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公開番号2025019739
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-07
出願番号2023123524
出願日2023-07-28
発明の名称アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、ウェアラブル端末装置、アイトラッキング装置およびその製造方法。
出願人株式会社リコー
代理人個人
主分類H10N 30/87 20230101AFI20250131BHJP()
要約【課題】
信頼性が高いアクチュエータを提供する。
【解決手段】
本発明にかかるアクチュエータは、振動板と、前記振動板と一体的に形成された電極層、圧電体層を有する基板を備えるアクチュエータであり、前記基板はシリコン材料を含み、前記圧電体層はニオブ酸カリウムナトリウムを含み、前記電極層はPt膜を含み、前記Pt膜をなすPt粒子の面方向の平均粒子径は、前記Pt膜の厚さよりも大きいことを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
振動板と、
前記振動板と一体的に形成された電極層、圧電体層を有する基板
を備えるアクチュエータであり、
前記基板はシリコン材料を含み、
前記圧電体層はニオブ酸カリウムナトリウムを含み、
前記電極層はＰｔ膜を有し、
前記Ｐｔ膜をなすＰｔ粒子の面方向の平均粒子径は、前記Ｐｔ膜の厚さよりも大きいこと
を特徴とするアクチュエータ。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記Ｐｔ膜をなすＰｔ粒子の面方向の平均粒子径は、３００ｎｍ以上である
ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記Ｐｔ膜の厚さが３００ｎｍ以下である
ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記圧電体層のキュリー温度が３５０℃以上である
ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１に記載のアクチュエータを利用した液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の液体吐出ヘッドを利用した液体吐出装置。
【請求項７】
請求項１に記載のアクチュエータを利用したマイクロホンを有するウェアラブル端末装置。
【請求項８】
請求項１に記載のアクチュエータを利用したアイトラッキング装置。
【請求項９】
シリコン基板を形成する工程と、
前記Ｐｔ粒子を面方向に平均粒子径が前記Pt膜の厚さより大きく形成する工程と、
前記Ｐｔ膜の形成の後、圧電体層としてニオブ酸カリウムナトリウム膜を結晶成長する工程を含む
請求項１に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項１０】
更に、シリコン基板上にチタン酸化膜を成膜する工程を含み、
前記Pt膜を形成する工程では、面方向に平均粒子径３００ｎｍ以上の前記Ｐｔ粒子を前記チタン酸化膜上に５００℃以上の成膜温度で膜形成する工程である、
請求項９に記載のアクチュエータの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、ウェアラブル端末装置、アイトラッキング装置およびその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１では、ニオブ酸ナトリウムカリウムを主成分とする無鉛圧電体で構成された圧電部を備えるアクチュエータにより、前記圧電部を振動させる駆動部と、を備える液体吐出ヘッドが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１２６４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
信頼性が高いアクチュエータを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明にかかるアクチュエータは、振動板と、前記振動板と一体的に形成された電極層、圧電体層を有する基板を備えるアクチュエータであり、前記基板はシリコン材料を含み、前記圧電体層はニオブ酸カリウムナトリウムを含み、前記電極層はＰｔ膜を含み、前記Ｐｔ膜をなすＰｔ粒子の面方向の平均粒子径は、前記Ｐｔ膜の厚さよりも大きいことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
信頼性が高いアクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
第１の実施形態の概略図（上面図）である。
第１の実施形態の概略図（圧電素子の長手方向の断面図）である。
第１の実施形態の概略図（圧電素子の短手方向の断面図）である。
第１の実施形態の概略図（加熱部の断面図）である。
第１の実施形態の機能ブロック図である。
第１の実施形態の製造方法を説明するシーケンス図である。
第１の実施形態の製造方法を説明する図である。
第１の実施形態の電子顕微鏡写真である。
第２の実施形態の概略図である。
第２の実施形態の概略図（断面図）である。
第３の実施形態の機能を説明した概念図（断面図）である。
第３の実施形態の機能を説明した概念図（平面視）である。
第３の実施形態の概略図である。
第３の実施形態の概略図（断面図）である。
第４の実施形態の概略図（断面図）である。
第５の実施形態の機能を説明した概念図（断面図）である。
第６の実施形態の概略図である。
第６の実施形態の光学系を説明する図である。
第６の実施形態の可動装置の一例である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながら、発明を実施するための形態を説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【０００９】
＜第１の実施形態＞
本実施形態の概要を図１～図４に示している。図１は平面図である。図２は、図１のＡ－Ａ’線に沿う圧電体層１８の長手方向の断面を示す。図３は、図１のＢ－Ｂ’線に沿う圧電体層１８の短手方向の断面を示す。図４は図１のＣ－Ｃ’線に沿う加熱部１２の断面を示す。
【００１０】
振動板３８と圧電体層１８とメタル層を上部（上部電極層１６）に積層した個別液室基板１０の下面にノズルプレート３６を接合し、個別液室基板１０上部に保持基板４４、図示しない共通液室基板を積層して、インク流路を形成することでインクジェットヘッドとしている。
（【００１１】以降は省略されています）

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