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公開番号2024179348
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-26
出願番号2023098113
出願日2023-06-14
発明の名称マスク装置、アライメントマスク及びマスク装置の製造方法
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20241219BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】フレームの開口の近傍に基板ホルダを配置しながら基板ホルダとフレームとの間の干渉を抑制するマスク装置の提供。
【解決手段】マスク装置は開口を挟んで第1方向において対向する第1及び第2部分と第2方向において開口を挟んで対向する第3及び第4部分とを含むフレームと、第1及び第2部分においてフレーム第1面に固定された複数のマスクと第3部分の内縁を覆うよう延びる第1アライメントマスクとを備える。第3部分は厚み方向においてフレーム第1面に対して凹んでいる第3凹部を含む。第1アライメントマスクの中間部はフレームの第3部分に重なる外側側縁と、第2方向において外側側縁に対向する内側側縁を含む。第1アライメントマスクの外側側縁は直線部と平面視において直線部から内側側縁に向かって凹み平面視において第3凹部に重なる第3切り欠きを含む。第1アライメントマスクの複数の固定部の一部は第3切り欠きの輪郭に沿って並ぶ。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
マスク装置であって、
開口を挟んで第１方向において対向する第１部分及び第２部分と、前記第１方向に直交する第２方向において前記開口を挟んで対向する第３部分及び第４部分と、フレーム第１面と、前記フレーム第１面の反対側に位置するフレーム第２面と、を含むフレームと、
前記第１部分及び前記第２部分において前記フレーム第１面に固定され、前記開口を横切るよう延びる複数のマスクと、
前記フレーム第１面に固定され、前記第３部分の内縁を覆うよう延びる第１アライメントマスクと、を備え、
前記第３部分は、厚み方向において前記フレーム第１面に対して凹んでいる第３凹部を含み、
前記第１アライメントマスクは、前記第１方向において対向する第１端部及び第２端部と、前記第１端部と前記第２端部との間に位置する中間部と、アライメントマークと、前記第１アライメントマスクを前記フレーム第１面に固定する複数の固定部と、を含み、
前記第１アライメントマスクの前記中間部は、前記フレームの前記第３部分に重なる外側側縁と、前記第２方向において前記外側側縁に対向する内側側縁と、を含み、
前記第１アライメントマスクの前記外側側縁は、直線部と、平面視において前記直線部から前記内側側縁に向かって凹み、平面視において前記第３凹部に重なる第３切り欠きと、を含み、
前記第１アライメントマスクの前記複数の固定部の一部は、前記第３切り欠きの輪郭に沿って位置する、マスク装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記第３切り欠きの輪郭は、第１コーナー部と、前記第１コーナー部に対して前記第２端部の側に位置する第２コーナー部と、前記第１コーナー部から前記直線部まで延びる第１ラインと、前記第２コーナー部から前記直線部まで延びる第２ラインと、前記第１コーナー部から前記第２コーナー部まで延びる第３ラインと、を含む、請求項１に記載のマスク装置。
【請求項３】
前記第１ライン及び前記第２ラインは、前記第２方向に沿って直線的に延び、
前記第３ラインは、前記第１方向に沿って直線的に延びる、請求項２に記載のマスク装置。
【請求項４】
前記第１コーナー部は、内端及び外端を含むコーナーを含み、
前記コーナーは、前記内端において、前記第１方向に一致する接線方向を有し、
前記コーナーは、前記外端において、前記第２方向に一致する接線方向を有し、
前記コーナーの前記外端は、前記第１ラインに対して前記第１端部の側に位置する、請求項３に記載のマスク装置。
【請求項５】
前記コーナーの前記外端と前記第１ラインとの間の、前記第１方向における距離が、１μｍ以上である、請求項４に記載のマスク装置。
【請求項６】
前記コーナーは、湾曲した部分を含む、請求項４に記載のマスク装置。
【請求項７】
前記第１部分は、厚み方向において前記フレーム第１面に対して凹んでいる第１凹部を含み、
前記第１アライメントマスクの前記第１端部は、前記フレームの前記第１部分に重なる第１側縁を含み、
前記第１アライメントマスクの前記第１側縁は、直線部と、平面視において前記直線部から前記第２端部に向かって凹み、平面視において前記第１凹部に重なる第１切り欠きと、を含み、
前記第１アライメントマスクの前記複数の固定部の一部は、前記第１切り欠きの輪郭に沿って位置する、請求項１～６のいずれか一項に記載のマスク装置。
【請求項８】
前記フレーム第１面に固定され、前記第４部分の内縁を覆うよう延びる第２アライメントマスクを備え、
前記第４部分は、厚み方向において前記フレーム第１面に対して凹んでいる第４凹部を含み、
前記第２アライメントマスクは、前記第１方向において対向する第１端部及び第２端部と、前記第１端部と前記第２端部との間に位置する中間部と、アライメントマークと、前記第２アライメントマスクを前記フレーム第１面に固定する複数の固定部と、を含み、
前記第２アライメントマスクの前記中間部は、前記フレームの前記第４部分に重なる外側側縁と、前記第２方向において前記外側側縁に対向する内側側縁と、を含み、
前記第２アライメントマスクの前記外側側縁は、直線部と、平面視において前記直線部から前記内側側縁に向かって凹み、平面視において前記第４凹部に重なる第４切り欠きと、を含み、
前記第２アライメントマスクの前記複数の固定部の一部は、前記第２アライメントマスクの前記第４切り欠きの輪郭に沿って位置する、請求項１～６のいずれか一項に記載のマスク装置。
【請求項９】
前記フレームは、前記第１方向において１０００ｍｍ以上の寸法を有する、請求項１～６のいずれか一項に記載のマスク装置。
【請求項１０】
