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公開番号2025030718
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2023136255
出願日2023-08-24
発明の名称弾性波装置およびマルチプレクサ
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人
主分類H03H 9/25 20060101AFI20250228BHJP(基本電子回路)
要約【課題】通過特性の劣化が抑制された弾性波装置を提供する。
【解決手段】フィルタ20は、直列腕共振子s21と、並列腕共振子p21～p24と、主面40aおよび40bを有する積層基板40と、圧電性基板50と、主面50aに配置されたバンプ電極70(121)と、を備え、並列腕共振子p21は、主面50aに配置されたIDT電極を含み、バンプ電極70(121)はIDT電極と接続され、積層基板40は、主面40aに配置されバンプ電極70(121)と接合された平面電極410と、主面40bに配置されグランドに接続された平面電極440と、平面電極410と平面電極440とを接続する複数のビア導体81と、を有し、主面40aを平面視した場合、バンプ電極70(121)は、平面電極410に接続されたビア導体81aおよび81bの間に位置し、並列腕共振子p21は、複数の並列腕共振子p21～p24の中で共振周波数が最も高い。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１入出力端子および第２入出力端子を結ぶ直列腕経路に配置された第１直列腕共振子と、
前記直列腕経路とグランドとの間に接続された複数の並列腕共振子と、
互いに対向する第１主面および第２主面を有し、複数の誘電体層を有する第１基板と、
前記第１主面と対面配置された第３主面を有する第２基板と、
前記第３主面に配置された第１バンプ電極と、を備え、
前記第１直列腕共振子は、
前記第３主面に配置された第１機能電極を含み、
前記複数の並列腕共振子のうちの第１並列腕共振子は、
前記第３主面に配置された第２機能電極を含み、
前記第１バンプ電極は、前記第２機能電極と接続され、
前記第１基板は、
前記複数の誘電体層のうちの第１誘電体層に配置され、前記第１バンプ電極と接合された第１平面電極と、
前記複数の誘電体層のうちの前記第１誘電体層よりも前記第２主面側の第２誘電体層に配置され、グランドに接続された第２平面電極と、
前記第１平面電極と前記第２平面電極とを接続する複数のビア導体と、を有し、
前記第１主面を平面視した場合、前記第１バンプ電極は、前記第１平面電極に接続された前記複数のビア導体のうちの２つのビア導体の間に位置し、
前記第１並列腕共振子は、前記複数の並列腕共振子の中で共振周波数が最も高い、
弾性波装置。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記第２基板は圧電性を有し、
前記第１機能電極および前記第２機能電極のそれぞれは、ＩＤＴ電極である、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第１機能電極および前記第２機能電極のそれぞれは、前記第３主面から順に、第３平面電極、圧電薄膜、第４平面電極を有する、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項４】
第１入出力端子および第２入出力端子を結ぶ直列腕経路に配置された第１直列腕共振子と、
前記直列腕経路とグランドとの間に接続された複数の並列腕共振子と、
互いに対向する第１主面および第２主面を有し、複数の誘電体層を有する第１基板と、
前記第１主面と対面配置された第３主面を有する第２基板と、
前記第３主面に配置された第１バンプ電極と、を備え、
前記第１直列腕共振子は、
前記第３主面に配置された第１機能電極を含み、
前記複数の並列腕共振子のうちの第１並列腕共振子は、
前記第３主面に配置された第２機能電極を含み、
前記第１バンプ電極は、前記第２機能電極と接続され、
前記第１基板は、
前記複数の誘電体層のうちの第１誘電体層に配置され、前記第１バンプ電極と接合された第１平面電極と、
前記複数の誘電体層のうちの前記第１誘電体層よりも前記第２主面側の第２誘電体層に配置され、グランドに接続された第２平面電極と、
前記第１平面電極と前記第２平面電極とを接続する複数のビア導体と、を有し、
前記第１主面を平面視した場合、前記第１バンプ電極は、前記第１平面電極に接続された前記複数のビア導体のうちの２つのビア導体の間に位置し、
前記第１機能電極および前記第２機能電極のそれぞれは、ＩＤＴ電極であり、
前記第１並列腕共振子は、前記複数の並列腕共振子の中でＩＤＴ電極の電極指ピッチが最も小さい、
弾性波装置。
【請求項５】
前記複数の並列腕共振子は、前記第１並列腕共振子および第２並列腕共振子を含み、
前記第１並列腕共振子は、前記第１入出力端子と前記第１直列腕共振子とを結ぶ経路および前記第１バンプ電極に接続され、
前記第２並列腕共振子は、前記第２入出力端子と前記第１直列腕共振子とを結ぶ経路および前記第１バンプ電極に接続される、
請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記第１平面電極は、前記第１主面に配置される、
請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第２平面電極は、前記第２主面に配置される、
請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記第２平面電極は、外部接続端子である、
請求項７に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記第１主面を平面視した場合、前記第１バンプ電極は、前記第１平面電極に接続された前記複数のビア導体のうちの２つのビア導体の間に位置し、かつ、前記２つのビア導体を結ぶ仮想線分と交差する仮想直線上に位置する２つのビア導体の間に位置する、
