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公開番号2025011711
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023113975
出願日2023-07-11
発明の名称蛍光X線分析装置、蛍光X線分析装置の漏水管理方法、情報記憶媒体及びプログラム
出願人株式会社リガク
代理人弁理士法人はるか国際特許事務所
主分類G01N 23/223 20060101AFI20250117BHJP(測定;試験)
要約【課題】分光室内部の漏水を高精度かつ迅速に検知することにより、漏水が発生した場合に蛍光X線分析装置の故障の程度を軽減する。
【解決手段】蛍光X線分析装置であって、電子線源に電圧を印加する高圧電源と、発生した電子線をターゲットに照射することで発生する1次X線を、分光室に配置された試料に照射するX線管と、前記ターゲットを冷却する冷却水を送る送水ポンプと、前記分光室の大気を排出する真空ポンプと、前記分光室の圧力を測定する真空計と、前記真空計が測定した圧力と、前記電子線源に印加される前記高圧電源の電圧と、の双方に基づいて、前記分光室の内部に前記冷却水が漏洩したと判定し、前記送水ポンプの動作を停止する制御部と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
電子線源に電圧を印加する高圧電源と、
前記電子線源で発生した電子線をターゲットに照射することで発生する１次Ｘ線を、分光室に配置された試料に照射するＸ線管と、
前記ターゲットを冷却する冷却水を送る送水ポンプと、
前記分光室の大気を排出する真空ポンプと、
前記分光室の圧力を測定する真空計と、
前記真空計が測定した圧力と、前記電子線源に印加される前記高圧電源の電圧と、の双方に基づいて、前記分光室の内部に前記冷却水が漏洩したと判定し、前記送水ポンプの動作を停止する制御部と、
を有することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記真空計が測定した圧力が所定の値より高く、かつ、前記電子線源に印加される前記高圧電源の電圧が所定の値より低い場合に、前記冷却水が漏洩したと判定することを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記冷却水が漏洩したと判定した場合に、前記電子線源に対する電圧の印加を停止する、ことを特徴とする請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記冷却水が漏洩したと判定した場合に、前記真空ポンプの動作を停止する、ことを特徴とする請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記冷却水が漏洩したと判定した場合に、前記分光室に大気を導入する、ことを特徴とする請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項６】
さらに、ユーザの指示を受け付ける受付部と、表示部と、を含む情報処理部を有し、
前記表示部は、前記制御部または前記情報処理部が冷却水が漏洩したと判定した場合に、前記分光室に前記冷却水が漏洩した可能性があることを表示し、
前記受付部がユーザから前記送水ポンプの動作を停止する指示を受け付けた場合に、前記制御部は、前記送水ポンプの動作を停止する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項７】
電子線源に電圧を印加する高圧電源と、
前記電子線源で発生した電子線をターゲットに照射することで発生する１次Ｘ線を、分光室に配置された試料に照射するＸ線管と、
前記ターゲットを冷却する冷却水を送る送水ポンプと、
前記分光室の大気を排出する真空ポンプと、
前記分光室の圧力を測定する真空計と、
を有する蛍光Ｘ線分析装置の漏水管理方法であって、
前記真空計が測定した圧力と、前記電子線源に印加される前記高圧電源の電圧と、の双方に基づいて、前記分光室の内部に前記冷却水が漏洩したか否か判定するステップと、
前記分光室の内部に前記冷却水が漏洩したと判定した場合に、前記送水ポンプの動作を停止するステップと、
を有することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置の漏水管理方法。
【請求項８】
蛍光Ｘ線分析装置に用いられるコンピュータで実行されるプログラムを格納する非一時的なコンピュータ読み取り可能な情報記憶媒体であって、
前記蛍光Ｘ線分析装置は、
電子線源に電圧を印加する高圧電源と、
前記電子線源で発生した電子線をターゲットに照射することで発生する１次Ｘ線を、分光室に配置された試料に照射するＸ線管と、
前記ターゲットを冷却する冷却水を送る送水ポンプと、
前記分光室の大気を排出する真空ポンプと、
前記分光室の圧力を測定する真空計と、
を有し、
前記プログラムは、
前記真空計が測定した圧力と、前記電子線源に印加される前記高圧電源の電圧と、の双方に基づいて、前記分光室の内部に前記冷却水が漏洩したか否か判定するステップと、
前記分光室の内部に前記冷却水が漏洩したと判定した場合に、前記送水ポンプの動作を停止するステップと、
