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公開番号2025060877
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-10
出願番号2024229933,2020131206
出願日2024-12-26,2020-07-31
発明の名称検査治具、及び検査装置
出願人ニデックアドバンステクノロジー株式会社
代理人個人
主分類G01R 1/073 20060101AFI20250403BHJP(測定;試験)
要約【課題】接触子を支持する支持部に加わるストレスを軽減することが容易な検査治具、及び検査装置を提供する。
【解決手段】検査治具3は、棒状の接触子Prと、接触子Prの一端部側を支持する第一支持部311と、接触子Prの他端部側を支持する第二支持部312と、第一支持部311と第二支持部312とを互いに離間させて保持する離間保持部材7とを備え、第一支持部311は、接触子Prが挿通される貫通孔B2Hが形成された支持プレートを備え、第一支持部311は、積層された複数の支持プレートを含み、複数の支持プレートには、第二支持部312に最も近い支持プレートである第一支持プレートB2と、第一支持プレートB2以外の支持プレートである第二支持プレートE2とが含まれ、第一支持プレートB2は、第二支持プレートE2より硬度が軟らかい、検査治具。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
棒状の接触子と、前記接触子の一端部側を支持する第一支持部と、前記接触子の他端部側を支持する第二支持部と、前記第一支持部と前記第二支持部とを互いに離間させて保持する離間保持部材とを備え、前記第一支持部は、前記接触子が挿通される貫通孔が形成された支持プレートを備え、前記第一支持部は、積層された複数の前記支持プレートを含み、前記複数の支持プレートには、前記第二支持部に最も近い前記支持プレートである第一支持プレートと、前記第一支持プレート以外の前記支持プレートである第二支持プレートとが含まれ、前記第一支持プレートは、前記第二支持プレートより硬度が軟らかい、検査治具。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
棒状の接触子と、前記接触子の一端部側を支持する第一支持部と、前記接触子の他端部側を支持する第二支持部と、前記第一支持部と前記第二支持部とを互いに離間させて保持する離間保持部材とを備え、前記第一支持部は、前記接触子が挿通される貫通孔が形成された支持プレートを備え、前記第一支持部は、積層された複数の前記支持プレートを含み、前記複数の支持プレートには、前記第二支持部に最も近い前記支持プレートである第一支持プレートと、前記第一支持プレート以外の前記支持プレートである第二支持プレートとが含まれ、前記第二支持プレートは、前記第一支持プレートより曲げ強さが強い、検査治具。
【請求項３】
同一の接触子が挿通されるように相対応する前記第一支持プレートの前記貫通孔と前記第二支持プレートの前記貫通孔とは、前記第一及び第二支持プレートの垂線に対して前記接触子を傾斜させるように、前記第一支持プレートの前記貫通孔の位置と前記第二支持プレートの前記貫通孔の位置とが、前記垂線の方向に対してずれている請求項１に記載の検査治具。
【請求項４】
同一の接触子が挿通されるように相対応する前記第一支持プレートの前記貫通孔と前記第二支持プレートの前記貫通孔とは、前記第一及び第二支持プレートの垂線に対して前記接触子を傾斜させるように、前記第一支持プレートの前記貫通孔の位置と前記第二支持プレートの前記貫通孔の位置とが、前記垂線の方向に対してずれている請求項２に記載の検査治具。
【請求項５】
前記第一及び第二支持プレートには、前記貫通孔が複数形成され、前記複数の貫通孔は、所定の第一方向に対応して複数列配置され、かつ前記第一方向と交差する第二方向に対応して複数列配置され、前記貫通孔が等間隔で並ぶ領域内において、前記第一方向に対応する列数は前記第二方向に対応する列数よりも少なく、前記ずれの方向は、前記第一方向に沿う請求項３に記載の検査治具。
【請求項６】
前記第一及び第二支持プレートには、前記貫通孔が複数形成され、前記複数の貫通孔は、所定の第一方向に対応して複数列配置され、かつ前記第一方向と交差する第二方向に対応して複数列配置され、前記貫通孔が等間隔で並ぶ領域内において、前記第一方向に対応する列数は前記第二方向に対応する列数よりも少なく、前記ずれの方向は、前記第一方向に沿う請求項４に記載の検査治具。
【請求項７】
前記第一支持プレートの前記貫通孔における、前記第二支持部側の開口縁部は、面取りされている請求項１に記載の検査治具。
【請求項８】
前記第一支持プレートの前記貫通孔における、前記第二支持部側の開口縁部は、面取りされている請求項２に記載の検査治具。
【請求項９】
前記第一支持プレートの前記貫通孔の内面には摩擦を軽減するための滑層が形成され、前記滑層の前記接触子に対する摩擦係数は、前記第一支持プレートにおける前記滑層の土台部分の摩擦係数よりも小さい請求項１に記載の検査治具。
【請求項１０】
