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公開番号2025095248
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-26
出願番号2023211141
出願日2023-12-14
発明の名称塗布装置
出願人東レエンジニアリング株式会社
代理人弁理士法人サンクレスト国際特許事務所
主分類B05C 5/00 20060101AFI20250619BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】ヘッドが有するポートにつながる配管における液の硬化を抑える。
【解決手段】塗布装置10は、液Lを溜める供給タンク11と、ワークWに対して液Lを吐出する吐出部21を有するヘッド12と、供給タンク11からヘッド12に液Lを供給するための配管を有する流路部13と、を有する。ヘッド12は、液Lを通過可能とする第一ポート31と、液Lを通過可能とする第二ポート32と、を有する。吐出部21から液Lを吐出してワークWに液Lを塗布する塗布動作のために、供給タンク11とヘッド12とが第一ポート31を通じてつながって液Lをヘッド12に供給する第一供給状態と、供給タンク11とヘッド12とが第二ポート32を通じてつながって液Lをヘッド12に供給する第二供給状態と、を択一的に切り替え可能である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液を溜める供給タンクと、
ワークに対して前記液を吐出する吐出部を有するヘッドと、
前記供給タンクから前記ヘッドに前記液を供給するための配管を有する流路部と、
を有し、
前記ヘッドは、
前記液を通過可能とする第一ポートと、
前記液を通過可能とする第二ポートと、
を有し、
前記吐出部から前記液を吐出して前記ワークに前記液を塗布する塗布動作のために、
前記供給タンクと前記ヘッドとが前記第一ポートを通じてつながって前記液を前記ヘッドに供給する第一供給状態と、
前記供給タンクと前記ヘッドとが前記第二ポートを通じてつながって前記液を前記ヘッドに供給する第二供給状態と、
を択一的に切り替え可能である、
塗布装置。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記ヘッドから前記第一ポート又は前記第二ポートを通じて排出される前記液を受ける廃液部を有する、請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記流路部は、
前記第一ポートと前記供給タンクとをつなぐ第一配管と、
前記第二ポートとつながる第二配管と、
前記第一配管と前記第二配管とをつなぐバイパス配管と、
前記供給タンクの前記液を、前記第一ポート及び前記第二ポートのうちのいずれか一方を通じて前記ヘッドに流すために、開閉状態が切り替えられるバルブと、
を有する、
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記ヘッドから前記廃液部に前記液を流して、前記ヘッドの前記液に含まれるガスを排出する排出動作のために、
前記第一ポートと前記廃液部とが前記流路部の前記配管を通じてつながって前記ヘッドの前記液を前記廃液部に排出する第一排出状態と、
前記第二ポートと前記廃液部とが前記流路部の前記配管を通じてつながって前記ヘッドの前記液を前記廃液部に排出する第二排出状態と、
を択一的に切り替え可能である、
請求項２に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記流路部は、
前記第一ポートと前記供給タンクとをつなぐ第一配管と、
前記第二ポートと前記廃液部とをつなぐ第二配管と、
前記第一配管と前記第二配管とをつなぐバイパス配管と、
前記ヘッドの前記液を、前記第一ポート及び前記第二ポートのうちのいずれか一方を通じて前記廃液部に流すために、開閉状態が切り替えられるバルブと、
を有する、
請求項４に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記排出動作の途中で、前記第一排出状態と前記第二排出状態とのうちの一方から他方に切り替える、
請求項４又は請求項５に記載の塗布装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ガラス又はフィルム等のワークに液を吐出し、そのワーク上に様々な形状の膜（膜パターン）を形成するため、例えば特許文献１に開示の塗布装置が用いられる。塗布装置は、液を溜める供給タンクと、液を吐出するノズル（吐出部）を有するヘッドと、供給タンクからヘッドに液を供給するための配管を有する流路部とを有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－３０７３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記のような塗布装置において、例えばヘッド内の液にガス（エア）が混入する場合がある。ガスが液に多く含まれていると、ノズルから液を正しく吐出することができない場合がある。そこで、ワークに液を吐出する塗布動作の前に、ヘッド、及びそのヘッドにつながる配管に充填されている液を、廃液タンクに排出する排出動作が行われる。
【０００５】
つまり、液中に存在するガスを、その液と共にヘッドから強制的に排出させ、その液を最終的に廃液タンクに送る。これにより、ヘッド、及びそのヘッドにつながる配管の液に混入するガスが除去される。
図６は、従来の塗布装置による排出動作の説明図である。ヘッド９０は、ワークＷに対する液の吐出を行うノズル９５の他に、供給ポート９１と、排出ポート９９とを有する。
【０００６】
塗布動作の前に、立ち上げ準備が行われる。立ち上げ準備では、供給ポート９１に接続される供給配管９２の第一バルブ９３、及び、排出ポート９９に接続される排出配管９８の第二バルブ９７を、共に開状態とする。図外の供給タンクから液が、供給ポート９１を通じてヘッド９０に供給され、ヘッド９０を通過した液が、排出ポート９９を通じて、図外の廃液タンクに排出される。これにより、ヘッド９０内等の液のガスが排出される。
【０００７】
その後、図７に示すように、第二バルブ９７が閉状態とされ、塗布動作が開始される。図７は、従来の塗布装置による塗布動作の説明図である。塗布動作の間、排出ポート９９から第二バルブ９７までの流路（排出配管９８の一部）に存在する液は、滞留した状態となる。液は、滞留した状態が長期継続すると劣化し硬化する。すると、次に排出動作を行う際、ヘッド９０から排出ポート９９を通じて、液が排出されなくなる可能性がある。特に液が、ＵＶインクのように硬化しやすい特性を有する場合、前記のような不具合は発生しやすい。
【０００８】
そこで、本開示は、ヘッドが有するポートにつながる配管における液の硬化を抑えることが可能となる塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の塗布装置は、液を溜める供給タンクと、ワークに対して前記液を吐出する吐出部を有するヘッドと、前記供給タンクから前記ヘッドに前記液を供給するための配管を有する流路部と、を有し、前記ヘッドは、前記液を通過可能とする第一ポートと、前記液を通過可能とする第二ポートと、を有し、前記吐出部から前記液を吐出して前記ワークに前記液を塗布する塗布動作のために、前記供給タンクと前記ヘッドとが前記第一ポートを通じてつながって前記液を前記ヘッドに供給する第一供給状態と、前記供給タンクと前記ヘッドとが前記第二ポートを通じてつながって前記液を前記ヘッドに供給する第二供給状態と、を択一的に切り替え可能である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の塗布装置によれば、ヘッドが有するポートにつながる配管における液の硬化を抑えることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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