を前記コンピュータに実行させることを特徴とする情報記憶媒体。
【請求項９】
蛍光Ｘ線分析装置に用いられるコンピュータで実行されるプログラムであって、
前記蛍光Ｘ線分析装置は、
電子線源に電圧を印加する高圧電源と、
前記電子線源で発生した電子線をターゲットに照射することで発生する１次Ｘ線を、分光室に配置された試料に照射するＸ線管と、
前記ターゲットを冷却する冷却水を送る送水ポンプと、
前記分光室の大気を排出する真空ポンプと、
前記分光室の圧力を測定する真空計と、
を有し、
前記コンピュータに、
前記真空計が測定した圧力と、前記電子線源に印加される前記高圧電源の電圧と、の双方に基づいて、前記分光室の内部に前記冷却水が漏洩したか否か判定するステップと、
前記分光室の内部に前記冷却水が漏洩したと判定した場合に、前記送水ポンプの動作を停止するステップと、
を実行させることを特徴とするプログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光Ｘ線分析装置、蛍光Ｘ線分析装置の漏水管理方法、情報記憶媒体及びプログラムに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
試料に含まれる元素を分析する装置として、蛍光Ｘ線分析装置が知られている。蛍光Ｘ線分析装置は、１次Ｘ線を試料に照射し、試料から出射される蛍光Ｘ線の強度とエネルギーに基づいて分析を行う。軽元素の分析を行う場合は、大気によるＸ線の吸収を避けるために分光室を真空にして測定が行われる。蛍光Ｘ線分析装置は、１次Ｘ線を発生するＸ線管を有する。Ｘ線管のターゲット、陽極部はＸ線を発生させる際に発熱するため、冷却水を用いて冷却される。
【０００３】
冷却水を当て続ける陽極近辺は、摩耗や振動により流路に破損が生じ、冷却水がＸ線管の内部に漏れる場合がある。Ｘ線管内に漏れた冷却水は、Ｘ線管の薄いＸ線窓を破り、真空状態の分光室に引き込まれる。この際、蛍光Ｘ線分析装置が動作を継続するとさらなる破損が生じるおそれがある。そこで、冷却水の漏れを検知したときには、故障の程度を軽減するためにすみやかに装置の動作を停止する必要がある。
【０００４】
例えば、下記特許文献１は、冷却水の漏れを受け皿で受け、所定の水位になると水検出用センサで検知し、ターゲット照射用の電子ビームを止めて警告を発する回転陰極型Ｘ線発生装置を開示している。下記特許文献２は、水圧の変化に基づいて、液冷型電子管の冷却水漏れの有無を判定する方法を開示している。下記特許文献３は、フロート式のスイッチ装置を用いることで、電磁波発生装置の水漏れを検知する方法を開示している。下記特許文献４は、冷却水の水漏れを流量センサで検知し、給水を停止するＸ線管の製造方法を開示している。下記特許文献５は、Ｘ線管の冷却水の漏洩を感知すると試験を停止する安全装置を有するＸ線回折装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平２－１９７０９８号公報
特開平７－２３５２６６号公報
特開２００１－３２７８５５号公報
特開平９－１６７５６３号公報
特開平８－１８９９０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
漏水を検知するセンサを分光室に配置すると、分光室の内部に配置される他の部品の大きさや位置が制約されてしまう。また、分光室の大きさによっては、センサを配置できない場合もある。また、センサの種類によっては、正確に漏水を検知できない場合がある、さらに、センサを配置する位置によっては、漏水が発生した初期に検知することができず、一定量の冷却水が分光室内部に漏れてしまう場合もある。
【０００７】
本開示は上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、分光室内部の漏水を高精度かつ迅速に検知することにより、漏水が発生した場合に故障の程度を軽減できる蛍光Ｘ線分析装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本開示の一側面に係る蛍光Ｘ線分析装置は、電子線源に電圧を印加する高圧電源と、前記電子線源で発生した電子線をターゲットに照射することで発生する１次Ｘ線を、分光室に配置された試料に照射するＸ線管と、前記ターゲットを冷却する冷却水を送る送水ポンプと、前記分光室の大気を排出する真空ポンプと、前記分光室の圧力を測定する真空計と、前記真空計が測定した圧力と、前記電子線源に印加される前記高圧電源の電圧と、の双方に基づいて、前記分光室の内部に前記冷却水が漏洩したと判定し、前記送水ポンプの動作を停止する制御部と、を有することを特徴とする。
【０００９】
（２）上記蛍光Ｘ線分析装置において、前記制御部は、前記真空計が測定した圧力が所定の値より高く、かつ、前記電子線源に印加される前記高圧電源の電圧が所定の値より低い場合に、前記冷却水が漏洩したと判定することを特徴とする。
【００１０】
（３）上記蛍光Ｘ線分析装置において、前記制御部は、前記冷却水が漏洩したと判定した場合に、前記電子線源に対する電圧の印加を停止する、ことを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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