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公開番号
2024176552
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2024-12-19
出願番号
2023095138
出願日
2023-06-08
発明の名称
電気脱イオン装置、そのメンテナンス方法、及び電気脱イオン装置の管理方法
出願人
栗田工業株式会社
代理人
個人
,
個人
主分類
C02F
1/42 20230101AFI20241212BHJP(水,廃水,下水または汚泥の処理)
要約
【課題】 メンテナンス性が良好で水質管理の容易な電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】 電気脱イオン装置9は、電極(陽極21、陰極22)の間に複数のカチオン交換膜23及びアニオン交換膜24を交互に配列して脱塩室25と濃縮室26とを交互に形成したものであり、脱塩室25には、イオン交換樹脂が混合もしくは複層状に充填されている。脱塩室25と濃縮室26は、カチオン交換膜23とアニオン交換膜24とを交互に配列して形成した脱塩室25と濃縮室26をカチオン交換膜23とアニオン交換膜24とともにフレーム内に設置してセルパックとし、このセルパックを複数連結した一体型構造体9Aにより構成する。この一体型構造体9Aは、電気脱イオン装置9から着脱可能となっている。
【選択図】 図1
特許請求の範囲
【請求項1】
陰極及び陽極と、該陰極と陽極との間に複数のカチオン交換膜とアニオン交換膜とを配列することにより交互に形成された濃縮室及び脱塩室とを有し、前記脱塩室及び濃縮室にイオン交換樹脂が充填されている電気脱イオン装置であって、
前記脱塩室及び濃縮室がこれらを構成するカチオン交換膜及びアニオン交換膜とともにそれぞれフレーム内に形成されたセルパック構造であり、このセルパックを複数連結して濃縮室及び脱塩室を交互に配置した一体型構造体となっていて、
該一体型構造体が前記電気脱イオン装置から着脱可能である、電気脱イオン装置。
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【請求項2】
陰極及び陽極と、該陰極と陽極との間に複数のカチオン交換膜とアニオン交換膜とを配列することにより交互に形成された濃縮室及び脱塩室とを有し、前記脱塩室及び濃縮室にイオン交換樹脂が充填されており、前記脱塩室及び濃縮室がこれらを構成するカチオン交換膜及びアニオン交換膜とともにそれぞれフレーム内に形成されたセルパック構造であり、このセルパックを複数連結して濃縮室及び脱塩室を交互に配置した一体型構造体となっていて、該一体型構造体が前記電気脱イオン装置から着脱可能である電気脱イオン装置のメンテナンス方法であって、
前記一体型構造体を前記電気脱イオン装置から取り出して交換する、電気脱イオン装置のメンテナンス方法。
【請求項3】
陰極及び陽極と、該陰極と陽極との間に複数のカチオン交換膜とアニオン交換膜とを配列することにより交互に形成された濃縮室及び脱塩室とを有し、前記脱塩室及び濃縮室にイオン交換樹脂が充填されており、前記脱塩室及び濃縮室がこれらを構成するカチオン交換膜及びアニオン交換膜とともにそれぞれフレーム内に形成されたセルパック構造であり、このセルパックを複数連結して濃縮室及び脱塩室を交互に配置した一体型構造体となっていて、該一体型構造体が前記電気脱イオン装置から着脱可能である電気脱イオン装置の管理方法であって、
前記電気イオン装置の運転情報または処理水情報に基づいて、前記一体型構造体の交換の時期を判断する、電気脱イオン装置の管理方法。
【請求項4】
前記電気脱イオン装置の運転情報が、該電気脱イオン装置の運転電圧である、請求項3に記載の電気脱イオン装置の管理方法。
【請求項5】
前記電気脱イオン装置の運転情報が、該電気脱イオン装置の脱塩室の給水圧力と、処理水圧力とにより算出される通水差圧である、請求項3に記載の電気脱イオン装置の管理方法。
【請求項6】
前記電気脱イオン装置の処理水情報が、該電気脱イオン装置の処理水の比抵抗値又は導電率である、請求項3に記載の電気脱イオン装置の管理方法。
【請求項7】
前記電気脱イオン装置の運転情報または処理水情報を送受信機により送信することで、該電気脱イオン装置を遠隔監視して前記一体型構造体の交換時期を判断し、交換時期と判断したら交換用の一体型構造体を前記電気脱イオン装置に搬送して交換する、請求項3~6のいずれか1項に記載の電気脱イオン装置の管理方法。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、純水製造装置に用いられる電気脱イオン装置、そのメンテナンス方法、及び電気脱イオン装置の管理方法に関し、特にメンテナンス性が良好で水質管理の容易な電気脱イオン装置、そのメンテナンス方法、及び電気脱イオン装置の管理方法に関する。
続きを表示(約 2,400 文字)
【背景技術】
【0002】
従来、半導体等の電子産業分野で用いられている超純水は、例えば、図3に示すような超純水製造装置1により製造される。この超純水製造装置1は、前処理装置2、一次純水製造装置3、及び二次純水製造装置(サブシステム)4といった3段の装置で構成されている。このような超純水製造装置1の前処理装置2では、原水Wの濾過、凝集沈殿、精密濾過膜などによる前処理が施され、主に懸濁物質が除去される。
