア及び接続パッドでは、冷媒流路を流れる冷媒によって引かれる熱量が異なる。
【０００５】
特に、同じ内部電極（例えば、チャック電極）に接続されるものであって、対象物を保持する面から同じ高さ位置に配置される複数のビア及び接続パッドについて、上記のように引かれる熱量が異なると、対象物を保持する面において、冷媒流路が真下に有るビア及び接続パッドの配置位置と冷媒流路が真下に無いビア及び接続パッドの配置位置との温度差が顕著に生じてしまう。そのため、対象物を保持する面において温度分布を均一化することができないため、対象物を保持する面における均熱性が低下してしまう。
【０００６】
そこで、本開示は上記した課題を解決するためになされたものであり、対象物を保持する面における均熱性を向上させることができる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面とを備える板状部材と、冷媒を流すための冷媒流路と、を備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、前記板状部材の内部には、内部電極と、前記内部電極に給電するための複数のビア及び複数の接続パッドと空間部とが配置され、前記複数のビアのうち前記第１の面から同じ高さ位置に配置されて前記内部電極に接続されるビアには、前記厚み方向視にて前記冷媒流路には重ならない位置に配置されて前記接続パッドのうちの１つに接続される第１ビアと、前記厚み方向視にて前記冷媒流路と重なる位置に配置されて前記接続パッドのうちの別の１つに接続される第２ビアと、が含まれており、前記第１ビアの前記厚み方向視における面積と、前記第２ビアの前記厚み方向視における面積とが異なること、又は、前記複数のビアのうち前記第１の面から同じ高さ位置に配置されて前記内部電極に接続されるビアには、前記厚み方向視にて前記空間部には重ならない位置に配置されて前記接続パッドのうちの１つに接続される第３ビアと、前記厚み方向視にて前記空間部と重なる位置に配置されて前記接続パッドのうちの別の１つに接続される第４ビアと、が含まれており、前記第３ビアの前記厚み方向視における面積と、前記第４ビアの前記厚み方向視における面積とが異なること、を特徴とする。
【０００８】
この態様によれば、第１ビアと第２ビアにおけるそれぞれの発熱量、又は、第３ビアと第４ビアにおけるそれぞれの発熱量を調整することができる。そのため、第１の面において、第１ビアの配置位置と第２ビアの配置位置との温度差、又は、第３ビアの配置位置と第４ビアの配置位置との温度差を小さくすることができる。したがって、第１の面において温度分布を均一化することができるため、第１の面における均熱性を向上させることができる。
【０００９】
上記課題を解決するためになされた本開示の他の形態は、第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面とを備える板状部材と、冷媒を流すための冷媒流路と、を備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、前記板状部材の内部には、内部電極と、前記内部電極に給電するための複数のビア及び複数の接続パッドと空間部とが配置され、前記複数の接続パッドのうち前記第１の面から同じ高さ位置に配置されて前記内部電極に接続される接続パッドには、前記厚み方向視にて前記冷媒流路には重ならない位置に配置される第１接続パッドと、前記厚み方向視にて前記冷媒流路と重なる位置に配置される第２接続パッドと、が含まれており、前記第１接続パッドの前記厚み方向視における面積と、前記第２接続パッドの前記厚み方向視における面積とが異なること、又は、前記複数の接続パッドのうち前記第１の面から同じ高さ位置に配置されて前記内部電極に接続される接続パッドには、前記厚み方向視にて前記空間部には重ならない位置に配置される第３接続パッドと、前記厚み方向視にて前記空間部と重なる位置に配置される第４接続パッドと、が含まれており、前記第３接続パッドの前記厚み方向視における面積と、前記第４接続パッドの前記厚み方向視における面積とが異なること、を特徴とする。
【００１０】
この態様によれば、第１接続パッドと第２接続パッドにおけるそれぞれの発熱量、又は、第３接続パッドと第４接続パッドにおけるそれぞれの発熱量を調整することができる。そのため、第１の面において、第１接続パッドの配置位置と第２接続パッドの配置位置との温度差、又は、第３接続パッドの配置位置と第４接続パッドの配置位置との温度差を小さくすることができる。したがって、第１の面において温度分布を均一化することができるため、第１の面における均熱性を向上させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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