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公開番号2025044625
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-02
出願番号2023152315
出願日2023-09-20
発明の名称X線検査装置及びその校正方法
出願人アンリツ株式会社
代理人弁理士法人有我国際特許事務所
主分類G01T 1/17 20060101AFI20250326BHJP(測定;試験)
要約【課題】X線検出器を構成する複数のピクセルのうちの異常なピクセルを特定するための異常ピクセル情報を出力できるX線検査装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】X線検査装置1は、検査領域を通過したX線のエネルギに対応した波高値のパルス信号を出力するX線検出素子と、X線検出素子から出力されたパルス信号のうち、所定のしきい電圧を超えるパルス信号の数を検出する複数のピクセルからなるX線検出部と、を含むX線検出器30と、しきい電圧を超えるパルス信号の数を変化させる制御パラメータの値と、ピクセルにより検出されたパルス信号の数との対応関係をピクセルごとに記憶する記憶部56と、記憶部56から読み出した、制御パラメータの値と各ピクセルにより検出されたパルス信号の数との対応関係に基づいて、異常なピクセルを特定するための異常ピクセル情報を出力する異常ピクセル情報出力部57と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査領域にＸ線を照射するＸ線発生源（２０）と、
前記検査領域を通過したＸ線を検出するＸ線検出器（３０）と、を備えるＸ線検査装置（１）において、
前記Ｘ線検出器は、
前記検査領域を通過したＸ線のエネルギに対応した波高値のパルス信号を出力するＸ線検出素子（３１）と、
前記Ｘ線検出素子から出力された前記パルス信号のうち、所定のしきい電圧を超える前記パルス信号の数を検出する複数のピクセル（３２）からなるＸ線検出部（３３）と、を含み、
前記Ｘ線検査装置は、
前記しきい電圧を超える前記パルス信号の数を変化させる制御パラメータの値と、前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数との対応関係を前記ピクセルごとに記憶する記憶部（５６）と、
前記記憶部から読み出した、前記制御パラメータの値と各前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数との対応関係に基づいて、異常な前記ピクセルを特定するための異常ピクセル情報を出力する異常ピクセル情報出力部（５７）と、を更に備えることを特徴とするＸ線検査装置。
続きを表示（約 3,100 文字）【請求項２】
検査領域にＸ線を照射するＸ線発生源（２０）と、
前記検査領域を通過したＸ線を検出するＸ線検出器（３０）と、
各種情報を表示する表示部（４５）と、
外部装置（２）と接続可能な入出力部（６０）と、を備えるＸ線検査装置（１）であって、
前記Ｘ線検出器は、
前記検査領域を通過したＸ線のエネルギに対応した波高値のパルス信号を出力するＸ線検出素子（３１）と、
前記Ｘ線検出素子から出力された前記パルス信号のうち、所定のしきい電圧を超える前記パルス信号の数を検出する複数のピクセル（３２）からなるＸ線検出部（３３）と、
前記しきい電圧を超える前記パルス信号の数を変化させる制御パラメータの値を変化させる制御を行う制御パラメータ制御部（５５）と、を含み、
前記外部装置は、
前記入出力部を介して入力された、前記制御パラメータ制御部により制御された前記制御パラメータの値と、前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数との対応関係を前記ピクセルごとに記憶する記憶部（５６）と、
前記記憶部から読み出した、前記制御パラメータの値と各前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数との対応関係に基づいて、異常な前記ピクセルを特定するための異常ピクセル情報を生成し、前記入出力部を介して前記異常ピクセル情報を前記表示部に出力する異常ピクセル情報出力部（５７）と、を備えることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項３】
前記制御パラメータは、前記しきい電圧、又は、前記Ｘ線発生源の管電圧であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記制御パラメータは、前記しきい電圧、前記Ｘ線発生源の管電圧、又は、前記検査領域に設置される線質可変体の種類のいずれかであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記制御パラメータが前記しきい電圧であり、
