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公開番号2025077706
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-19
出願番号2023190099
出願日2023-11-07
発明の名称マスク収納装置及び成膜装置
出願人キヤノントッキ株式会社
代理人弁理士法人秀和特許事務所
主分類C23C 14/04 20060101AFI20250512BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】マスクカセットを出し入れするのに必要なスペースを狭くすることが可能なマスク収納装置及び成膜装置を提供する。
【解決手段】複数のマスクを多段に収納可能なマスクカセット200と、マスクカセット200を収納可能なチャンバ本体111と、チャンバ本体111の開口部111aを開閉可能な蓋体120と、を備えるマスクストッカ室100であって、蓋体120が開口部111aを閉じる第1位置と、第1位置よりも鉛直方向上方の第2位置との間で、蓋体120を移動させる蓋体移動機構125を備え、蓋体120が第2位置に移動した状態では、マスクカセット200が水平方向に移動して、開口部111aと蓋体120との間の位置まで移動可能に構成されることを特徴とする。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
複数のマスクを多段に収納可能なマスクカセットと、
前記マスクカセットを収納可能なチャンバ本体と、
前記チャンバ本体の開口部を開閉可能な蓋体と、
を備えるマスク収納装置であって、
前記蓋体が前記開口部を閉じる第１位置と、前記第１位置よりも鉛直方向上方の第２位置との間で、前記蓋体を移動させる蓋体移動機構を備え、
前記蓋体が前記第２位置に移動した状態では、前記マスクカセットが水平方向に移動して、前記開口部と前記蓋体との間の位置まで移動可能に構成されることを特徴とするマスク収納装置。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記開口部と前記蓋体との間の位置まで移動した前記マスクカセットを前記チャンバ本体の内部の位置まで下降させるマスクカセット移動機構を備えることを特徴とする請求項１に記載のマスク収納装置。
【請求項３】
前記チャンバ本体の側壁面には、前記マスクを前記チャンバ本体の内部に対して出し入れするためのマスク用開口部が設けられ、かつ、前記チャンバ本体の内部には、前記マスクカセットを支持する支持台が設けられると共に、
前記マスクカセットと前記マスク用開口部との高さ方向の位置関係を変更するために、前記支持台を昇降させる昇降機構を備えることを特徴とする請求項１に記載のマスク収納装置。
【請求項４】
前記マスクカセットと前記支持台とを位置決めする位置決め構造を備えることを特徴とする請求項３に記載のマスク収納装置。
【請求項５】
前記位置決め構造は、前記マスクカセット及び前記支持台のうちの一方に設けられた先細りするピンと、前記マスクカセット及び前記支持台のうちの他方に設けられ、前記ピンが挿入される位置決め穴とから構成されることを特徴とする請求項４に記載のマスク収納装置。
【請求項６】
前記マスクカセットは複数重ねて前記チャンバ本体の内部に収納可能に構成されると共に、
前記マスクカセットの下面に前記ピン又は前記位置決め穴が設けられ、前記マスクカセットの上面に、前記マスクカセットが重ねられた際に、前記ピンが挿入される上面側位置決め穴、または、前記位置決め穴に挿入する先細りする上面側ピンが設けられることを特徴とする請求項５に記載のマスク収納装置。
【請求項７】
前記開口部と前記蓋体との間の位置まで移動した前記マスクカセットを前記チャンバ本体の内部の位置まで下降させるマスクカセット移動機構を備えると共に、
前記マスクカセット移動機構は、前記マスクカセットを固定及び固定解除可能に構成される固定ユニットを有しており、
前記固定ユニットにより前記マスクカセットが固定された状態で前記ピン又は上面側ピンの先端が前記位置決め穴又は上面側位置決め穴に挿入された後に、前記固定ユニットによる固定が解除され、その後、前記ピン又は上面側ピンが前記位置決め穴又は上面側位置決め穴に完全に挿入されることを特徴とする請求項６に記載のマスク収納装置。
【請求項８】
前記チャンバ本体に配され、前記マスクカセットを支持する支持部材と、
前記支持部材に前記マスクカセットが支持された状態で、前記支持部材の支持面に平行な第１方向に対して、前記マスクカセットを両側面から押し込むことで前記マスクカセッ
トの前記第１方向の位置決めを行う複数の押圧部材と、
を備えると共に、
前記マスクカセットには、前記複数の押圧部材により押圧される複数か所のうちの１か所に、前記押圧部材により押圧されることで、前記支持面に平行かつ前記第１方向に垂直な第２方向に前記マスクカセット自体を移動させる案内面が設けられることを特徴とする請求項１に記載のマスク収納装置。
【請求項９】
前記案内面は、前記押圧部材による押圧方向に向かうにつれて互いの間隔が徐々に狭くなる一対の傾斜面により構成されることを特徴とする請求項８に記載のマスク収納装置。
【請求項１０】
前記開口部と前記蓋体との間の位置まで移動した前記マスクカセットを前記チャンバ本体の内部の位置まで下降させるマスクカセット移動機構を備えると共に、
前記マスクカセット移動機構は、前記マスクカセットを前記第１方向及び前記第２方向に固定及び固定解除可能に構成される固定ユニットを有しており、
