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公開番号2025004559
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-15
出願番号2023104318
出願日2023-06-26
発明の名称排ガス処理設備排水の処理装置
出願人栗田工業株式会社
代理人個人,個人
主分類C02F 1/44 20230101AFI20250107BHJP(水,廃水,下水または汚泥の処理)
要約【課題】ブライン回収用RO装置の閉塞を抑制し、排ガス処理設備排水の回収率を安定して高くすることができる排ガス処理設備排水の処理装置を提供する。
【解決手段】フッ素を含有する排ガス処理設備排水を逆浸透処理して第1透過水と第1濃縮水とに分離する第1RO装置4と、該第1濃縮水にカルシウム系化合物および凝集剤を添加してフッ化カルシウムを析出分離させる凝集沈殿装置14と、該凝集沈殿装置14からの分離水を逆浸透処理して第2透過水と第2濃縮水とに分離する第2RO装置15と、該第2透過水を第1逆浸透膜装置14の前段に返送する返送配管16とを有する排ガス処理設備排水の処理装置。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
フッ素を含有する排ガス処理設備排水を逆浸透処理して第１透過水と第１濃縮水とに分離する第１逆浸透膜装置と、
該第１濃縮水にカルシウム系化合物および凝集剤を添加してフッ化カルシウムを析出分離させる凝集沈殿装置と、
該凝集沈殿装置からの分離水を逆浸透処理して第２透過水と第２濃縮水とに分離する第２逆浸透膜装置と、
該第２透過水を第１逆浸透膜装置の前段に返送する返送路と
を有する排ガス処理設備排水の処理装置。
続きを表示（約 240 文字）【請求項２】
前記凝集沈殿装置は、反応槽、凝集槽、沈殿槽、および該沈殿槽で分離したフッ化カルシウムを含む汚泥を、汚泥改質槽を経由して該反応槽に返送する汚泥返送路と、該汚泥改質槽にカルシウム系化合物を添加するカルシウム系化合物添加手段とを有するものである請求項１の排ガス処理設備排水の処理装置。
【請求項３】
前記第１逆浸透膜装置からの第１透過水は前記排ガス処理設備の水スクラバー用水として回収されるものである請求項１又は２の排ガス処理設備排水の処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＰＦＣｓ等を含んだガスを除害燃焼等により処理するための排ガス処理設備（除害装置）からの排水を処理する装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【０００２】
なお、ＰＦＣｓ（Ｐｅｒｆｌｕｏｒｏｃｏｍｐｏｕｎｄｓ）とは、ＣＦ
４
、Ｃ
２
Ｆ
６
、Ｃ
４
Ｆ
８
、ＳＦ
６
、ＷＦ
６
などのペルフルオロ化合物のことであるが、本明細書ではこれらペルフルオロ化合物のほか、ＣＨ
２
Ｆ
２
、Ｃｌ
２
、ＢＣｌ
３
、Ｆ
２
、ＨＦ、ＳｉＨ
４
、ＮＨ
３
、ＰＨ
３
、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）、ＴＲＩＳ（トリエトキシシラン）、ＴｉＣｌ
４
など、デポジション、エッチング、クリーニング等の各工程で用いられる、すべての有害、可燃、地球温暖化ガスを表わす。
【背景技術】
【０００３】
半導体、液晶、ＬＥＤ、太陽電池等の製造プロセスでは、ペルフルオロ化合物などの上記ＰＦＣｓが多量に使用されている。ペルフルオロ化合物ガスを用いる工場では、これを無害化する除害装置と称される排ガス処理設備を設置している。除害装置では、燃焼、電気加熱、プラズマなどを用いて、ペルフルオロ化合物を燃焼（酸化）又は熱分解反応により、フッ素（Ｆ
２
）を脱離させた後、当該装置に組み込まれた水スクラバーで排ガスを洗浄し、ガス中のＦ
２
を吸収除去する。
【０００４】
スクラバー排水は、ＨＦのほかに、ペルフルオロ化合物分子の有機骨格に由来する有機性炭化水素化合物（ＴＯＣ成分）を含有する。そこで、スクラバー排水は、生物処理装置などの有機物分解手段に導かれて処理される（特許文献１）。
【０００５】
除害プロセス排水の処理に、生物処理装置などの有機物除去装置を設置するのは、除害装置での省エネルギーを考慮し、低温分解で有害性、可燃性、地球温暖化効果に起因するＣ－Ｆ結合などを切り離すことなどを目的としており、炭化水素骨格の完全燃焼を行っていないため、スクラバー排水に有機性炭化水素化合物（ＴＯＣ）が含まれるためである。
【０００６】
半導体製造プロセスからの排水の中でも特に除害排水は、プロセスで使用する超純水量を上回る程の水量である。したがって、半導体製造プロセスを有する施設において効率的に排水を回収・再利用するためには、除害排水を高い回収率で処理し再利用することが必要となる。
【０００７】
図２は従来の除害排水処理装置の一例を示すフロー図である。除害装置の水スクラバーからの除害排水は、ｐＨ調整槽（図示略）に導入され、ｐＨ調整剤が添加されて中性ｐＨに調整される。ｐＨ調整槽からの水は、生物処理槽及び凝集槽等を有する前処理装置１に導入され、処理される。
【０００８】
前処理装置１からの処理水は、中継槽２を経て保安フィルタ３で濾過された後、第１ＲＯ（逆浸透）装置４に供給される。第１ＲＯ装置４のＲＯ膜を透過した透過水（第１透過水）は、除害装置の水スクラバーに供給される。
【０００９】
第１ＲＯ装置４からの濃縮水（第１濃縮水）は、ブライン回収用の第２ＲＯ装置１５に供給される。第２ＲＯ装置１５の透過水（第２透過水）は返送路としての返送配管１６によって中継槽２に返送され、濃縮水（第２濃縮水）は排水処理設備（図示略）に送水される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
特開２０２２－７０６０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
（【００１１】以降は省略されています）

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