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公開番号2025035304
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023142261
出願日2023-09-01
発明の名称ファブリペロー干渉フィルタ
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 26/00 20060101AFI20250306BHJP(光学)
要約【課題】所望の波長を有する光の透過率を向上させることができるファブリペロー干渉フィルタを提供する。
【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ1は、第1反射膜50と、第2反射膜60と、第1電極19を含み、第1反射膜50を支持している第1層10と、第1層10上に積層された第2層20と、を備える。第2層20は、第2基板21と、第2基板21の表面21b上において第1電極19と向かい合っている第2電極22と、第2基板21の表面21a上に配置された第3電極24と、第2基板21に設けられた複数の貫通電極26と、を含む。第1層10は、光透過領域1aと重なる部分がZ軸方向に移動可能な可動部10aとして構成された可動層である。第3電極24は、複数の貫通電極26を介して第2電極22と電気的に接続されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１反射膜と、
光透過領域において、空間を介して前記第１反射膜と向かい合っている第２反射膜と、
第１電極を含み、前記第１反射膜を支持している第１層と、
前記第１反射膜及び前記第２反射膜が互いに向かい合っている第１方向における一方の側において前記第１層上に積層された第２層と、を備え、
前記第２層は、
前記第１層側の第１面及び前記第１層とは反対側の第２面を有する基板と、
前記第１面上に配置されており、前記第１方向において空間を介して前記第１電極と向かい合っている第２電極と、
前記第２面上に配置された第３電極と、
前記基板に設けられた複数の貫通電極と、を含み、
前記第１層又は前記第２層は、前記光透過領域と重なる部分が前記第１方向に移動可能な可動部として構成された可動層であり、
前記第３電極は、前記複数の貫通電極を介して前記第１電極及び前記第２電極の一方の電極と電気的に接続されている、ファブリペロー干渉フィルタ。
続きを表示（約 600 文字）【請求項２】
前記可動層は、前記第１層である、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項３】
前記第１方向における他方の側において前記第１層上に積層されており、前記第２反射膜を支持している第３層を更に備える、請求項２に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項４】
前記第１反射膜及び前記第２反射膜に対して前記第１方向における他方の側に位置しており、前記第１方向から見た場合に前記光透過領域を包囲している吸収膜を更に備え、
少なくとも前記吸収膜における前記一方の側の面は、光吸収性を有している、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項５】
前記第３電極は、前記複数の貫通電極を介して前記第２電極と電気的に接続されている、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項６】
前記第１電極及び前記第２電極の前記一方の電極は、前記第１方向から見た場合に前記光透過領域を包囲している複数の電極であり、
前記第３電極は、前記第１方向から見た場合に前記光透過領域を包囲している複数の第３電極であり、
前記複数の電極のそれぞれは、前記複数の貫通電極の少なくとも二つの貫通電極を介して前記複数の第３電極のそれぞれと電気的に接続されている、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファブリペロー干渉フィルタに関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
第１基板と、第１基板上に積層された第２基板と、第１基板における第２基板側の第１表面に形成された第１反射膜と、第１反射膜と向かい合うように第２基板における第１基板側の第２表面に形成された第２反射膜と、第１基板の第１表面に形成された第１電極と、第１電極と向かい合うように第２基板の第２表面に形成された第２電極と、第２基板における第１基板とは反対側の第３表面に形成された第１パッド及び第２パッドと、第２基板に設けられており、第１電極と第１パッドとを電気的に接続している第１貫通電極と、第２基板に設けられており、第２電極と第２パッドとを電気的に接続している第２貫通電極と、を備えるファブリペロー干渉フィルタであって、第１基板において第１反射膜を支持している部分が、第１反射膜と第２反射膜との間の距離を変化させるための可動部として構成されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－８３８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したようなファブリペロー干渉フィルタでは、第１反射膜を包囲するように第１電極が第１基板の第１表面に形成され、第２反射膜を包囲するように第２電極が第２基板の第２表面に形成されることが一般的である。そのため、第１電極と第１パッドとが一つの第１貫通電極によって接続されていると、第１電極において第１貫通電極に近い領域と第１電極から遠い領域との間に電位差が生じるおそれがある。同様に、第２電極と第２パッドとが一つの第２貫通電極によって接続されていると、第２電極において第２貫通電極に近い領域と第２電極から遠い領域との間に電位差が生じるおそれがある。このような電位差が生じると、第１反射膜と第２反射膜との間の距離が場所によって変わり、所望の波長を有する光の透過率が低下してしまう。
【０００５】
本発明は、所望の波長を有する光の透過率を向上させることができるファブリペロー干渉フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［１］「第１反射膜と、光透過領域において、空間を介して前記第１反射膜と向かい合っている第２反射膜と、第１電極を含み、前記第１反射膜を支持している第１層と、前記第１反射膜及び前記第２反射膜が互いに向かい合っている第１方向における一方の側において前記第１層上に積層された第２層と、を備え、前記第２層は、前記第１層側の第１面及び前記第１層とは反対側の第２面を有する基板と、前記第１面上に配置されており、前記第１方向において空間を介して前記第１電極と向かい合っている第２電極と、前記第２面上に配置された第３電極と、前記基板に設けられた複数の貫通電極と、を含み、前記第１層又は前記第２層は、前記光透過領域と重なる部分が前記第１方向に移動可能な可動部として構成された可動層であり、前記第３電極は、前記複数の貫通電極を介して前記第１電極及び前記第２電極の一方の電極と電気的に接続されている、ファブリペロー干渉フィルタ」である。
【０００７】
上記［１］に記載のファブリペロー干渉フィルタでは、複数の貫通電極を介して第３電極が第１電極及び第２電極の一方の電極と電気的に接続されている。これにより、一つの貫通電極を介して第３電極が第１電極及び第２電極の一方の電極と電気的に接続されている場合に比べ、第１電極及び第２電極の一方の電極内において電位差が生じるのを抑制することができ、その結果、第１反射膜と第２反射膜との間の距離が場所によって変わるのを抑制することができる。よって、上記［１］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、所望の波長を有する光の透過率を向上させることができる。
【０００８】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［２］「前記可動層は、前記第１層である、上記［１］に記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該［２］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、第２層を可動層として構成する必要がないため、基板に対する第２電極、第３電極、及び複数の貫通電極の形成を容易化することができる。
【０００９】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［３］「前記第１方向における他方の側において前記第１層上に積層されており、前記第２反射膜を支持している第３層を更に備える、上記［２］に記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該［３］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、第１層の可動部を第２層及び第３層によって両側から保護することができる。
【００１０】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［４］「前記第１反射膜及び前記第２反射膜に対して前記第１方向における他方の側に位置しており、前記第１方向から見た場合に前記光透過領域を包囲している吸収膜を更に備え、少なくとも前記吸収膜における前記一方の側の面は、光吸収性を有している、上記［１］～［３］のいずれか一つに記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該［４］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、第２層の基板の第２面からファブリペロー干渉フィルタ内に光が入射する場合に、例えば、第１反射膜及び第２反射膜を斜めに透過した光が吸収膜に吸収されることになるため、ファブリペロー干渉フィルタから迷光が出射されるのを抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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