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公開番号2025040267
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-24
出願番号2023147082
出願日2023-09-11
発明の名称外観検査装置
出願人株式会社村田製作所
代理人弁理士法人WisePlus
主分類G01N 21/88 20060101AFI20250314BHJP(測定;試験)
要約【課題】電子部品の丸みを帯びた稜線部や角部を鮮明に撮像することのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被撮像物100を撮像する第1の撮像部10と、上記被撮像物100を配置するステージ20と、上記第1の撮像部10と、上記ステージ20との間に配置される第1の照明30と、上記第1の照明30と上記ステージ20との間に配置されて、上記第1の照明30から上記ステージ20に向かって発せられる光30bを絞る絞り部40と、を備え、上記第1の照明30は、中央部31と、上記中央部31以外の端部35を有する形状であり、上記端部35に設けられて、上記中央部31に向かって光30aを発する発光部37と、上記中央部31に設けられて、上記発光部37で発生した光30aを散乱させる散乱部33と、を有する、ことを特徴とする外観検査装置1。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被撮像物を撮像する第１の撮像部と、
前記被撮像物を配置するステージと、
前記第１の撮像部と、前記ステージとの間に配置される第１の照明と、
前記第１の照明と前記ステージとの間に配置されて、前記第１の照明から前記ステージに向かって発せられる光を絞る絞り部と、を備え、
前記第１の照明は、中央部と、前記中央部以外の端部を有する形状であり、前記端部に設けられて、前記中央部に向かって光を発する発光部と、前記中央部に設けられて、前記発光部で発生した光を散乱させる散乱部と、を有する、ことを特徴とする外観検査装置。
続きを表示（約 600 文字）【請求項２】
前記絞り部の開口面積は、前記中央部の面積の１／５以下である、請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記被撮像物を撮像する第２の撮像部と、前記第２の撮像部と前記ステージとの間に配置されて前記第１の照明と同じ構造の第２の照明と、を更に備え、
前記第２の照明と前記ステージとの間には絞り部が存在しない、請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項４】
外部電極を備えた電子部品の外観検査に用いられ、
前記第１の撮像部で、前記電子部品の前記外部電極以外の領域の外観を検査し、
前記第２の撮像部で、前記外部電極の外観を検査する、請求項３に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記第１の撮像部から前記被撮像物に向かう方向に垂直な平面における前記被撮像物の投影面積に対する、前記絞り部の開口面積の割合が、１５０％以上、１６０％以下である被撮像物の外観検査に用いられる、請求項１～４のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項６】
光を反射する外部電極を備えた電子部品の外観検査に用いられる、請求項１～４のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項７】
六面体であり、稜線部及び角部が曲面状に丸められている電子部品の外観検査に用いられる、請求項１～４のいずれかに記載の外観検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、情報処理速度の向上に伴って各種電子部品の外観検査を高速処理することが実用化されており、例えば、搬送する検査対象に照明光を照射しつつ、その検査対象からの反射光により撮影映像を画像処理することによって、良品と外観不良品とを仕分けることが行われている。
【０００３】
このような外観検査装置では、光学的に検査対象の良否を判定することから、その撮影映像の品質向上が重要であり、高精度な撮影映像の実現のために、処理速度の高速化や信頼性向上が求められている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、光源からの光、又は、被撮像物で反射した光を、プリズムを用いて拡散させて撮像する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００２－０７１５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された方法の場合、プリズムによる光の拡散が不十分であった。そのため、被撮像物に一定の丸みを帯びた稜線部や角部がある場合に、これらの部分に割れや欠け等の欠損ができると、この部分が影となって撮像されてしまい、判別が困難となるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、電子部品の丸みを帯びた稜線部や角部を鮮明に撮像することのできる外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の外観検査装置は、被撮像物を撮像する第１の撮像部と、上記被撮像物を配置するステージと、上記第１の撮像部と、上記ステージとの間に配置される第１の照明と、上記第１の照明と上記ステージとの間に配置されて、上記第１の照明から上記ステージに向かって発せられる光を絞る絞り部と、を備え、上記第１の照明は、中央部と、上記中央部以外の端部を有する形状であり、上記端部に設けられて、上記中央部に向かって光を発する発光部と、上記中央部に設けられて、上記発光部で発生した光を散乱させる散乱部と、を有する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、電子部品の丸みを帯びた稜線部や角部を鮮明に撮像することのできる外観検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、本発明の外観検査装置の一例を模式的に示す図である。
図２は、本発明の外観検査装置の別の一例を模式的に示す図である。
図３は、本発明の外観検査装置のさらに別の一例を模式的に示す図である。
図４は、本発明の外観検査装置のさらに別の一例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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