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公開番号2025013118
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023220389
出願日2023-12-27
発明の名称空間光変調ユニット及び空間光変調装置
出願人ツィンファユニバーシティ,鴻海精密工業股ふん有限公司,HON HAI PRECISION INDUSTRY CO.,LTD.
代理人弁理士法人NIP&SBPJ国際特許事務所
主分類G02F 1/01 20060101AFI20250117BHJP(光学)
要約【課題】本発明は、空間光変調ユニット及び空間光変調装置を提供する。
【解決手段】空間光変調ユニットは、第一電極、第二電極及び超配向カーボンナノチューブ-パラフィン複合構造を含む。前記第一電極と前記第二電極は、互いに絶縁されて間隔をあけて配置される。前記超配向カーボンナノチューブ-パラフィン複合構造は、前記第一電極と前記第二電極にそれぞれ電気的に接続される。前記超配向カーボンナノチューブ-パラフィン複合構造は、超配向カーボンナノチューブ構造及びパラフィン層を含み、前記パラフィン層が前記超配向カーボンナノチューブ構造を覆い、且つ前記超配向カーボンナノチューブ構造に浸透する。また、本発明は、空間光変調ユニットを含む空間光変調装置を提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
空間光変調ユニットは、第一電極、第二電極及び超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造を含み、
前記第一電極と前記第二電極は、互いに絶縁されて間隔をあけて配置され、
前記超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造は、前記第一電極と前記第二電極にそれぞれ電気的に接続され、
前記超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造は、超配向カーボンナノチューブ構造及びパラフィン層を含み、前記パラフィン層が前記超配向カーボンナノチューブ構造を覆い、且つ前記超配向カーボンナノチューブ構造に浸透することを特徴とする空間光変調ユニット。
続きを表示（約 930 文字）【請求項２】
前記パラフィン層は、前記超配向カーボンナノチューブ構造に敷設され、少なくとも一部の厚さのパラフィン層が前記超配向カーボンナノチューブ構造に浸透することを特徴とする、請求項１に記載の空間光変調ユニット。
【請求項３】
前記パラフィン層の一部が前記超配向カーボンナノチューブ構造に浸透して、もう一部が前記超配向カーボンナノチューブ構造の表面を覆うことを特徴とする、請求項１に記載の空間光変調ユニット。
【請求項４】
空間光変調装置は、絶縁基板、複数の行電極、複数の列電極、及び複数の空間光変調ユニットを含み、
複数の前記行電極と複数の前記列電極とは、前記絶縁基板の表面上において互いに交差して、互いに絶縁されて設置され、二つの隣接する前記行電極、及び二つの隣接する前記行電極と交叉する二つの隣接する前記列電極ごとに、グリッドが形成され、各空間光変調ユニットが一つの前記グリッドに対応して、
各々の前記空間光変調ユニットは、第一電極、第二電極及び超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造を含み、前記第一電極及び前記第二電極は、それぞれ前記行電極及び前記列電極に電気的に接続され、前記超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造は、前記第一電極と前記第二電極にそれぞれ電気的に接続され、前記超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造は、超配向カーボンナノチューブ構造及びパラフィン層を含み、前記パラフィン層が前記超配向カーボンナノチューブ構造を覆い、且つ前記パラフィン層の少なくとも部分的に前記超配向カーボンナノチューブ構造に浸透することを特徴とする空間光変調装置。
【請求項５】
前記超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造は、前記第一電極及び前記第二電極に搭載され、前記絶縁基板の上方に宙吊りされることを特徴とする、請求項４に記載の空間光変調装置。
【請求項６】
前記パラフィン層の一部が前記超配向カーボンナノチューブ構造の微孔に浸透して、もう一部が前記超配向カーボンナノチューブ構造の表面を覆うことを特徴とする、請求項５に記載の空間光変調装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、空間光変調ユニット及び空間光変調装置に関するものである。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
