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公開番号
2025014971
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-01-30
出願番号
2023117981
出願日
2023-07-20
発明の名称
ウェーハ剥離洗浄装置
出願人
株式会社東京精密
代理人
スプリング弁理士法人
主分類
H01L
21/304 20060101AFI20250123BHJP(基本的電気素子)
要約
【課題】 チッピング等の不良の発生の頻度を低下させるか、処理能力を向上させるか、又は、枚葉化されたウェーハの品質を向上させ得るウェーハ剥離洗浄装置の提供。
【解決手段】 インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを1枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した上記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、上記ウェーハを保持して、上記スライスベースから剥離させるアームを含む剥離ユニットと、上記アームにより保持される上記ウェーハを1枚目のウェーハとしたとき、上記1枚目のウェーハと、上記1枚目のウェーハに隣接する2枚目のウェーハとの隙間を含む領域を撮像し得る位置に配置された撮像部と、を備え、上記剥離ユニットは、上記撮像の結果、上記隙間の幅が予め定められた基準を満たす場合、上記1枚目のウェーハの上記剥離の動作を開始する、ウェーハ剥離洗浄装置。
【選択図】図3
特許請求の範囲
【請求項1】
インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを1枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した前記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、
前記ウェーハを保持して、前記スライスベースから剥離させるアームを含む剥離ユニットと、
前記アームにより保持される前記ウェーハを1枚目のウェーハとしたとき、前記1枚目のウェーハと、前記1枚目のウェーハに隣接する2枚目のウェーハとの隙間を含む領域を撮像し得る位置に配置された撮像部と、を備え、
前記剥離ユニットは、前記撮像の結果、前記隙間の幅が予め定められた基準を満たす場合、前記1枚目のウェーハの前記剥離の動作を開始する、ウェーハ剥離洗浄装置。
続きを表示(約 1,000 文字)
【請求項2】
熱水を貯留し、前記熱水に少なくとも前記スライスベースを浸漬し、前記ウェーハと前記スライスベースとを接着する接着剤の接着力を調整し得るよう構成された熱水槽を備え、
前記ウェーハは、前記熱水に前記スライスベースが浸漬された状態で、前記熱水の水面から外に突出するよう保持され、前記撮像部は、前記突出した部分における前記領域を撮像し得る位置に配置される、請求項1に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項3】
前記撮像部は、前記ウェーハにおける、前記スライスベースに保持された部分とその中心を挟んで略対称となる位置の前記ウェーハの円周面を含む前記領域を撮像し得る位置に配置される、請求項1又は2に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項4】
前記スライスベースから延びる前記ウェーハの表面に沿い、かつ、前記スライスベース側から前記ウェーハ側に向かうように、エアを吹き付け得るよう構成された少なくとも1つのエア供給部と、を備え、
前記エアが吹き付けられる際に、前記撮像部は、前記領域を撮像する、請求項2又は3に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項5】
前記エア供給部は、前記1枚目のウェーハの前記剥離の動作の前に、所定の時間の間、前記エアを吹き付けるよう構成され、かつ、
前記撮像の結果、前記隙間の幅が前記基準を満たす場合、前記時間の経過前であっても、前記エアの吹き付けを停止する、請求項4に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項6】
熱水を貯留し、前記熱水に少なくとも前記スライスベースを浸漬し、前記ウェーハと前記スライスベースとを接着する接着剤の接着力を調整し得るよう構成された熱水槽と、
前記熱水の温度を調節する温調部と、を備え、
前記撮像の結果、前記隙間の幅が予め定められた基準を満さない場合、
前記温調部は、前記温度を調節する、請求項1に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
【請求項7】
前記剥離された後、前記剥離ユニットにより移送される前記ウェーハを1枚ずつ通過させるよう、その幅が調整されたスリットを含む1枚取り調整部を備え、
