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公開番号2024179044
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-26
出願番号2023097537
出願日2023-06-14
発明の名称光変調器及び光変調器の製造方法
出願人住友電気工業株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類G02F 1/017 20060101AFI20241219BHJP(光学)
要約【課題】マッハツェンダ変調部の各導波路に入力される光の強度を低減できる光変調器及び光変調器の製造方法を提供する。
【解決手段】光変調器は、第1導波路及び第2導波路を有する第1マッハツェンダ変調部と、第3導波路及び第4導波路を有する第2マッハツェンダ変調部と、第1マッハツェンダ変調部及び第2マッハツェンダ変調部に光学的に結合された第3マッハツェンダ変調部と、を備える。第3マッハツェンダ変調部は、第1導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第5導波路と、第2導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第6導波路と、第3導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第7導波路と、第4導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第8導波路と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１導波路及び第２導波路を有する第１マッハツェンダ変調部と、
第３導波路及び第４導波路を有する第２マッハツェンダ変調部と、
前記第１マッハツェンダ変調部及び前記第２マッハツェンダ変調部に光学的に結合された第３マッハツェンダ変調部と、
前記第３マッハツェンダ変調部に光学的に結合された光カプラと、
を備え、
前記第３マッハツェンダ変調部は、
前記第１導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第５導波路と、
前記第２導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第６導波路と、
前記第３導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第７導波路と、
前記第４導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第８導波路と、
前記第５導波路及び前記第６導波路に接続された第１電極と、
前記第７導波路及び前記第８導波路に接続された第２電極と、
を備え、
前記光カプラは、前記第５導波路の出力端、前記第６導波路の出力端、前記第７導波路の出力端及び前記第８導波路の出力端に光学的に結合されている、光変調器。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記第１導波路の前記出力端と前記第５導波路の前記入力端とを接続する第９導波路を更に備え、
前記第９導波路の上部クラッドは、第１導電型の半導体層を含み、
前記第１導波路及び前記第５導波路のそれぞれの上部クラッドは、第２導電型の半導体層を含む、請求項１に記載の光変調器。
【請求項３】
前記光カプラは、
前記第５導波路の前記出力端及び前記第６導波路の前記出力端に光学的に結合された第１光カプラと、
前記第７導波路の前記出力端及び前記第８導波路の前記出力端に光学的に結合された第２光カプラと、
前記第１光カプラ及び前記第２光カプラに光学的に結合された第３光カプラと、
を備える、請求項１または請求項２に記載の光変調器。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の光変調器を準備する工程であり、前記光変調器は、前記第１導波路に接続された第３電極と、前記第２導波路に接続された第４電極と、前記第３導波路に接続された第５電極と、前記第４導波路に接続された第６電極と、を更に備える、工程と、
前記第３電極及び前記第４電極に印加する電圧を調整する工程と、
前記第５電極及び前記第６電極に印加する電圧を調整する工程と、
前記第３電極、前記第４電極、前記第５電極、及び前記第６電極に印加する電圧の調整結果に基づいて、前記第１電極及び前記第２電極に印加する電圧を調整する工程と、
前記第１電極及び前記第２電極に印加する電圧の調整結果に基づいて、前記第３電極及び前記第４電極に印加する電圧又は前記第５電極及び前記第６電極に印加する電圧を再調整する工程と、
を含む、光変調器の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光変調器及び光変調器の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、光変調器を開示する。この光変調器は、第１マッハツェンダ変調部及び第２マッハツェンダ変調部を備える。第１マッハツェンダ変調部は、第１導波路及び第２導波路を備える。第２マッハツェンダ変調部は、第３導波路及び第４導波路を備える。第１導波路及び第２導波路の出力端は、光カプラを介して第５導波路に光学的に結合される。第３導波路及び第４導波路の出力端は、光カプラを介して第６導波路に光学的に結合される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－３３０４２号公報
米国特許第９０６９２２３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の光変調器では、入力導波路からの光が第１導波路及び第２導波路を伝搬し、各導波路を伝搬した光が光カプラによって合成される。同様に、入力導波路からの光が第３導波路及び第４導波路を伝搬し、各導波路を伝搬した光が光カプラによって合成される。そして、光カプラによって合成された光は、第５導波路及び第６導波路に導かれる。この場合、第５導波路を伝搬する光の強度は、第１導波路を伝搬する光の強度と第２導波路を伝搬する光の強度との合計値になる。第６導波路を伝搬する光の強度は、第３導波路を伝搬する光の強度と第４導波路を伝搬する光の強度との合計値になる。よって、第５導波路及び第６導波路を有するマッハツェンダ変調部を用いる場合、マッハツェンダ変調部の各導波路に入力される光の強度が、第１導波路から第４導波路の各導波路を伝搬する光の強度よりも高くなる。
【０００５】
本開示は、マッハツェンダ変調部の各導波路に入力される光の強度を低減できる光変調器及び光変調器の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一側面に係る光変調器は、第１導波路及び第２導波路を有する第１マッハツェンダ変調部と、第３導波路及び第４導波路を有する第２マッハツェンダ変調部と、前記第１マッハツェンダ変調部及び前記第２マッハツェンダ変調部に光学的に結合された第３マッハツェンダ変調部と、前記第３マッハツェンダ変調部に光学的に結合された光カプラと、を備え、前記第３マッハツェンダ変調部は、前記第１導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第５導波路と、前記第２導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第６導波路と、前記第３導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第７導波路と、前記第４導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第８導波路と、前記第５導波路及び前記第６導波路に接続された第１電極と、前記第７導波路及び前記第８導波路に接続された第２電極と、を備え、前記光カプラは、前記第５導波路の出力端、前記第６導波路の出力端、前記第７導波路の出力端及び前記第８導波路の出力端に光学的に結合されている。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、マッハツェンダ変調部の各導波路に入力される光の強度を低減できる光変調器及び光変調器の製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、一実施形態に係る光変調器を模式的に示す平面図である。
図２は、図１のII－II線に沿った断面図である。
図３は、図１のIII－III線に沿った断面図である。
図４は、導波路を伝搬する光の強度と当該導波路に接続された電極に印加可能な電圧との関係を示す図である。
図５は、本実施形態に係る光変調器の製造方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［本開示の実施形態の説明］
最初に、本開示の実施形態の内容を列記して説明する。
【００１０】
（１）一実施形態に係る光変調器は、第１導波路及び第２導波路を有する第１マッハツェンダ変調部と、第３導波路及び第４導波路を有する第２マッハツェンダ変調部と、前記第１マッハツェンダ変調部及び前記第２マッハツェンダ変調部に光学的に結合された第３マッハツェンダ変調部と、前記第３マッハツェンダ変調部に光学的に結合された光カプラと、を備え、前記第３マッハツェンダ変調部は、前記第１導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第５導波路と、前記第２導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第６導波路と、前記第３導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第７導波路と、前記第４導波路の出力端に光学的に結合された入力端を有する第８導波路と、前記第５導波路及び前記第６導波路に接続された第１電極と、前記第７導波路及び前記第８導波路に接続された第２電極と、を備え、前記光カプラは、前記第５導波路の出力端、前記第６導波路の出力端、前記第７導波路の出力端及び前記第８導波路の出力端に光学的に結合されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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