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公開番号2025081868
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-28
出願番号2023194923
出願日2023-11-16
発明の名称シート剥離装置およびシート剥離方法
出願人リンテック株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250521BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】巻取不良を防止することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供すること。
【解決手段】被着体WKの外周面WKEに貼付された接着シートASを保持するシート保持手段10と、シート保持手段10で保持された接着シートASに張力を付与し、被着体WKから接着シートASを剥離する剥離手段20と、被着体WKから剥離した接着シートASを巻き取る巻取手段50とを備え、巻取手段50は、接着シートASを挟み込んでから当該接着シートASを巻き取る。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被着体の外周面に貼付された接着シートを保持するシート保持手段と、
前記シート保持手段で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記被着体から剥離した接着シートを巻き取る巻取手段とを備え、
前記巻取手段は、前記接着シートを挟み込んでから当該接着シートを巻き取ることを特徴とするシート剥離装置。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
被着体の外周面に貼付された接着シートを保持するシート保持手段と、
前記シート保持手段で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記被着体から剥離した接着シートを巻き取る巻取手段とを備え、
前記シート保持手段は、剥離用接着部材を前記接着シートに貼付することで、当該剥離用接着部材を介して接着シートを保持し、
前記巻取手段は、前記剥離用接着部材および前記接着シートの少なくとも一方を挟み込んでから当該接着シートを巻き取ることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項３】
巻き取った接着シートを前記巻取手段から除去する除去手段を更に備えていることを特徴とする請求項１または２に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
被着体の外周面に貼付された接着シートを保持するシート保持工程と、
前記シート保持工程で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記被着体から剥離した接着シートを巻き取る巻取工程とを実施し、
前記巻取工程では、前記接着シートを挟み込んでから当該接着シートを巻き取ることを特徴とするシート剥離方法。
【請求項５】
被着体の外周面に貼付された接着シートを保持するシート保持工程と、
前記シート保持工程で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記被着体から剥離した接着シートを巻き取る巻取工程とを実施し、
前記シート保持工程では、剥離用接着部材を前記接着シートに押圧して貼付することで、当該剥離用接着部材を介して接着シートを保持し、
前記巻取工程では、前記剥離用接着部材および前記接着シートの少なくとも一方を挟み込んでから当該接着シートを巻き取ることを特徴とするシート剥離方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
被着体の外周面に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－３０８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたテープ剥がしシステム７０（シート剥離装置）では、ウエハＷ（被着体）から剥離された保護テープ２７（接着シート）に巻き取りローラ９６（巻取部材）を当接させてから巻取部材を回転させて接着シートを巻き取る動作が行われているが、剥離した接着シートに接着力がないと、巻取部材を回転させても巻取部材が空回りするだけで、剥離した接着シートが巻取部材に巻き付かず、巻取不良を発生する。特に、被着体の外周のみ貼付する接着シートは、幅が細く巻取部材が当接する接触面積が少ないため摩擦が起きにくく、上述した不都合が顕著に現れ、また、接着シートを剥離する前に当該接着シートの特性に合わせてその接着力を低下させる処理（例えば、紫外線照射）すると、剥離した接着シートの接着力は、ほぼなくなっているため巻取部材を当接させても付着しないため、上述した巻取不良が顕著に現れる。
【０００５】
本発明の目的は、巻取不良を防止することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、接着シートを挟み込んでから当該接着シートを巻き取るので、剥離した接着シートの接着力の有無に関わらず当該接着シートを巻き取ることができ、巻取不良を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図および同装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＶＤ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明のシート剥離方法を実施するシート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫの外周面ＷＫＥに貼付された接着シートＡＳを保持するシート保持工程を実施するシート保持手段１０と、シート保持手段１０で保持された接着シートＡＳに張力を付与し、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する剥離工程を実施する剥離手段２０と、剥離境界部ＰＥ（図１（Ｄ）参照）の位置を検知する剥離境界部検知工程を実施する剥離境界部検知手段３０と、剥離用シートＰＳに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段４０と、被着体ＷＫから剥離した接着シートＡＳを巻き取る巻取工程を実施する巻取手段５０と、巻き取った接着シートＡＳを巻取部材から除去する除去工程を実施する除去手段６０と、を備えている。
本実施形態では、被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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