前記押圧部材による押圧動作が行われる際には、前記固定ユニットによる固定が解除されていることを特徴とする請求項９に記載のマスク収納装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク収納装置及び成膜装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、成膜装置において、装置内にてマスクの交換を可能とするために、複数のマスクを収容可能なマスク収納装置が設けられる技術が知られている。特許文献１には、チャンバ本体の上部の蓋を開けて、複数のマスクを多段に収納可能なマスクカセットをチャンバ本体に出し仕入れ可能な技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
中国特許出願公開第１０９８５２９２５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された技術の場合には、蓋を水平方向にスライドさせる構成のため、マスクカセットを高く吊り上げながら移動させて、チャンバ本体に出し入れする必要がある。そのため、マスクカセットの出し入れに関して、未だ改善の余地がある。
【０００５】
本発明の目的は、マスクカセットを出し入れするのに必要なスペースを狭くすることが可能なマスク収納装置及び成膜装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のマスク収納装置は、
複数のマスクを多段に収納可能なマスクカセットと、
前記マスクカセットを収納可能なチャンバ本体と、
前記チャンバ本体の開口部を開閉可能な蓋体と、
を備えるマスク収納装置であって、
前記蓋体が前記開口部を閉じる第１位置と、前記第１位置よりも鉛直方向上方の第２位置との間で、前記蓋体を移動させる蓋体移動機構を備え、
前記蓋体が前記第２位置に移動した状態では、前記マスクカセットが水平方向に移動して、前記開口部と前記蓋体との間の位置まで移動可能に構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
以上説明したように、本発明によれば、マスクカセットを出し入れするのに必要なスペースを狭くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は成膜装置の一部の概略構成図である。
図２は成膜室の概略構成図である。
図３はマスクストッカ室（マスク収納装置）の概略構成図である。
図４はマスクカセットの概略構成図である。
図５はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図６はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図７はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図８はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図９はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図１０はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図１１はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図１２はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図１３はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図１４はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図１５はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図１６はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図１７はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図１８はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図１９はマスクストッカ室のメカニズム説明図である。
図２０は有機ＥＬ表示装置の全体図及び有機ＥＬ表示装置の素子の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、以下の実施例は本発明の好ましい構成を例示的に示すものにすぎず、本発明の範囲はそれらの構成に限定されない。また、以下の説明における、装置のハードウェア構成及びソフトウェア構成、処理フロー、製造条件、寸法、材質、形状などは、特に特定的な記載がない限り、本発明の範囲をこれに限定しようとする趣旨ではない。
【００１０】
本発明は、基板上に薄膜を形成する成膜装置に関するものである。本発明は、基板の表面に真空蒸着により所望のパターンの薄膜を形成する装置に好ましく適用できる。基板の材料としては、ガラス、樹脂、金属などの任意の材料を選択でき、また、蒸着材料としても、有機材料、無機材料（金属、金属酸化物など）などの任意の材料を選択できる。本発明の技術は、具体的には、有機電子デバイス（例えば、有機ＥＬ表示装置、薄膜太陽電池）、光学部材などの製造装置に適用可能である。本発明は、蒸着以外の方法、例えばスパッタリングで成膜を行う成膜装置にも適用され得る。
（【００１１】以降は省略されています）

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