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公開番号2025038631
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-19
出願番号2023145361
出願日2023-09-07
発明の名称溶射装置および溶射方法
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類C23C 4/12 20160101AFI20250312BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】溶射装置において、ターゲットへのヒュームの影響を抑制すること。
【解決手段】溶融した粉末をターゲットTに噴射することにより成膜する溶射装置であって、内部が減圧されたチャンバと、チャンバに収容され、ターゲットを保持するホルダと、ホルダに保持されたターゲットに粉体を噴射する溶射ガンと、溶射ガンとホルダとの間に配置され、溶射ガンから噴射された粉体が通過する開口部33が形成された溶射ガンカバーと、を備える溶射装置が提供される。
【選択図】図3B
特許請求の範囲【請求項１】
溶融した粉末をターゲットに噴射することにより成膜する溶射装置であって、
内部が減圧されたチャンバと、
前記チャンバに収容され、前記ターゲットを保持するホルダと、
前記ホルダに保持されたターゲットに粉体を噴射する溶射ガンと、
前記溶射ガンと前記ホルダとの間に配置され、前記溶射ガンから噴射された粉体が通過する開口部が形成された溶射ガンカバーと、
を備える、溶射装置。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記溶射ガンカバーに形成された前記開口部の口径は、前記溶射ガンから前記ターゲットまでの距離に応じて設定される、請求項１に記載の溶射装置。
【請求項３】
前記溶射ガンカバーの前記ターゲットに対向する面と前記ターゲットとの距離は、１０ｍｍ以下である、請求項１又は２に記載の溶射装置。
【請求項４】
前記溶射ガンカバーは、前記溶射ガンから粉体を噴射する際に発生する粒子を含む気体を排気するための排気機構を有する、請求項１に記載の溶射装置。
【請求項５】
前記溶射ガンカバーは、前記排気機構として、前記溶射ガンの側面に対向する位置に形成された第１排気口を有する、請求項４に記載の溶射装置。
【請求項６】
前記溶射ガンカバーは、前記排気機構として、前記溶射ガンの下面に対向する位置に形成された第２排気口と、該第２排気口を通過した気体が通る排気路とを有する、請求項５に記載の溶射装置。
【請求項７】
前記第２排気口は、複数の孔部を含む、請求項６に記載の溶射装置。
【請求項８】
前記複数の孔部は、前記溶射ガンカバーの前記開口部の中心に対して放射状に形成されている、請求項７に記載の溶射装置。
【請求項９】
前記ホルダは、前記ターゲットを冷却するための冷却構造を有する、請求項１に記載の溶射装置。
【請求項１０】
前記ホルダは、前記冷却構造として、冷媒の流路を有する、請求項９に記載の溶射装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶射装置および溶射方法に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
溶射装置は、材料となる粉体を溶融して基板等のターゲットに噴射することによって、ターゲット上に膜を形成するものである（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開昭６１－２５９７７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、溶射装置において、ターゲットへのヒュームの影響を抑制することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
［１］本発明の一態様の溶射装置は、
溶融した粉末をターゲットに噴射することにより成膜する溶射装置であって、
内部が減圧されたチャンバと、
前記チャンバに収容され、前記ターゲットを保持するホルダと、
前記ホルダに保持されたターゲットに粉体を噴射する溶射ガンと、
前記溶射ガンと前記ホルダとの間に配置され、前記溶射ガンから噴射された粉体が通過する開口部が形成された溶射ガンカバーと、
を備える。
【０００６】
［２］本発明の一態様の溶射装置は、上記［１］に記載の溶射装置において、
前記溶射ガンカバーに形成された前記開口部の口径は、前記溶射ガンから前記ターゲットまでの距離に応じて設定される。
【０００７】
［３］本発明の一態様の溶射装置は、上記［１］又は［２］に記載の溶射装置において、
前記溶射ガンカバーの前記ターゲットに対向する面と前記ターゲットとの距離は、１０ｍｍ以下である。
【０００８】
［４］本発明の一態様の溶射装置は、上記［１］～［３］のいずれかに記載の溶射装置において、
前記溶射ガンカバーは、前記溶射ガンから粉体を噴射する際に発生する粒子を含む気体を排気するための排気機構を有する。
【０００９】
［５］本発明の一態様の溶射装置は、上記［４］に記載の溶射装置において、
前記溶射ガンカバーは、前記排気機構として、前記溶射ガンの側面に対向する位置に形成された第１排気口を有する。
【００１０】
［６］本発明の一態様の溶射装置は、上記［４］又は［５］に記載の溶射装置において、
前記溶射ガンカバーは、前記排気機構として、前記溶射ガンの下面に対向する位置に形成された第２排気口と、該第２排気口を通過した気体が通る排気路とを有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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