請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
前記第３主面には、前記第１バンプ電極を含む複数のバンプ電極が配置され、
前記複数のバンプ電極のうちの第２バンプ電極および第３バンプ電極は、前記第３主面の平面視において、前記第２基板の外辺の両端部に配置され、
前記第１バンプ電極は、前記第３主面の平面視において、前記第２バンプ電極と前記第３バンプ電極との間に位置する、
請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波装置およびマルチプレクサに関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、圧電基板に形成された複数の弾性表面波フィルタと、複数の誘電体層を有する実装基板と、を備える分波装置（弾性波装置）が開示されている。圧電基板に配置されたバンプ電極が、実装基板に配置されたランド電極とフェースダウン接合されることにより、小型の弾性波装置を実現できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０１５／０１６２０３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された弾性波装置において、フェースダウン接合時に、バンプ電極とランド電極との位置ずれにより、弾性波装置の通過特性が劣化するという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、通過特性の劣化が抑制された弾性波装置およびマルチプレクサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１入出力端子および第２入出力端子を結ぶ直列腕経路に配置された第１直列腕共振子と、直列腕経路とグランドとの間に接続された複数の並列腕共振子と、互いに対向する第１主面および第２主面を有し、複数の誘電体層を有する第１基板と、第１主面と対面配置された第３主面を有する第２基板と、第３主面に配置された第１バンプ電極と、を備え、第１直列腕共振子は、第３主面に配置された第１機能電極を含み、複数の並列腕共振子のうちの第１並列腕共振子は、第３主面に配置された第２機能電極を含み、第１バンプ電極は、第２機能電極と接続され、第１基板は、複数の誘電体層のうちの第１誘電体層に配置され、第１バンプ電極と接合された第１平面電極と、複数の誘電体層のうちの第１誘電体層よりも第２主面側の第２誘電体層に配置され、グランドに接続された第２平面電極と、第１平面電極と第２平面電極とを接続する複数のビア導体と、を有し、第１主面を平面視した場合、第１バンプ電極は、第１平面電極に接続された複数のビア導体のうちの２つのビア導体の間に位置し、第１並列腕共振子は、複数の並列腕共振子の中で共振周波数が最も高い。
【０００７】
また、本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１入出力端子および第２入出力端子を結ぶ直列腕経路に配置された第１直列腕共振子と、直列腕経路とグランドとの間に接続された複数の並列腕共振子と、互いに対向する第１主面および第２主面を有し、複数の誘電体層を有する第１基板と、第１主面と対面配置された第３主面を有する第２基板と、第３主面に配置された第１バンプ電極と、を備え、第１直列腕共振子は、第３主面に配置された第１機能電極を含み、複数の並列腕共振子のうちの第１並列腕共振子は、第３主面に配置された第２機能電極を含み、第１バンプ電極は、第２機能電極と接続され、第１基板は、複数の誘電体層のうちの第１誘電体層に配置され、第１バンプ電極と接合された第１平面電極と、複数の誘電体層のうちの第１誘電体層よりも第２主面側の第２誘電体層に配置され、グランドに接続された第２平面電極と、第１平面電極と第２平面電極とを接続する複数のビア導体と、を有し、第１主面を平面視した場合、第１バンプ電極は、第１平面電極に接続された複数のビア導体のうちの２つのビア導体の間に位置し、第１機能電極および第２機能電極のそれぞれは、ＩＤＴ電極であり、第１並列腕共振子は、複数の並列腕共振子の中でＩＤＴ電極の電極指ピッチが最も小さい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、通過特性の劣化が抑制された弾性波装置およびマルチプレクサを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施の形態に係るマルチプレクサの回路構成図である。
実施の形態に係るマルチプレクサの断面図である。
実施の形態に係るフィルタチップの平面図である。
実施の形態に係るマルチプレクサを構成する弾性波共振子の第１例を模式的に表す平面図および断面図である。
実施の形態に係るマルチプレクサを構成する弾性波共振子の第２例を模式的に表す断面図である。
実施の形態に係るマルチプレクサを構成する弾性波共振子の第３例を模式的に表す断面図である。
実施の形態に係るマルチプレクサを構成する積層基板の各層の平面図である。
比較例に係るマルチプレクサを構成する積層基板の各層の平面図である。
実施の形態に係る積層基板の第１層の拡大平面図である。
比較例に係る積層基板の第１層の拡大平面図である。
実施の形態に係るマルチプレクサのアイソレーション特性を示すグラフである。
比較例に係るマルチプレクサのアイソレーション特性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置および接続形態などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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