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公開番号2025009118
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023111894
出願日2023-07-07
発明の名称真空計測システム
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01L 21/00 20060101AFI20250110BHJP(測定;試験)
要約【課題】1つのセンサで計測精度を安定化してより広い圧力範囲が測定できるようにする。
【解決手段】測定回路104は、ダイアフラム102の変位を基にダイアフラム102が受けた圧力値を求める。補正回路105は、測定回路104が求めた圧力値が設定されている基準値より大きい範囲では、基準値より小さい範囲と異なって設定されている条件で圧力値を補正する。設定されている条件は、例えば、圧力値より補正値を求める関数(変換式)とすることができる。基準値は、例えば、ダイアフラム102(可動電極107)が固定部101(固定電極106)に接触し始めた時点で測定回路104が求めた圧力値とすることができる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
平坦面を備える固定部と、
前記固定部から離間して前記平坦面と向かい合う平坦な対向面を有するダイアフラムと、
前記平坦面および前記対向面の少なくとも一方に形成された、前記平坦面と前記対向面の接触および固着を防止するための凸状の構造体と、
前記ダイアフラムの変位を基に前記ダイアフラムが受けた圧力値を求めるように構成された測定回路と、
前記測定回路が求めた前記圧力値が設定されている基準値より大きい範囲では、設定されている条件で前記圧力値を補正する補正回路と
を備える真空計測システム。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
請求項１記載の真空計測システムにおいて、
前記補正回路は、前記測定回路が求めた前記圧力値が、前記基準値より大きい追加基準値より大きい範囲では、設定されている追加条件で前記圧力値を補正する真空計測システム。
【請求項３】
請求項１または２記載の真空計測システムにおいて、
前記固定部の前記平坦面に形成された固定電極と、
前記ダイアフラムの前記対向面に設けられて前記固定電極と向かい合う可動電極と
を備え、
前記構造体は、前記固定電極と前記可動電極との接触および固着を防止し、
前記測定回路は、前記可動電極と前記固定電極との間の容量値を前記圧力値に変換して出力する真空計測システム。
【請求項４】
請求項３記載の真空計測システムにおいて、
前記測定回路は、前記基準値より大きい範囲では前記可動電極および前記固定電極に印加される電圧値を前記圧力値に変換して出力する真空計測システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空計測システムに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
中央部の第１ダイアフラム部と、第１ダイアフラム部を取り囲む中央肉厚部と、中央肉厚部の周囲の第２ダイアフラム部とを備える圧力センサがある（特許文献１）。この圧力センサは、第２ダイアフラム部の変位により第１の圧力範囲を測定し、中央肉厚部が台座に当接した後は、第１ダイアフラム部の変位により第２の圧力範囲を測定する。このように複数の圧力範囲を測定する部分を１つのセンサに設けることで、１つのセンサでより広い圧力範囲の測定を可能とした上でコンパクト化の効果が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平４－１７８５３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、現在、半導体製造装置の制御技術の高度化要求に伴い、圧力センサに対して、コンパクト化に加えて計測精度の安定化に向けた改善が要求されている。
【０００５】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、１つのセンサで計測精度を安定化してより広い圧力範囲が測定できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る真空計測システムは、平坦面を備える固定部と、固定部から離間して平坦面と向かい合う平坦な対向面を有するダイアフラムと、平坦面および対向面の少なくとも一方に形成された、平坦面と対向面の接触および固着を防止するための凸状の構造体と、ダイアフラムの変位を基にダイアフラムが受けた圧力値を求めるように構成された測定回路と、測定回路が求めた圧力値が設定されている基準値より大きい範囲では、設定されている条件で圧力値を補正する補正回路とを備える。
【０００７】
上記真空計測システムの一構成例において、補正回路は、測定回路が求めた圧力値が、基準値より大きい追加基準値より大きい範囲では、設定されている追加条件で圧力値を補正する。
【０００８】
上記真空計測システムの一構成例において、固定部の平坦面に形成された固定電極と、ダイアフラムの対向面に設けられて固定電極と向かい合う可動電極とを備え、構造体は、固定電極と可動電極との接触および固着を防止し、測定回路は、可動電極と固定電極との間の容量値を圧力値に変換して出力する。
【０００９】
上記真空計測システムの一構成例において、測定回路は、基準値より大きい範囲では可動電極および固定電極に印加される電圧値を圧力値に変換して出力する。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、本発明によれば、測定回路が求めた圧力値が設定されている基準値より大きい範囲では、設定されている条件で圧力値を補正するので、１つのセンサで計測精度を安定化してより広い圧力範囲が測定できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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