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公開番号2025024847
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-21
出願番号2023129177
出願日2023-08-08
発明の名称反射防止膜及びそれが設けられた光学部品
出願人MFオプテックス株式会社
代理人弁理士法人前田特許事務所
主分類G02B 1/115 20150101AFI20250214BHJP(光学)
要約【課題】レーザ光に対する耐性の高い反射防止膜を提供する。
【解決手段】反射防止膜10は、波長λのレーザ光用の光学部品20における光入射面及び/又は光出射面を被覆するように設けられる。反射防止膜10は、膜本体11と、その光学部品20側に積層されたアンダーコート層12とを備える。アンダーコート層12の光学膜厚がλ/2よりも小さい。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
波長λのレーザ光用の光学部品における光入射面及び／又は光出射面を被覆するように設けられる反射防止膜であって、
膜本体と、前記膜本体の前記光学部品側に積層されたアンダーコート層と、を備え、
前記アンダーコート層の光学膜厚がλ／２よりも小さい反射防止膜。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
請求項１に記載された反射防止膜において、
前記アンダーコート層の形成材料がＳｉＯ
２
等である反射防止膜。
【請求項３】
請求項１に記載された反射防止膜において、
前記アンダーコート層の形成材料が、前記光学部品における前記アンダーコート層が接触している前記光入射面及び／又は前記光出射面の部分の形成材料と同一である反射防止膜。
【請求項４】
波長λのレーザ光用の光学部品であって、
光入射面及び／又は光出射面を被覆するように請求項１乃至３のいずれかの反射防止膜が設けられた光学部品。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射防止膜及びそれが設けられた光学部品に関する。
続きを表示（約 810 文字）【背景技術】
【０００２】
レーザ、光ファイバ、レンズ等の光学部品の光透過率を高めることを目的として、その光入射面や光出射面を被覆するように反射防止膜が設けられる（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５３６２２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
レーザの高出力化に伴い、レーザ光用の光学部品に設けられる反射防止膜が破損する可能性が高まっている。
【０００５】
本発明の課題は、レーザ光に対する耐性の高い反射防止膜を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、波長λのレーザ光用の光学部品における光入射面及び／又は光出射面を被覆するように設けられる反射防止膜であって、膜本体と、前記膜本体の前記光学部品側に積層されたアンダーコート層とを備え、前記アンダーコート層の光学膜厚がλ／２よりも小さいことを特徴とする。
【０００７】
本発明は、波長λのレーザ光用の光学部品であって、光入射面及び／又は光出射面を被覆するように本発明の反射防止膜が設けられている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、反射防止膜における膜本体の光学部品側に積層されたアンダーコート層の光学膜厚がλ／２よりも小さいことにより、レーザ光に対する高い耐性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態に係る反射防止膜の断面図である。
実施形態に係る反射防止膜の変形例の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施形態について詳細に説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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