前記撮像部は、前記スライスベースから剥離された前記ウェーハが、前記アームに保持された状態で移送され、前記スリットを通過する際の前記ウェーハを撮像する、請求項1に記載のウェーハ剥離洗浄装置。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本開示はウェーハ剥離洗浄装置に係り、特にワイヤソーで多数枚(複数枚)に同時切断され、バッチ状態(束ねられた状態)とされたウェーハをスライスベースから剥離して枚葉化し、洗浄するウェーハ剥離洗浄装置に関する。
続きを表示(約 1,800 文字)
【背景技術】
【0002】
ワイヤソーでインゴットを切断すると、ウェーハはスライスベースに接着された状態で切り出される。このため、ウェーハはスライスベースから剥離して枚葉化される。この処理を行う装置として、特許文献1に開示されるウェーハ剥離洗浄装置等が知られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2020-120094号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献1に記載されたウェーハ剥離洗浄装置は、優れた性能を有し、独創的だった。しかし、枚葉化されたウェーハに要求される品質、及び、装置に要求される処理能力等は絶えず高まり続けている。現下の要求に鑑みると、従来のウェーハ剥離洗浄装置は、チッピング等の不良の発生頻度、処理能力、又は、枚葉化されたウェーハの品質の面で、改善の余地を生じさせつつあった。
【0005】
本明細書に開示されるウェーハ剥離洗浄装置は、チッピング等の不良の発生の頻度を低下させるか、処理能力を向上させるか、又は、枚葉化されたウェーハの品質を向上させ得る。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本明細書に開示される第1のウェーハ剥離洗浄装置は、インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを1枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した上記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、上記ウェーハを保持して、上記スライスベースから剥離させるアームを含む剥離ユニットと、上記アームにより保持される上記ウェーハを1枚目のウェーハとしたとき、上記1枚目のウェーハと、上記1枚目のウェーハに隣接する2枚目のウェーハとの隙間を含む領域を撮像し得る位置に配置された撮像部と、を備え、上記剥離ユニットは、上記撮像の結果、上記隙間の幅が予め定められた基準を満たす場合、上記1枚目のウェーハの上記剥離の動作を開始する、ウェーハ剥離洗浄装置である。
【発明の効果】
【0007】
本明細書に開示されるウェーハ剥離洗浄装置は、チッピング等の不良の発生の頻度を低下させるか、処理能力を向上させるか、又は、枚葉化されたウェーハの品質を向上させ得る。
【図面の簡単な説明】
【0008】
ウェーハ剥離洗浄装置の全体平面図である。
剥離装置の平面図である。
剥離装置、及び、熱水槽の正面図である。
受渡装置の正面図である。
剥離ユニットの要部の拡大側面図である。
剥離ユニットの要部の拡大正面図である。
エアノズルを表す斜視図である。
剥離時のエアの作用を表す説明図である。
カメラでウェーハWの上方を撮影した画像の模式図である。
1枚取り調整部の作用の説明図である。
ノズル穴の形状を表す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
本明細書に開示される第1のウェーハ剥離洗浄装置は、インゴットから切り出されてバッチ状態とされたウェーハを1枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化し、剥離した上記ウェーハを枚葉洗浄するウェーハ剥離洗浄装置において、上記ウェーハを保持して、上記スライスベースから剥離させるアームを含む剥離ユニットと、上記アームにより保持される上記ウェーハを1枚目のウェーハとしたとき、上記1枚目のウェーハと、上記1枚目のウェーハに隣接する2枚目のウェーハとの隙間を含む領域を撮像し得る位置に配置された撮像部と、を備え、上記剥離ユニットは、上記撮像の結果、上記隙間の幅が予め定められた基準を満たす場合、上記1枚目のウェーハの上記剥離の動作を開始する、ウェーハ剥離洗浄装置である。
【0010】
インゴットから切り出され、1枚ずつ並んだ状態で一方側の端部(円周面)をスライスベースによって接着保持されたウェーハを1枚ずつ剥離する際、並列するウェーハ同士は、その表面を向かい合わせにするように並んでおり、その間に水が介在して、ウェーハ同士が吸着してしまうことがある。特に、スライスベースで保持されたのと反対側の端面は、いわゆるフリーの状態のため、ウェーハが少し傾いただけで接触しやすく、吸着が起こりやすかった。
(【0011】以降は省略されています)
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