前記フレームは、前記第２方向において１２００ｍｍ以上の寸法を有する、請求項１～６のいずれか一項に記載のマスク装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、マスク装置、アライメントマスク及びマスク装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示装置などの有機デバイスが注目されている。有機デバイスの素子を形成する方法として、素子を構成する材料を蒸着により基板に付着させる方法が知られている。例えば、まず、素子に対応するパターンで第１電極が形成されている基板を準備する。続いて、マスク装置を用いて蒸着工程を実施する。マスク装置は、複数のマスクと、マスクを支持するフレームと、を備える。各マスクは、複数の貫通孔を含む。マスクの貫通孔を通った有機材料が第１電極の上に付着することにより、第１電極の上に有機層が形成される。
【０００３】
フレームは、開口を挟んで対向する第１部分及び第２部分と、開口を挟んで対向する第３部分及び第４部分と、を含む。マスクの端部は、第１部分及び第２部分に固定されている。
【０００４】
マスク装置は、マスクと重なっていない開口の部分を覆う遮蔽部材を更に備える。例えば、マスク装置は、マスクとフレームとの間の開口の部分を覆うアライメントマスクを備える。アライメントマスクは、フレームの第１部分から第２部分まで延びる外側側縁及び内側側縁を含む。アライメントマスクの外側側縁は、平面視においてフレームに重なる。アライメントマスクの内側側縁は、平面視においてマスクに重なる。アライメントマスクなどの遮蔽部材は、マスクの貫通孔に対応する位置以外の位置で基板に有機材料が付着することを抑制できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２１－１７５８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
蒸着工程において、基板は、平面視においてフレームの開口に重なるように配置される。有機材料などの蒸着材料は、開口の内側でマスクの貫通孔に重なる基板の部分に付着する。蒸着材料は、開口の外側に位置する基板の部分には付着しない。有機デバイスの生産性を高めるためには、開口の外側に位置する基板の面積が小さいことが好ましい。
【０００７】
蒸着工程において、基板は、基板ホルダによって保持される。開口の外側に位置する基板の面積が小さい場合、基板ホルダとフレームとが干渉しあうことが考えられる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一実施形態によるマスク装置は、開口を挟んで第１方向において対向する第１部分及び第２部分と、前記第１方向に直交する第２方向において前記開口を挟んで対向する第３部分及び第４部分と、フレーム第１面と、前記フレーム第１面の反対側に位置するフレーム第２面と、を含むフレームと、前記第１部分及び前記第２部分において前記フレーム第１面に固定され、前記開口を横切るよう延びる複数のマスクと、前記フレーム第１面に固定され、前記第３部分の内縁を覆うよう延びる第１アライメントマスクと、を備えてもよい。前記第３部分は、厚み方向において前記フレーム第１面に対して凹んでいる第３凹部を含んでもよい。前記第１アライメントマスクは、前記第１方向において対向する第１端部及び第２端部と、前記第１端部と前記第２端部との間に位置する中間部と、アライメントマークと、前記第１アライメントマスクを前記フレーム第１面に固定する複数の固定部と、を含んでもよい。前記第１アライメントマスクの前記中間部は、前記フレームの前記第３部分に重なる外側側縁と、前記第２方向において前記外側側縁に対向する内側側縁と、を含んでもよい。前記第１アライメントマスクの前記外側側縁は、直線部と、平面視において前記直線部から前記内側側縁に向かって凹み、平面視において前記第３凹部に重なる第３切り欠きと、を含んでもよい。前記第１アライメントマスクの前記複数の固定部の一部は、前記第３切り欠きの輪郭に沿って並んでもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本開示の実施形態によれば、フレームの開口の近傍に基板ホルダを配置しながら、基板ホルダとフレームとの間の干渉を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
有機デバイスの一例を示す断面図である。
有機デバイス群の一例を示す平面図である。
蒸着装置の一例を示す断面図である。
マスク装置の一例を示す平面図である。
マスクの一例を示す平面図である。
マスクの一例を示す断面図である。
マスク装置の中間製品の一例を示す平面図である。
フレームの第３部分及びアライメントマスクを拡大して示す平面図である。
図８のIX-IX線に沿った断面図である。
図８のX-X線に沿った断面図である。
図８のXI-XI線に沿った断面図である。
フレームの凹部及びアライメントマスクの切り欠きの一例を示す平面図である。
アライメントマスクの切り欠きの一例を示す平面図である。
フレームに固定される前のアライメントマスクの一例を示す平面図である。
アライメントマスクの第１貫通部及び第２貫通部の一例を示す平面図である。
アライメントマスクの第１貫通部の一例を示す平面図である。
フレームを準備する工程の一例を示す平面図である。
フレーム上にアライメントマスクを配置する工程の一例を示す平面図である。
フレームにアライメントマスクを固定する工程の一例を示す平面図である。
アライメントマスクをトリミングする工程の一例を示す平面図である。
アライメントマスクの一部を切断する工程の一例を示す平面図である。
比較の形態において、アライメントマスクの一部を切断する工程を示す平面図である。
アライメントマスクの第１貫通部及び第２貫通部の一例を示す平面図である。
図２３に示すアライメントマスクを切断する工程の一例を示す平面図である。
アライメントマスクの第１貫通部及び第２貫通部の一例を示す平面図である。
図２５に示すアライメントマスクの一部を切断する工程の一例を示す平面図である。
フレーム及びアライメントマスクの一例を示す平面図である。
図２７に示すフレームに固定される前のアライメントマスクの一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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