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公開番号2025042802
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-28
出願番号2023149947
出願日2023-09-15
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 27/06 20060101AFI20250321BHJP(研削;研磨)
要約【課題】門型コラムの重心を低く抑えて加工位置のずれに伴う加工不良や被加工物のアライメントエラーの発生を防ぐことができる加工装置を提供すること。
【解決手段】チャックテーブル10と、該チャックテーブル10をX軸方向(加工送り方向)に移動させるX軸移動機構20と、基台2と、門型コラム3と、ウェーハ(被加工物)Wを加工する切削ユニット(加工機構)30と、門型コラム3にされ切削ユニット30をウェーハWの割り出し方向となるY軸方向に移動させるY軸移動機構50とを備える切削装置(加工装置)1の前記Y軸移動機構30は、門型コラム3の上面に配置されY軸方向に延在するガイドレール51と、切削ユニット30をY軸方向に移動させるYY軸ボールネジ54とY軸サーボモータ55(動力部)と、ガイドレール51に沿ってY軸方向に移動するY軸ベース52とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを被加工物の加工送り方向となるＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構と、該Ｘ軸移動機構を配置する基台と、前記Ｘ軸移動機構を跨ぎ前記基台に配置される門型コラムと、前記チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工機構と、前記門型コラムに配置され前記加工機構を被加工物の割り出し送り方向となるＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構とを備える加工装置であって、
前記Ｙ軸移動機構は、
前記門型コラムの上面に配置されＹ軸方向に延在するガイドレールと、
該ガイドレールに並行して配置され前記加工機構をＹ軸方向に移動させる動力部と、
前記ガイドレールを跨ぎ前記加工機構に連結され前記ガイドレールに沿ってＹ軸方向に移動するＹ軸ベースと、
を備えることを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 120 文字）【請求項２】
前記加工機構は、第１加工機構と第２加工機構とを備え、
前記動力部は、前記第１加工機構をＹ軸方向に移動させる第１動力部と、前記第２加工機構をＹ軸方向に移動させる第２動力部とを備えることを特徴とする請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハなどの被加工物を加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体チップの製造工程においては、円板状の薄い半導体ウェーハ（以下、単に「ウェーハ」と称する）の表面が格子状に配列されたストリートと称される分割予定ラインによって多数の矩形領域に区画され、各矩形領域にＩＣやＬＳＩなどのデバイスがそれぞれ形成される。そして、このように多数のデバイスが形成されたウェーハをダイサーと称される切削装置の切削ブレードで分割予定ラインに沿って切削することによって、複数の半導体チップが得られる。
【０００３】
ところで、例えば、特許文献１～３に開示されているように、チャックテーブルに保持されたウェーハを切削ブレードによって切削する切削装置は、チャックテーブルを切削ブレードの切削送り方向となるＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構と、該Ｘ軸移動機構を跨ぐように基台に配置された門型コラムと、該門型コラムに配置されたＹ軸移動機構と、該Ｙ軸移動機構に配置されたＺ軸移動機構とを備えている。ここで、Ｙ軸移動機構は、切削ブレードを備える切削機構を、切削ブレードを回転させるスピンドルの軸方向に平行な割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させる機構である。そして、Ｚ軸移動機構は、切削ブレードを備える切削機構をチャックテーブルの上面に垂直な方向の切り込み送り方向に移動させチャックテーブルに保持されたウェーハに切削ブレードを切り込ませる機構である。
【０００４】
ここで、従来の切削装置を図６～図８に基づいて以下に説明する。なお、図６は従来の切削装置の斜視図、図７は図６のＣ－Ｃ線断面図、図８は図７の矢視Ｄ方向の図であり、以下の説明では、図６におけるアライメントをＸ軸方向（切削送り方向）、左右方向をＹ軸方向（割り出し送り方向）、上下方向をＺ軸方向（切り込み送り方向）とする。
【０００５】
図６に示す従来の切削装置１０１においては、基台１０２上の奥側端部（－Ｘ軸方向端部）に門型コラム１０３が垂直に立設されており、この門型コラム１０３の正面側端面（図６の手前側の端面）には、Ｙ軸移動機構１５０とＺ軸移動機構１４０が設けられている。また、基台１０２上の略中央部には、被切削物であるウェーハＷを保持するチャックテーブル１１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構１２０が配置されている。
【０００６】
ここで、Ｙ軸移動機構１５０は、門型コラム１０３の正面側の端面にＹ軸方向に沿って互いに平行に配置された上下一対のＹ軸ガイドレール１５１と、これらのＹ軸ガイドレール１５１に沿ってＹ軸方向に移動可能なＹ軸ベース１５２と、一対のＹ軸ガイドレール１５１の間にＹ軸方向に沿って配置された正逆転可能なＹ軸ボールネジ１５４と、該Ｙ軸ボールネジ１５４の軸方向一端に連結されたＹ軸サーボモータ１５５を備えている。
【０００７】
また、Ｚ軸移動機構１４０は、Ｙ軸ベース１５２の正面側の端面にＺ軸方向に沿って互いに平行に配置された左右一対のＺ軸ガイドレール１４１と、これらのＺ軸ガイドレール１４１に沿ってＺ軸方向に昇降可能なＺ軸ベース１４２と、左右一対のＺ軸ガイドレール１４１の間にＺ軸方向に沿って配された正逆転可能なＺ軸ボールネジ１４３と、該Ｚ軸ボールネジ１４３の上端に連結されたＺ軸サーボモータ１４４を備えている。そして、Ｚ軸ベース１４２の下端には、切削ブレード１３３などを備えた切削ユニット１３０が取り付けられており、図７に示すように、Ｚ軸ベース１４２から直角に屈曲して水平に延びる支持アーム１４２Ａの先端には、撮像手段であるカメラ１５３が取り付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開２００６－１５６８０９号公報
特開２０１４－１６１９６３号公報
特開２０１４－１６１９６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図６～図８に示す従来の切削装置１０１においては、門型コラム１０３の正面側の端面に、Ｙ軸移動機構１５０とＺ軸移動機構１４０が切削ユニット１３０と共に片持ち状態で支持されており、Ｙ軸移動機構１５０のＹ軸方向に沿う一対のＹ軸ガイドレール１５１を上下に大きく離して配置しているため、門型コラム１０３の水平な梁部１０３Ｂを太くする必要がある。このように、門型コラム１０３の梁部１０３Ｂを太くすると、門型コラム１０３全体の重心が高くなるため、チャックテーブル１１０のＸ軸方向の移動によって切削ユニット１３０が振動し、ウェーハＷの切削位置がずれる可能性がある。また、ウェーハＷのアライメントの際に、切削ユニット１３０の回転振動によってアライメントエラーが発生する可能性があるという問題がある。
【００１０】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、門型コラムの重心を低く抑えて加工位置のずれに伴う加工不良や被加工物のアライメントエラーの発生を防ぐことができる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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