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公開番号2025020263
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-12
出願番号2024191535,2023551410
出願日2024-10-31,2022-09-22
発明の名称形状可変ミラー
出願人国立大学法人東海国立大学機構
代理人個人
主分類G21K 1/06 20060101AFI20250204BHJP(核物理;核工学)
要約【課題】半導体発光装置の光出力の低下を抑制させる。
【解決手段】形状可変ミラー10Aは、第1面24と、第1面24とは反対側の第2面26とを有し、圧電単結晶材料からなる第1基板14と、第1面24に設けられ、反射面12を有する第1電極と、第2面26に設けられる複数の第2電極と、複数の第2電極と接合する第3面28と、第3面28とは反対側の第4面30とを有し、圧電単結晶材料からなる第2基板16と、第4面30に設けられる第3電極と、第1電極と複数の第2電極の間、および複数の第2電極と第3電極の間に電圧を印加する電源22Aと、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、圧電単結晶材料からなる第１基板と、
前記第１面に設けられ、反射面を有する第１電極と、
前記第２面に設けられる複数の第２電極と、
前記複数の第２電極と接合する第３面と、前記第３面とは反対側の第４面とを有し、圧電単結晶材料からなる第２基板と、
前記第４面に設けられる第３電極と、
前記第１電極と前記複数の第２電極の間、および前記複数の第２電極と前記第３電極の間に電圧を印加する電源と、を備える形状可変ミラー。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記第１基板および前記第２基板は、同じ材料からなる、請求項１に記載の形状可変ミラー。
【請求項３】
前記第１基板および前記第２基板の少なくとも一方は、ニオブ酸リチウム（ＬＮ）またはタンタル酸リチウム（ＬＴ）からなる、請求項１に記載の形状可変ミラー。
【請求項４】
前記第１基板の前記第２面のサイズは、前記第２基板の前記第３面のサイズとは異なる、請求項１に記載の形状可変ミラー。
【請求項５】
前記第１基板の前記第２面のサイズは、前記第２基板の前記第３面のサイズよりも小さい、請求項１に記載の形状可変ミラー。
【請求項６】
前記複数の第２電極は、前記第２面上に所定方向に並んでおり、
前記第１基板の前記第２面の前記所定方向に直交する方向のサイズは、前記第２基板の前記第３面の前記所定方向に直交する前記方向のサイズよりも小さい、請求項１に記載の形状可変ミラー。
【請求項７】
前記複数の第２電極のそれぞれは、前記第２面と接合されずに露出する部分を有する、請求項１に記載の形状可変ミラー。
【請求項８】
前記第１基板の厚さは、前記第２基板の厚さとは異なる、請求項１から７のいずれか一項に記載の形状可変ミラー。
【請求項９】
前記第１基板の厚さは、前記第２基板の厚さよりも小さい、請求項１から７のいずれか一項に記載の形状可変ミラー。
【請求項１０】
前記第１基板の厚さは、２ｍｍ以下である、請求項１から７のいずれか一項に記載の形状可変ミラー。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
本出願は、２０２１年１０月１日に出願された日本国特許出願２０２１－１６３０８５号の優先権を主張し、その全体が参照により本書に組み込まれる。
続きを表示（約 1,300 文字）【０００２】
（技術分野）
本開示は、形状可変ミラーに関する。
【背景技術】
【０００３】
Ｘ線分析技術は、学術分野および産業界において広く利用されている。近年では、Ｘ線顕微鏡の開発が急速に進展しており、５０ｎｍ以下の分解能が報告されている。Ｘ線は、可視光に比べて極めて短い波長を有するため、原理的には１ｎｍ以下の分解能を実現することが期待されている。Ｘ線顕微鏡の分解能をさらに向上させるためは、Ｘ線を集光または結像させるＸ線光学系の性能向上が必須である。
【０００４】
Ｘ線光学系に用いられる光学素子として、屈折を利用する複合屈折レンズ、回折を利用するフレネルゾーンプレート、反射を利用する斜入射全反射ミラーなどがある。このうち、斜入射全反射ミラーは、Ｘ線の利用効率が高く、色収差が少ないという利点を有する。さらに、コマ収差のない光学系として、四つの斜入射全反射ミラーを用いたＡＫＢ（Advanced Kirkpatrick-Baez）ミラー光学系がある（例えば、特許文献１参照）。また、Ｘ線光学系の光学特性を可変にするため、全反射ミラーに圧電素子を貼り付け、圧電素子の変形量によって反射面の形状を制御する形状可変ミラーも利用されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第６４７８４３３号公報
特開２０２１－２１８９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
Ｘ線ミラーの反射面に要求される形状精度は極めて厳しく、例えば、１００ｍｍ程度のミラーサイズに対して１ｎｍ程度の形状精度が要求される。これは、Ｘ線の波長が可視光に比べて極めて短いことに起因する。このような形状精度の実現は、最先端の超精密加工技術を適用したとしても容易ではなく、超高精度の形状計測と計測結果に基づく超精密な修正加工とを繰り返す必要があり、Ｘ線ミラーの製造には非常に長い期間および多大なコストを要する。
【０００７】
本開示はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その例示的な目的の一つは、反射面の形状を精密に調整する技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示のある態様の形状可変ミラーは、第１面と、第１面とは反対側の第２面とを有し、圧電単結晶材料からなる第１基板と、第１面に設けられ、反射面を有する第１電極と、第２面に設けられる複数の第２電極と、複数の第２電極と接合する第３面と、第３面とは反対側の第４面とを有し、圧電単結晶材料からなる第２基板と、第４面に設けられる第３電極と、第１電極と複数の第２電極の間、および複数の第２電極と第３電極の間に電圧を印加する電源と、を備える。
【０００９】
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本開示の構成要素や表現を方法、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本開示の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、ミラーの反射面を精密に調整できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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