前記線質可変体が既知の吸収端を有し、
前記記憶部から読み出した、各前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数の前記制御パラメータに対する傾きが不連続に変化する前記しきい電圧を前記ピクセルごとに特定する制御パラメータ値特定部（５８）と、
前記制御パラメータ値特定部により特定された前記しきい電圧と前記既知の吸収端とを関連付けて、各前記ピクセルの校正用情報として出力する校正用情報出力部（５９）と、を更に備えることを特徴とする請求項４に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記制御パラメータが前記しきい電圧であり、
前記記憶部から読み出した、各前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数が所定の値より小さくなる最小の前記しきい電圧を前記ピクセルごとに特定する制御パラメータ値特定部（５８）と、
前記制御パラメータ値特定部により特定された前記しきい電圧と前記管電圧とを関連付けて、各前記ピクセルの校正用情報として出力する校正用情報出力部（５９）と、を更に備えることを特徴とする請求項３に記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記制御パラメータが前記管電圧であり、
前記記憶部から読み出した、各前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数が所定の値より小さくなる最大の前記管電圧を前記ピクセルごとに特定する制御パラメータ値特定部（５８）と、
前記制御パラメータ値特定部により特定された前記管電圧と前記しきい電圧とを関連付けて、各前記ピクセルの校正用情報として出力する校正用情報出力部（５９）と、を更に備えることを特徴とする請求項３に記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記制御パラメータが前記管電圧であり、
前記記憶部から読み出した、各前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数が所定の値より小さくなる最大の前記管電圧を前記ピクセルごとに特定する制御パラメータ値特定部（５８）と、
前記制御パラメータ値特定部により特定された前記管電圧と前記しきい電圧とを関連付けて、各前記ピクセルの校正用情報として出力する校正用情報出力部（５９）と、を更に備えることを特徴とする請求項４に記載のＸ線検査装置。
【請求項９】
検査領域にＸ線を照射するＸ線発生源（２０）と、
前記検査領域を通過したＸ線を検出するＸ線検出器（３０）と、を備え、
前記Ｘ線検出器は、
前記検査領域を通過したＸ線のエネルギに対応した波高値のパルス信号を出力するＸ線検出素子（３１）と、
前記Ｘ線検出素子から出力された前記パルス信号のうち、所定のしきい電圧を超える前記パルス信号の数を検出する複数のピクセル（３２）からなるＸ線検出部（３３）と、を含むＸ線検査装置（１）の校正方法において、
前記検査領域にＸ線を照射するステップ（Ｓ１－４，Ｓ２－４，Ｓ３－５）と、
前記検査領域を通過したＸ線を検出するＸ線検出ステップ（Ｓ１－５，Ｓ２－５，Ｓ３－６）と、
前記しきい電圧を超える前記パルス信号の数を変化させる制御パラメータの値と、前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数との対応関係を前記ピクセルごとに記憶部（５６）に記憶する記憶ステップ（Ｓ１－６，Ｓ２－６，Ｓ３－７）と、
前記記憶部から読み出した、前記制御パラメータの値と各前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数との対応関係に基づいて、異常な前記ピクセルを特定するための異常ピクセル情報を出力する異常ピクセル情報出力ステップ（Ｓ１－９，Ｓ２－９，Ｓ３－１１）と、を含むことを特徴とする校正方法。
【請求項１０】
検査領域にＸ線を照射するＸ線発生源（２０）と、
前記検査領域を通過したＸ線を検出するＸ線検出器（３０）と、を備え、
前記Ｘ線検出器は、
前記検査領域を通過したＸ線のエネルギに対応した波高値のパルス信号を出力するＸ線検出素子（３１）と、
前記Ｘ線検出素子から出力された前記パルス信号のうち、所定のしきい電圧を超える前記パルス信号の数を検出する複数のピクセル（３２）からなるＸ線検出部（３３）と、を含むＸ線検査装置（１）の校正方法において、
既知の吸収端を有する線質可変体（１００）を前記検査領域に設置するステップ（Ｓ１－１）と、
前記検査領域にＸ線を照射するステップ（Ｓ１－４）と、