前記第一支持プレートの前記貫通孔の内面には摩擦を軽減するための滑層が形成され、前記滑層の前記接触子に対する摩擦係数は、前記第一支持プレートにおける前記滑層の土台部分の摩擦係数よりも小さい請求項２に記載の検査治具。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、接触子を備えた検査治具、及びこれを用いた検査装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来より、ワイヤープローブの上部及び下部をそれぞれ位置決めして支持する上部支持穴及び下部支持穴を有する支持部材と、ワイヤープローブの中間部を一方向に撓ませて支持する柔軟性があるガイドフィルムとを備えたプローブカードが知られている（例えば、特許文献１参照。）。この支持部材の下部支持穴は、積層された第１ボトム板と第２ボトム板とに形成されている。
【０００３】
特許文献１には、ガイドフィルムが柔軟すぎると、ワイヤープローブの弾力でガイドフィルムが伸びて上下に撓むことがあると記載されている。そこで、特許文献１に記載の技術では、ガイドフィルムの表面に、ガイドフィルムの伸縮に伴う撓みを抑える補強膜を施している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－１０３１２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１において、ガイドフィルムを上下に撓ませている力は、ワイヤープローブが挿通される下部支持穴を有する第１及び第２ボトム板に対しても、ガイドフィルムと同様に加わる。そのため、第１及び第２ボトム板に対してストレスが加わるおそれがあった。
【０００６】
本発明の目的は、接触子を支持する支持部に加わるストレスを軽減することが容易な検査治具、及び検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一例に係る検査治具は、棒状の接触子と、前記接触子の一端部側を支持する第一支持部と、前記接触子の他端部側を支持する第二支持部と、前記第一支持部と前記第二支持部とを互いに離間させて保持する離間保持部材とを備え、前記第一支持部は、前記接触子が挿通される貫通孔が形成された支持プレートを備え、前記第一支持部は、積層された複数の前記支持プレートを含み、前記複数の支持プレートには、前記第二支持部に最も近い前記支持プレートである第一支持プレートと、前記第一支持プレート以外の前記支持プレートである第二支持プレートとが含まれ、前記第一支持プレートは、前記第二支持プレートより硬度が軟らかい。本発明の一例に係る検査治具は、棒状の接触子と、前記接触子の一端部側を支持する第一支持部と、前記接触子の他端部側を支持する第二支持部と、前記第一支持部と前記第二支持部とを互いに離間させて保持する離間保持部材とを備え、前記第一支持部は、前記接触子が挿通される貫通孔が形成された支持プレートを備え、前記第一支持部は、積層された複数の前記支持プレートを含み、前記複数の支持プレートには、前記第二支持部に最も近い前記支持プレートである第一支持プレートと、前記第一支持プレート以外の前記支持プレートである第二支持プレートとが含まれ、前記第一支持プレートは、前記第二支持プレートより曲げ強さが強い。
【０００８】
本発明の一例に係る検査装置は、上述の検査治具と、前記接触子を検査対象物に設けられた検査点に接触させることにより得られる電気信号に基づき、前記検査対象物の検査を行う検査処理部とを備える。
【発明の効果】
【０００９】
このような構成の検査治具、及び検査装置は、接触子を支持する支持部に加わるストレスを軽減することが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の一実施形態に係る検査治具３を用いる検査装置１の構成の一例を概略的に示す概念図である。
図１に示す検査治具３を接触子Ｐｒの先端側から見た平面図である。
図２に示す検査治具３のＩＩＩ－ＩＩＩ線端面図である。
図２に示す検査治具３のＩＶ－ＩＶ線端面図である。
図３、図４に示す補強プレート５の、Ｚ方向から見た平面図である。
図５に示す補強プレート５の変形例を示す平面図である。
検査治具３を基板１００に当接させた状態の一例を示す説明図である。
接触子Ｐｒが押し込まれたときのプレートＰＬの挙動を概念的に示す説明図である。
プレートＰＬに形成された貫通孔ＰＬＨと接触子Ｐｒとの拡大説明図である。
接触子Ｐｒの押し込み荷重が解除されたときのプレートＰＬの挙動を概念的に示す説明図である。
プレートＰＬに形成された貫通孔ＰＬＨと接触子Ｐｒとの拡大説明図である。
第一支持プレートＢ２の貫通孔Ｂ２Ｈ近傍を拡大して示す端面図である。
図３に示す検査治具３の変形例を示す端面図である。
補強プレートＢ２ａの貫通孔Ｂ２Ｈ近傍を拡大して示す端面図である。
プレートＰＬに形成された滑層３３の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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