【0003】
一次純水製造装置3は、前処理水W1を処理する逆浸透膜装置5と、脱気膜装置6と、紫外線酸化装置7と、電気脱イオン装置9と、この電気脱イオン装置9に給水を供給する給水ポンプ8とを有する。この一次純水製造装置3で前処理水W1中の大半の電解質、微粒子、生菌等の除去を行うとともに有機物を分解する。
【0004】
サブシステム4は、一次純水製造装置3で製造された一次純水W2を貯留するサブタンク10とこのサブタンク10からポンプ11を介して送給される一次純水W2を処理する紫外線酸化装置12と非再生型混床式イオン交換装置13と微粒子除去手段としての限外濾過(UF)膜14とで構成され、さらに必要に応じRO膜分離装置等が設けられている場合もある。このサブシステム4では、紫外線酸化装置12により一次純水W2中に含まれる微量の有機物(TOC成分)を酸化分解し、続いて非再生型混床式イオン交換装置13で処理することで残留した炭酸イオン、有機酸類、アニオン性物質、さらには金属イオンやカチオン性物質をイオン交換によって除去する。そして、限外濾過(UF)膜14で微粒子を除去して超純水W3とし、これをユースポイント15に供給して、未使用の超純水はサブタンク10に返送する。
【0005】
このような超純水製造装置1に用いられる一次純水製造装置3は、超純水製造の分野以外にも、医薬用や食品用などの様々な分野に利用されている汎用性の高い装置である。ここで、図4に示すように電気脱イオン装置9は、電極(陽極21、陰極22)の間に複数のカチオン交換膜23及びアニオン交換膜24を交互に配列して脱塩室25と濃縮室26とを交互に形成したものであり、脱塩室25には、イオン交換樹脂、イオン交換繊維もしくはグラフト交換体等からなるイオン交換体(アニオン交換体及びカチオン交換体)が混合もしくは複層状に充填されている。また、濃縮室26と、陽極室27に陰極室28にもイオン交換体が充填されている。一般的には、この脱塩室25及び濃縮室26には、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とを所定の割合で混合した混合イオン交換樹脂が充填されている。
【0006】
この電気脱イオン装置9には、脱塩室25に給水(被処理水)W4を通水して処理水(脱塩水)W5を取り出す通水手段(図示せず)と、濃縮室26に被濃縮水を通水する濃縮水通水手段(図示せず)とが設けられていて、ここでは、被濃縮水を脱塩室25の脱塩水W5の取り出し口に近い側から濃縮室26内に導入すると共に、脱塩室25の給水W4の入口に近い側から流出する。すなわち脱塩室25における給水W4の流通方向と反対方向から被濃縮水(脱塩水)W5を濃縮室26に導入して濃縮水W6を吐出する構成となっている。さらに、脱塩水W5は、陽極室27及び陰極室28にも供給されて、電極室排水W7,W8をそれぞれ吐出する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
上述したような電気脱イオン装置9は、トータル処理水量が増加して脱塩室25に充填されているイオン交換樹脂が劣化すると、定電流運転において運転電圧が上昇し、消費電力量の増加を招くだけでなく、さらに電圧が上昇すると運転が困難になる。また、充填されているイオン交換樹脂が破砕し、微粒子としてリークし水質の低下を招く。
【0008】
しかしながら、このように電気脱イオン装置9はその性能が低下しても、脱塩室25に充填されたイオン交換樹脂を再生したり、交換したりするメンテナンスが困難であることから、現状では電気脱イオン装置9ごと交換せざるをえず、電気脱イオン装置9の外装や電極(陽極21、陰極22)も廃棄せざるを得ない、という問題点がある。また、大型の電気脱イオン装置は、受注生産することが多いため、突然電気脱イオン装置9の交換が必要になっても直ちに交換するのが困難である。
【0009】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、メンテナンス性が良好で水質管理の容易な電気脱イオン装置を提供することを目的とする。また、メンテナンスが簡単で廃棄物の削減が可能な電気脱イオン装置のメンテナンス方法を提供することを目的とする。さらに、本発明は、メンテナンス性が良く水質管理の容易な電気脱イオン装置の管理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
上記目的に鑑み、本発明は第一に、陰極及び陽極と、該陰極と陽極との間に複数のカチオン交換膜とアニオン交換膜とを配列することにより交互に形成された濃縮室及び脱塩室とを有し、前記脱塩室及び濃縮室にイオン交換樹脂が充填されている電気脱イオン装置であって、前記脱塩室及び濃縮室がこれらを構成するカチオン交換膜及びアニオン交換膜とともにそれぞれフレーム内に形成されたセルパック構造であり、このセルパックを複数連結して濃縮室及び脱塩室を交互に配置した一体型構造体となっていて、該一体型構造体が前記電気脱イオン装置から着脱可能である、電気脱イオン装置を提供する(発明1)。
(【0011】以降は省略されています)
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