前記検査領域を通過したＸ線を検出するＸ線検出ステップ（Ｓ１－５）と、
前記しきい電圧を超える前記パルス信号の数を変化させる制御パラメータの値と、前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数との対応関係を前記ピクセルごとに記憶部（５６）に記憶する記憶ステップ（Ｓ１－６）と、
前記記憶部から読み出した各前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数の前記制御パラメータに対する傾きが不連続に変化する前記しきい電圧を前記ピクセルごとに特定する制御パラメータ値特定ステップ（Ｓ１－１０）と、
前記制御パラメータ値特定ステップにより特定された前記しきい電圧と前記既知の吸収端とを関連付けて、各前記ピクセルの校正用情報として出力する校正用情報出力ステップ（Ｓ１－１１）と、を含むことを特徴とする校正方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物にＸ線を照射してそのＸ線の透過量に基づいて被検査物を検査するＸ線検査装置及びその校正方法に関するものである。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検査装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる、例えば、肉、魚、加工食品、医薬品などの被検査物にＸ線を照射し、この照射したＸ線の透過量から被検査物に異物が混入しているか否かや被検査物の欠品などを検査する装置である。
【０００３】
Ｘ線検査装置は、例えば、異物混入の検査や最終的な重量の検査等を行なう検査ラインに組み込まれ、異物混入の検査等を行なう。
【０００４】
Ｘ線検査装置では、被検査物の搬送路に対しその搬送方向と直交する方向に幅を持つＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線を被検査物の搬送方向と直交する方向に並んだ複数のセンサ素子（ピクセル）で受け、Ｘ線に対する被検査物の部位ごとの透過率の違いを濃淡で表す画像情報を求め、この画像情報に各種処理を行なうことで、異物混入の有無や、内容物の欠損、欠品等の有無を判定している。
【０００５】
ところが、このようなＸ線検査装置では、Ｘ線が搬送方向と直交する方向に、拡がるように出射されることにより、Ｘ線源から各ピクセルまでの距離の違いにより、各ピクセルに入射するＸ線の強さが一様でなくなる。
【０００６】
特許文献１には、校正用部材を用いて、全てのピクセルに対して共通するＸ線の入射条件を２種類以上に変更し、校正用部材で変更される入射条件ごとに、画像データが均一濃度となるために必要な校正データを求めるＸ線検査装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特許第６７１７７８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のＸ線検査装置では、複数のピクセルの中で、平均的な感度から大きく逸脱したものがある場合、画像データの濃度を十分に校正することができないという問題があった。
【０００９】
本発明は、このような従来の課題を解決するためになされたものであって、Ｘ線検出器を構成する複数のピクセルのうちの異常なピクセルを特定するための異常ピクセル情報を出力できるＸ線検査装置及びその校正方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係るＸ線検査装置は、検査領域にＸ線を照射するＸ線発生源（２０）と、前記検査領域を通過したＸ線を検出するＸ線検出器（３０）と、を備えるＸ線検査装置（１）において、前記Ｘ線検出器は、前記検査領域を通過したＸ線のエネルギに対応した波高値のパルス信号を出力するＸ線検出素子（３１）と、前記Ｘ線検出素子から出力された前記パルス信号のうち、所定のしきい電圧を超える前記パルス信号の数を検出する複数のピクセル（３２）からなるＸ線検出部（３３）と、を含み、前記Ｘ線検査装置は、前記しきい電圧を超える前記パルス信号の数を変化させる制御パラメータの値と、前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数との対応関係を前記ピクセルごとに記憶する記憶部（５６）と、前記記憶部から読み出した、前記制御パラメータの値と各前記ピクセルにより検出された前記パルス信号の数との対応関係に基づいて、異常な前記ピクセルを特定するための異常ピクセル情報を出力する異常ピクセル情報出力部（５７）と、を更に備える構成である。
（【００１１】以降は省略されています）

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