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公開番号2024172702
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023090584
出願日2023-06-01
発明の名称光学系の駆動装置及びビームプロファイル測定装置
出願人三菱重工業株式会社
代理人SSIP弁理士法人
主分類G02B 26/08 20060101AFI20241205BHJP(光学)
要約【課題】省スペースでありながら、光学系の回転量を精密な調節が可能な光学系の駆動装置及びビームプロファイル測定装置を提供する。
【解決手段】光学系の駆動装置は、光学素子を回転させるための駆動装置であって、光学素子に接続される回転シャフトと、前記回転シャフトを回転可能に支持するための軸受と、前記回転シャフトに接続され、前記回転シャフトの径方向に沿って延びるアームと、出力部を有し、前記出力部を前記回転シャフトの周方向に沿って線形に動かすように構成されたリニアモータと、前記出力部及び前記アームに接続され、前記出力部の動きを前記アームに伝達するための弾性体と、を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
光学素子を回転させるための駆動装置であって、
光学素子に接続される回転シャフトと、
前記回転シャフトを回転可能に支持するための軸受と、
前記回転シャフトに接続され、前記回転シャフトの径方向に沿って延びるアームと、
出力部を有し、前記出力部を前記回転シャフトの周方向に沿って線形に動かすように構成されたリニアモータと、
前記出力部及び前記アームに接続され、前記出力部の動きを前記アームに伝達するための弾性体と、
を備える光学系の駆動装置。
続きを表示（約 430 文字）【請求項２】
前記弾性体は、直線状の線材からなるばねを含む
請求項１に記載の光学系の駆動装置。
【請求項３】
前記リニアモータは、リニア型の超音波モータを含む
請求項１又は２に記載の光学系の駆動装置。
【請求項４】
前記光学素子を収容するとともに、前記光学素子及び前記リニアモータを支持するケーシングを備える
請求項１又は２に記載の光学系の駆動装置。
【請求項５】
前記回転シャフトの軸方向において、前記アームの位置を基準として前記光学素子及び前記リニアモータが同じ側に設けられている
請求項１又は２に記載の光学系の駆動装置。
【請求項６】
光学素子と、
前記光学素子を回転駆動させるように構成された請求項１又は２に記載の光学系の駆動装置と、
前記光学素子を通過したビームを撮像するための撮像部と、
を備えるビームプロファイル測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光学系の駆動装置及びビームプロファイル測定装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
レーザビームや電子ビーム等のビームを用いる造形、加工又は処理等の品質向上のために、予めビームプロファイル（ビームの形状や強度分布等）を測定して適切に調整することが重要である。
【０００３】
特許文献１には、レーザ光のプロファイル測定において、測定部に入射される測定対象のレーザ光を減衰するための装置が記載されている。この装置では、レーザ光を減衰するためのプリズム（光学系）をアクチュエータで駆動して回転させることで、レーザ光の減衰量を調節することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０１８／１３９４８６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ビームプロファイル測定装置は、ビーム照射部からの照射方向を様々に変えてビームプロファイルを測定することがあり、限られた空間であってもなるべく広範な領域でビームプロファイルを測定するために、コンパクトであることが望まれる。また、コンパクトな構成でありながら、光学系の回転量を精密に調節可能であることが望まれる。この点、特許文献１には、光学系を回転駆動するための具体的な構成は記載されていない。
【０００６】
上述の事情に鑑みて、本発明の少なくとも一実施形態は、省スペースでありながら、光学系の回転量を精密な調節が可能な光学系の駆動装置及びビームプロファイル測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の少なくとも一実施形態に係る光学系の駆動装置は、
光学素子を回転させるための駆動装置であって、
光学素子に接続される回転シャフトと、
前記回転シャフトを回転可能に支持するための軸受と、
前記回転シャフトに接続され、前記回転シャフトの径方向に沿って延びるアームと、
出力部を有し、前記出力部を前記回転シャフトの周方向に沿って線形に動かすように構成されたリニアモータと、
前記出力部及び前記アームに接続され、前記出力部の動きを前記アームに伝達するための弾性体と、
を備える。
【０００８】
また、本発明の少なくとも一実施形態に係るビームプロファイル測定装置は、
光学素子と、
前記光学素子を回転駆動させるように構成された上述の光学系の駆動装置と、
前記光学素子を通過したビームを撮像するための撮像部と、
を備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の少なくとも一実施形態によれば、省スペースでありながら、光学系の回転量を精密な調節が可能な光学系の駆動装置及びビームプロファイル測定装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
一実施形態に係るビームプロファイル測定装置が適用される造形装置を示す概略的な模式図である。
一実施形態に係るビームプロファイル測定装置が適用される造形装置を示す概略的な模式図である。
一実施形態に係る光学系の駆動装置を含むビームプロファイル測定装置の概略図である。
図３に示すビームプロファイル測定装置の一部を示す概略的な平面図である。
一実施形態に係るビームプロファイル測定装置における撮像部を含む測定部を示す概略図である。
一実施形態に係る光学系の駆動装置の概略図である。
一実施形態に係る光学系の駆動装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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