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公開番号2025054176
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-07
出願番号2024108328
出願日2024-07-04
発明の名称静電容量型圧力センサ
出願人株式会社堀場エステック
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類G01L 19/06 20060101AFI20250328BHJP(測定;試験)
要約【課題】バッフルの構成を簡単にしつつ、ダイアフラムへの堆積を防ぐ。
【解決手段】ダイアフラム2の受圧面2aを取り囲んで測定室Sを形成し、測定室Sにガスを導入するガス導入口7aが形成されたハウジング7と、測定室Sに設けられたバッフル部材8とを備え、バッフル部材8は、ガス導入口7aと対向する対向面部81と、対向面部81よりもガス導入口7a側に設けられ、ガス導入口7aの周囲を取り囲む囲繞面部82とを有し、囲繞面部82は、ガス導入口7aから導入されたガスを、前記ガス導入口側の端部からダイアフラム2側に通流させる通流部83を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
圧力により変位するダイアフラムと固定電極との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定する静電容量型圧力センサであって、
前記ダイアフラムの受圧面を取り囲んで測定室を形成し、当該測定室にガスを導入するガス導入口が形成されたハウジングと、
前記測定室に設けられたバッフル部材とを備え、
前記バッフル部材は、
前記ガス導入口と対向する対向面部と、
前記対向面部よりも前記ガス導入口側に設けられ、前記ガス導入口の周囲を取り囲む囲繞面部とを有し、
前記囲繞面部は、前記ガス導入口から導入されたガスを、前記ガス導入口側の端部から前記ダイアフラム側に通流させる通流部を有する、静電容量型圧力センサ。
続きを表示（約 660 文字）【請求項２】
前記通流部は、前記囲繞面部において周方向に複数設けられている、請求項１に記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項３】
前記バッフル部材は、前記ハウジングの内側面と接合するための接合突起部を有しており、
前記接合突起部は、前記ガス導入口から視て、前記通流部に対応して設けられている、請求項１又は２に記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項４】
前記ハウジングは、前記ガス導入口が形成された平面部を有しており、
前記囲繞面部における前記ガス導入口側の端部は、前記平面部に接触して設けられている、請求項１乃至３の何れか一項に記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項５】
前記ハウジングは、前記バッフル部材に対して前記ガス導入口とは反対側において、前記バッフル部材よりも内側に突出する内側突出部を有している、請求項１乃至４の何れか一項に記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項６】
前記バッフル部材とは別に設けられ、前記バッフル部材と前記ガス導入口との間に介在して設けられたバッフル板をさらに備えている、請求項１乃至５の何れか一項に記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項７】
前記バッフル板には、複数のスリットが形成されている、請求項６に記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項８】
前記複数のスリットは、周方向において前記通流部とは異なる位置に形成されている、請求項７に記載の静電容量型圧力センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電容量型圧力センサに関するものである。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
静電容量型圧力センサは、圧力により変位するダイアフラムと固定電極との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定するものである。
【０００３】
この静電容量型圧力センサは、例えば、半導体製造プロセス中のガスの圧力測定に用いることができる。ここで、半導体製造プロセス中のガスは、反応性が高いものや高温であるものが多い。そして、半導体製造プロセス中のガスとダイアフラムとの温度差が大きい場合には、ガス成分やガス成分が分解したものがダイアフラムに堆積してしまい、センサ出力に悪影響を与えてしまう。
【０００４】
このため、従来では、ダイアフラムが配置されたハウジングにおいて、ハウジングのガス導入口とダイアフラムとの間に邪魔板（バッフル）を配置したものが考えられている。
【０００５】
具体的には、特許文献１や特許文献２に示すものが考えられている。特許文献１のバッフルは、内側バッフル構造と外側バッフル構造との間にバッフルオリフィスが形成されたものである。このバッフルは、流入したガスが内側バッフル構造及び外側バッフル構造に当たってバッフルオリフィスを通過する構成である。また、特許文献２のバッフルは、平板状をなすものであり、板面の中央部にガスが当たって迂回し、周囲に形成された隙間を通過する構成である。
【０００６】
しかしながら、上記何れのバッフルでも、流入したガスの経路を十分に確保する事ができず、ダイアフラムでの堆積量を低減する効果を十分に発揮することができない。なお、バッフルをラビリンス形状（迷路形状）等の複雑な流路にすることも考えられるが、堆積物により目詰まりする等して応答性が悪くなる可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特表２０２３－５２５６３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は上述した問題を解決すべくなされたものであり、バッフルの構成を簡単にしつつ、ダイアフラムへの堆積を防ぐことを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明に係る静電容量型圧力センサは、圧力により変位するダイアフラムと固定電極との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定する静電容量型圧力センサであって、前記ダイアフラムの受圧面を取り囲んで測定室を形成し、当該測定室にガスを導入するガス導入口が形成されたハウジングと、前記測定室に設けられたバッフル部材とを備え、前記バッフル部材は、前記ガス導入口と対向する対向面部と、前記対向面部よりも前記ガス導入口側に設けられ、前記ガス導入口の周囲を取り囲む囲繞面部とを有し、前記囲繞面部は、前記ガス導入口から導入されたガスを、前記ガス導入口側の端部から前記ダイアフラム側に通流させる通流部を有することを特徴とする。
【００１０】
このような静電容量型圧力センサであれば、ガス導入口から導入されたガスが対向面部に当たって進行方向が逆となり、囲繞面部におけるガス導入口側の端部に形成された通流部からダイアフラム側に流れることになる。その結果、導入されたガスの経路を十分に確保し、主として対向面部及び囲繞面部でガス成分又はガス成分が分解したものを堆積させることができ、ダイアフラムへの堆積を低減することができる。また、バッフル部材は、対向面部及び囲繞面部からなる有底筒状をなすものであり、バッフルの構成を簡単にすることができ、堆積物が目詰まりする等して応答性が悪くなる可能性も極めて低い。さらにバッフル部材が有底筒状をなすことから、より多くの堆積物を溜めることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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