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公開番号2025046927
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-03
出願番号2023155198
出願日2023-09-21
発明の名称電子デバイス
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01C 19/5628 20120101AFI20250326BHJP(測定;試験)
要約【課題】差動信号を構成する2つの検出信号に重畳するノイズが互いに異なる大きさであると、検出される物理量に誤差が生じやすい。
【解決手段】電子デバイスは、第1検出信号を出力する第1検出電極と、第2検出信号を出力する第2検出電極と、を有するセンサーと、センサーを収容するパッケージと、を備え、パッケージは、第1検出電極に接続された第1配線と、第2検出電極に接続された第2配線と、平面視で第1配線及び第2配線と重なり、第1配線及び第2配線とは異なる電位の第3配線と、第1配線と第3配線との間の第1寄生容量と、第2配線と第3配線との間の第2寄生容量との差が小さくなるように設けられた容量調整部と、を有する。
【選択図】図14
特許請求の範囲【請求項１】
第１検出信号を出力する第１検出電極と、第２検出信号を出力する第２検出電極と、を有するセンサーと、
前記センサーを収容するパッケージと、を備え、
前記第１検出信号と前記第２検出信号とは、互いに差動信号を構成し、
前記パッケージは、
前記第１検出電極に電気的に接続された第１配線と、
前記第２検出電極に電気的に接続された第２配線と、
平面視で前記第１配線及び前記第２配線と重なり、前記第１配線及び前記第２配線とは異なる電位の第３配線と、
前記第１配線と前記第３配線との間の第１寄生容量と、前記第２配線と前記第３配線との間の第２寄生容量との差が小さくなるように設けられた容量調整部と、を有する、
電子デバイス。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
平面視で前記第１配線及び前記第２配線の一方の面積が他方の面積よりも広く、
前記容量調整部は、平面視で前記第１配線及び前記第２配線の前記一方に重なる領域において、前記第３配線を部分的に欠落させた構造である、
請求項１に記載の電子デバイス。
【請求項３】
前記容量調整部は、前記第１配線又は前記第２配線に配線領域を付加した構造である、
請求項１に記載の電子デバイス。
【請求項４】
平面視で前記第１配線及び前記第２配線の一方の面積が他方の面積よりも広く、
前記容量調整部は、前記第１配線及び前記第２配線の前記一方と前記第３配線との間の距離を、前記第１配線及び前記第２配線の前記他方と前記第３配線との間の距離より大きくした構造である、
請求項１に記載の電子デバイス。
【請求項５】
前記パッケージの内部に、第２センサーと、前記センサー及び前記第２センサーを制御する回路基板と、をさらに備え、
断面視で、前記第２センサー及び前記回路基板が、前記センサーと前記第３配線との間に位置する、
請求項１に記載の電子デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、電子デバイスの一例として、角速度センサーと加速度センサーとを１つのパッケージに収容した複合センサーを開示する。角速度や加速度は、物理量の１つである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－４０６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
差動信号を構成する２つの検出信号の差に基づいて物理量を検出する場合がある。２つの検出信号に重畳するノイズが互いに異なる大きさであると、検出される物理量にノイズによる誤差が生じやすい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
電子デバイスは、第１検出信号を出力する第１検出電極と、第２検出信号を出力する第２検出電極と、を有するセンサーと、前記センサーを収容するパッケージと、を備え、前記第１検出信号と前記第２検出信号とは、互いに差動信号を構成し、前記パッケージは、前記第１検出電極に電気的に接続された第１配線と、前記第２検出電極に電気的に接続された第２配線と、平面視で前記第１配線及び前記第２配線と重なり、前記第１配線及び前記第２配線とは異なる電位の第３配線と、前記第１配線と前記第３配線との間の第１寄生容量と、前記第２配線と前記第３配線との間の第２寄生容量との差が小さくなるように設けられた容量調整部と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
電子デバイスを示す斜視図。
電子デバイスを示す分解斜視図。
ケースを示す斜視図。
ケースを示す平面図。
ケースと第３電子部品とを示す斜視図。
ケースと第２電子部品と第３電子部品とを示す斜視図。
第１電子部品を示す分解斜視図。
センサー素子を示す平面図。
センサー素子を示す平面図。
支持部を示す平面図。
ケースを示す斜視図。
電源配線と第１検出パッドと第２検出パッドとを模式的に示す平面図。
電源配線と第１検出パッドと第２検出パッドとを模式的に示す平面図。
容量調整部の一例を模式的に示す平面図。
図１４中のＡ－Ａ線における断面図。
容量調整部の一例を模式的に示す平面図。
容量調整部の一例を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
図１に示すように、電子デバイス１は、ケース２と、リッド３と、を有する。リッド３は、ケース２に重ねられている。ケース２は、パッケージの一例である。図１には、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸が付記されている。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、相互に直交する座標軸である。図１以降に示す図についても必要に応じてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸が付記される。この場合、各図におけるＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、図１におけるＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に対応する。図１は、Ｘ軸とＹ軸とによって規定されるＸＹ平面に電子デバイス１を載置した状態を示す。
【０００８】
以下において、電子デバイス１の構成部品やユニットを示す図や説明にＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸が表記されている場合には、その構成部品やユニットを電子デバイス１に組み込んだ状態でのＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を意味する。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸には、それぞれ、矢印が付される。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸のそれぞれにおいて、矢印の向きが＋（正）の方向を示し、矢印の向きとは反対の向きが－（負）の方向を示す。Ｚ軸は、ＸＹ平面に直交する軸である。電子デバイス１を－Ｚ方向に見たときの図が平面図である。
【０００９】
図２に示すように、電子デバイス１は、第１電子部品５と、第２電子部品６と、第３電子部品７と、をさらに有する。第１電子部品５、第２電子部品６及び第３電子部品７は、ケース２の内部に収容されている。ケース２には、凹状のキャビティー８が形成されている。第１電子部品５、第２電子部品６及び第３電子部品７は、ケース２のキャビティー８に収容されている。
【００１０】
ケース２は、例えば、セラミック基板を焼成することにより形成することができる。複数のセラミック基板を積層することによりキャビティー８を形成することができる。リッド３は、例えば、種々の金属板を採用することができる。第１電子部品５、第２電子部品６及び第３電子部品７をケース２のキャビティー８に収容した状態で、ケース２がリッド３によって塞がれる。ケース２とリッド３とは、例えば、シ―ム溶接などにより互いに接合される。
（【００１１】以降は省略されています）

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