超配向カーボンナノチューブ(ＳｕｐｅｒＡｌｉｇｎｅｄＣａｒｂｏｎＮａｎｏｔｕｂｅ)フィルムの著しく小さい単位面積熱容量と高速熱応答特性に基づいて、超配向カーボンナノチューブフィルムは急速に電気的に変調され、加熱され、及びＮＤＩＲ温室効果ガスモニタリングの赤外線光源とすることができる。また、超配向カーボンナノチューブフィルムは、極薄、導電性、透明性、柔軟性、伸縮性、均一性、高放射率、大面積作製容易性などの優れた特性を有して、これらの優れた特性により、超配向カーボンナノチューブフィルムの光学及び熱的管理などに対する研究の興味が注目される。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
ＫａｉｌｉＪｉａｎｇ、ＱｕｎｑｉｎｇＬｉ、ＳｈｏｕｓｈａｎＦａｎ、“Ｓｐｉｎｎｉｎｇｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｃａｒｂｏｎｎａｎｏｔｕｂｅｙａｒｎｓ”、Ｎａｔｕｒｅ、２００２年、第４１９巻、ｐ．８０１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、超配向カーボンナノチューブフィルムの光アクティブ制御への応用には、まださらなる開発が必要である。典型的な応用は空間光変調である。空間光変調は、フォトニック結晶、液晶、表面プラズマ及び相変化材料に基づいて、実現することができる。超配向カーボンノチューブフィルムは、高速熱応答、超小型ＨＣＰＵＡ、大面積の作製と切断が容易という利点があるので、高速制御可能な白熱光源アレイ、高速熱アクチュエータ、高速適応熱偽装などの機能を成功裏に実現することができる。従来技術では、超配向カーボンナノチューブフィルムが空間光変調の分野に応用される例はない。
【０００５】
従って、超配向カーボンナノチューブフィルムを利用した空間光変調ユニット及び空間光変調装置を提供する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
空間光変調ユニットは、第一電極、第二電極及び超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造を含む。前記第一電極と前記第二電極は、互いに絶縁されて間隔をあけて配置される。前記超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造は、前記第一電極と前記第二電極にそれぞれ電気的に接続される。前記超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造は、超配向カーボンナノチューブ構造及びパラフィン層を含み、前記パラフィン層が前記超配向カーボンナノチューブ構造を覆い、且つ前記超配向カーボンナノチューブ構造に浸透する。
【０００７】
前記パラフィン層は、前記超配向カーボンナノチューブ構造に敷設され、少なくとも一部の厚さのパラフィン層が前記超配向カーボンナノチューブ構造に浸透する。
【０００８】
前記パラフィン層の一部が前記超配向カーボンナノチューブ構造に浸透して、他の一部が前記超配向カーボンナノチューブ構造の表面を覆う。
【０００９】
空間光変調装置は、絶縁基板、複数の行電極、複数の列電極、及び複数の空間光変調ユニットを含む。複数の前記行電極と複数の前記列電極とは、前記絶縁基板の表面上において互いに交差して、互いに絶縁されて設置され、二つの隣接する前記行電極、及び二つの隣接する前記行電極と交叉する二つの隣接する前記列電極ごとに、グリッドが形成され、各空間光変調ユニットが一つの前記グリッドに対応する。各々の前記空間光変調ユニットは、第一電極、第二電極及び超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造を含み、前記第一電極及び前記第二電極は、それぞれ前記行電極及び前記列電極に電気的に接続され、前記超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造は、前記第一電極と前記第二電極にそれぞれ電気的に接続され、前記超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造は、超配向カーボンナノチューブ構造及びパラフィン層を含み、前記パラフィン層が前記超配向カーボンナノチューブ構造を覆い、且つ前記パラフィン層が少なくとも部分的に前記超配向カーボンナノチューブ構造に浸透する。
【００１０】
前記超配向カーボンナノチューブ－パラフィン複合構造は、前記第一電極及び前記第二電極に搭載され、前記絶縁基板の上方に宙吊りされる。
（【００１１】以降は省略されています）

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