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公開番号2025109876
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-25
出願番号2025082595,2021092053
出願日2025-05-16,2021-06-01
発明の名称吸着装置及びその制御方法
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250717BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板の吸着が中断することによる不具合を防止するための吸着装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】基板を吸着保持する吸着保持部と、吸着保持部に基板を吸着保持するための真空源と、吸着保持部と真空源との間に配置された圧力センサと、一時吸着用真空源と、圧力センサの出力に基づいて、真空源による基板の吸着状態が異常であると判定した場合に、真空源を基板から切り離し、一時吸着用真空源による吸着に切り替える制御装置と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を吸着保持する吸着保持部と、
前記吸着保持部に前記基板を吸着保持するための真空源と、
前記吸着保持部と前記真空源との間に配置された圧力センサと、
一時吸着用真空源と、
前記圧力センサの出力に基づいて、前記真空源による前記基板の吸着状態が異常であると判定した場合に、前記真空源を前記基板から切り離し、前記一時吸着用真空源による吸着に切り替える制御装置と、
を備える吸着装置。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
前記吸着保持部における前記基板が配置される側には、前記基板に対して処理を行う処理部が設けられており、
前記制御装置は、前記処理部が前記処理を実行している間は前記判定を行う、
請求項１に記載の吸着装置。
【請求項３】
真空源により吸着保持部に基板を吸着保持する吸着保持ステップと、
前記吸着保持部と前記真空源との間に配置された圧力センサの出力に基づいて、前記真空源による前記基板の吸着状態が異常であると判定した場合に、前記真空源を前記吸着保持部から切り離し、一時吸着用真空源による吸着に切り替える切替ステップと、
を含む吸着装置の制御方法。
【請求項４】
前記吸着保持部における前記基板が配置される側には、前記基板に対して処理を行う処理部が設けられており、
前記切替ステップは、前記処理部が前記処理を実行している間は前記判定を行う、
請求項３に記載の吸着装置の制御方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はプローバ及びその制御方法に係り、半導体ウェーハ上に形成された複数の半導体デバイスの検査を行うためのプローバ及びその制御方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程では、品質保証及び歩留まりの向上のために、各種の製造工程で各種の検査が行われる。例えば、ウェーハレベル検査では、半導体ウェーハ（以下、ウェーハという。）上に個々の半導体デバイスに対応する複数のチップが形成された段階で、半導体デバイスの電極（パッド）をテスタに接続し、テスト信号を供給する。そして、このテスト信号に応じて半導体デバイスが出力する信号をテスタで測定して、半導体デバイスが正常に動作するかを電気的に検査する。
【０００３】
上記のようなウェーハは反りを有することがあり、ウェーハレベル検査を行う際には、ウェーハチャックにウェーハを吸着して反りを矯正することにより、ウェーハをフラットな状態に保つようになっている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００５－１１６８４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図６の（ａ）に示すように、ウェーハＷを検査するときには、真空源５２を用いてウェーハチャック５０の表面に検査対象のウェーハＷを吸着保持する。これにより、ウェーハＷは、ウェーハチャック５０の表面に倣ってフラットな状態に保った状態で、プローブカード５４のプローブ針５６を、ウェーハＷの表面に形成された半導体デバイスの電極に当接させて検査を行う。
【０００６】
検査が終了すると、図６の（ｂ）に示すように、プローブカード５４とウェーハチャック５０とを遠ざけた後に、真空源５２による吸着を解除する。これにより、ウェーハＷがウェーハチャック５０の上側に反っても、プローブ針５６に接触しないようにすることができる。
【０００７】
ところで、ウェーハＷを吸着しているときに、真空源５２からの吸引が中断した場合、図７に示すように、プローブカード５４とウェーハチャック５０が近づいた状態のまま、ウェーハＷが反ってしまう。この場合、反ったウェーハＷがプローブ針５６に衝突し、プローブ針５６を損傷させる場合がある。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ウェーハの吸着が中断することによる不具合を防止するためのプローバ及びその制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様に係るプローバは、ウェーハを吸着保持するウェーハチャックと、ウェーハチャックに対向する面にプローブを有するプローブカードと、ウェーハチャックを移動させるアライメント装置と、ウェーハチャックにウェーハを吸着保持するための真空源と、ウェーハチャックと、真空源との間に配置された圧力センサと、一時吸着用真空源と、アライメント装置によりウェーハをプローブカードに近づけて検査を行う場合において、圧力センサの出力に基づいて、真空源によるウェーハの吸着状態が異常であると判定した場合に、真空源をウェーハチャックから切り離し、一時吸着用真空源による吸着に切り替える制御装置とを備える。
【００１０】
本発明の第２の態様に係るプローバは、第１の態様において、制御装置は、アライメント装置を制御して、ウェーハチャックをプローブカードから遠ざける。
（【００１１】以降は省略されています）

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