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公開番号2025009119
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023111895
出願日2023-07-07
発明の名称漏液センサ
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01N 21/17 20060101AFI20250110BHJP(測定;試験)
要約【課題】液体に接触すること無く液漏れが検知できるようにする。
【解決手段】判定回路104は、第1受光素子102で受光した光の光量(受光量)より第2受光素子103で受光した光の光量(受光量)の方が多い状態を検知すると、平面151に液漏れが発生していると判定する。判定回路104は、状態の検知が設定されている時間継続すると、平面151に液漏れが発生していると判定する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液漏れの検出対象の平面にビーム光を投光する光源と、
前記光源から投光されて液漏れが発生していない前記平面より反射した反射光の光強度が最も高い位置に配置されて前記平面の側より入射する光を受光する第１受光素子と、
前記平面に平行な方向で前記第１受光素子より前記光源から離れた位置に配置され、前記平面の側より入射する光を受光する第２受光素子と、
前記第１受光素子で受光した光の光量より前記第２受光素子で受光した光の光量の方が多い状態を検知すると、前記平面に液漏れが発生していると判定するように構成された判定回路と
を備える漏液センサ。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
請求項１記載の漏液センサにおいて、
液漏れが発生していない前記平面より反射した反射光を前記第１受光素子で受光した光の光量と、液漏れが発生していない前記平面より反射した反射光を前記第２受光素子で受光した光の光量との差より大きな値の第１閾値、および前記第１閾値より大きい第２閾値とを記憶するように構成された記憶回路を備え、
前記判定回路は、前記第２受光素子で受光した光の光量より前記第１受光素子で受光した光の光量を減じた差光量が前記第１閾値より大きく、前記差光量が前記第２閾値より小さい状態を検知すると、前記平面に液漏れが発生していると判定する
漏液センサ。
【請求項３】
請求項１記載の漏液センサにおいて、
液漏れが発生していない前記平面より反射した反射光を前記第１受光素子で受光した光の光量と、液漏れが発生していない前記平面より反射した反射光を前記第２受光素子で受光した光の光量との差より大きな値の第３閾値、
および
液漏れが発生していない前記平面より反射した反射光を前記第１受光素子で受光した光の光量と、液漏れが発生していない前記平面より反射した反射光を前記第２受光素子で受光した光の光量との合計より大きな値の第４閾値
を記憶するように構成された記憶回路を備え、
前記判定回路は、前記第１受光素子で受光した光の光量と前記第２受光素子で受光した光の光量との差光量が、前記第３閾値より大きい第３状態を検知し、前記第１受光素子で受光した光の光量と前記第２受光素子で受光した光の光量との合計光量が、前記第４閾値より大きい第４状態を検知すると、前記平面に液漏れが発生していると判定する
漏液センサ。
【請求項４】
請求項１～３のいずれか１項に記載の漏液センサにおいて、
前記判定回路は、状態の検知が設定されている時間継続すると、前記平面に液漏れが発生していると判定する漏液センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、漏液センサに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来の光屈折式の漏液センサは液体にセンサの検知面に接触すると液体の屈折率の差により光路がずれることで漏液を検出していた（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００２－１１６１３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の技術では、光路の途中に設けられた検知面に液体が接触することになる。漏液センサが使われる半導体装置は高温の液体や腐食性の液体などが流れており、これらに接触して検出する従来の漏液センサには、耐高温、耐薬品性が求められ、例えば、高温液体や腐食性液体の場合、漏液を検出することが容易ではなかった。従って、液体に接触することがない漏液センサが望まれる。
【０００５】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、液体に接触すること無く液漏れが検知できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る漏液センサは、液漏れの検出対象の平面にビーム光を投光する光源と、光源から投光されて液漏れが発生していない平面より反射した反射光の光強度が最も高い位置に配置されて平面の側より入射する光を受光する第１受光素子と、平面に平行な方向で第１受光素子より光源から離れた位置に配置され、平面の側より入射する光を受光する第２受光素子と、第１受光素子で受光した光の光量より第２受光素子で受光した光の光量の方が多い状態を検知すると、平面に液漏れが発生していると判定するように構成された判定回路とを備える。
【０００７】
上記漏液センサの一構成例において、液漏れが発生していない平面より反射した反射光を第１受光素子で受光した光の光量と、液漏れが発生していない平面より反射した反射光を第２受光素子で受光した光の光量との差より大きな値の第１閾値、および第１閾値より大きい第２閾値とを記憶するように構成された記憶回路を備え、判定回路は、第２受光素子で受光した光の光量より第１受光素子で受光した光の光量を減じた差光量が第１閾値より大きく、差光量が第２閾値より小さい状態を検知すると、平面に液漏れが発生していると判定する。
【０００８】
上記漏液センサの一構成例において、液漏れが発生していない平面より反射した反射光を第１受光素子で受光した光の光量と、液漏れが発生していない平面より反射した反射光を第２受光素子で受光した光の光量との差より大きな値の第３閾値、および液漏れが発生していない平面より反射した反射光を第１受光素子で受光した光の光量と、液漏れが発生していない平面より反射した反射光を第２受光素子で受光した光の光量との合計より大きな値の第４閾値を記憶するように構成された記憶回路を備え、判定回路は、第１受光素子で受光した光の光量と第２受光素子で受光した光の光量との差光量が、第３閾値より大きい第３状態を検知し、第１受光素子で受光した光の光量と第２受光素子で受光した光の光量との合計光量が、第４閾値より大きい第４状態を検知すると、平面に液漏れが発生していると判定する。
【０００９】
上記漏液センサの一構成例において、判定回路は、状態の検知が設定されている時間継続すると、平面に液漏れが発生していると判定する。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、本発明によれば、第１受光素子で受光した光の光量と第２受光素子で受光した光の光量との状態により、平面に液漏れが発生していると判定するので、液体に接触すること無く液漏れが検知できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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