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公開番号2024165265
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-28
出願番号2023081305
出願日2023-05-17
発明の名称光導波路装置
出願人新光電気工業株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 6/122 20060101AFI20241121BHJP(光学)
要約【課題】シリコンフォトニクスチップがコア層の上面に対して傾いて搭載されるおそれを低減可能な光導波路装置を提供する。
【解決手段】本光導波路装置は、配線基板と、前記配線基板の上に形成された第1クラッド層と、前記第1クラッド層の上に形成されたコア層と、前記第1クラッド層の上に形成され、前記コア層を選択的に被覆する第2クラッド層と、前記第1クラッド層の上に、前記コア層と離隔して形成された1又は複数の台座と、を有し、前記コア層の長手方向の一端、及び前記台座は、前記第2クラッド層から露出する部品搭載領域に配置され、前記台座は、前記コア層と同一材料により、前記コア層と同一厚さに形成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
配線基板と、
前記配線基板の上に形成された第１クラッド層と、
前記第１クラッド層の上に形成されたコア層と、
前記第１クラッド層の上に形成され、前記コア層を選択的に被覆する第２クラッド層と、
前記第１クラッド層の上に、前記コア層と離隔して形成された１又は複数の台座と、を有し、
前記コア層の長手方向の一端、及び前記台座は、前記第２クラッド層から露出する部品搭載領域に配置され、
前記台座は、前記コア層と同一材料により、前記コア層と同一厚さに形成されている、光導波路装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記配線基板は、前記部品搭載領域に、接続端子となる電極を有し、
前記電極は、前記第１クラッド層に設けられた開口部内に露出している、請求項１に記載の光導波路装置。
【請求項３】
前記台座の少なくとも１つは、平面視で、前記電極を挟んで、前記コア層の前記一端と反対側に配置されている、請求項２に記載の光導波路装置。
【請求項４】
配線基板と、
前記配線基板の上に形成された第１クラッド層と、
前記第１クラッド層の上に形成されたコア層と、
前記第１クラッド層の上に形成され、前記コア層を選択的に被覆する第２クラッド層と、
前記第１クラッド層の上に、前記コア層と離隔して形成された１又は複数の台座と、
シリコンフォトニクスチップと、を有し、
前記コア層の長手方向の一端、及び前記台座は、前記第２クラッド層から露出する部品搭載領域に配置され、
前記台座は、前記コア層と同一材料により、前記コア層と同一厚さに形成され、
前記シリコンフォトニクスチップは、前記部品搭載領域に、前記コア層の前記一端、及び前記台座の、それぞれの少なくとも一部と接して配置され、前記コア層と光結合している、光導波路装置。
【請求項５】
前記配線基板は、前記部品搭載領域に、接続端子となる電極を有し、
前記配線基板の電極は、前記第１クラッド層に設けられた開口部内に露出し、
前記シリコンフォトニクスチップの電極は、前記配線基板の電極と電気的に接続されている、請求項４に記載の光導波路装置。
【請求項６】
前記台座の少なくとも１つは、平面視で、前記配線基板の電極を挟んで、前記コア層の前記一端と反対側に配置されている、請求項５に記載の光導波路装置。
【請求項７】
前記シリコンフォトニクスチップは、前記第１クラッド層と対向する面に４つの角部を備え、
前記台座は、少なくとも２つの前記角部と接する位置に１つずつ配置されている、請求項６に記載の光導波路装置。
【請求項８】
前記台座の少なくとも１つは、平面視で、前記シリコンフォトニクスチップと重なる領域と前記シリコンフォトニクスチップからはみ出る領域とを有する、請求項４乃至７のいずれか一項に記載の光導波路装置。
【請求項９】
前記第１クラッド層と、前記シリコンフォトニクスチップとの間に、アンダーフィル樹脂が配置されている、請求項４乃至７のいずれか一項に記載の光導波路装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
各種のコンピュータやデータ通信などの装置が設置されたデータセンター等において、シリコンフォトニクスチップと光導波路とを有する光導波路装置を用いて光信号の送受信が行われている。このような光導波路装置では、光導波路のコア層とシリコンフォトニクスチップのシリコン導波路とが光結合されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許２０１８－２００３３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような光導波路装置では、光導波路のコア層と、シリコンフォトニクスチップのシリコン導波路との高さ合わせが困難である。そのため、シリコンフォトニクスチップが、コア層の上面に対して傾いて搭載される場合があった。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、シリコンフォトニクスチップがコア層の上面に対して傾いて搭載されるおそれを低減可能な光導波路装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本光導波路装置は、配線基板と、前記配線基板の上に形成された第１クラッド層と、前記第１クラッド層の上に形成されたコア層と、前記第１クラッド層の上に形成され、前記コア層を選択的に被覆する第２クラッド層と、前記第１クラッド層の上に、前記コア層と離隔して形成された１又は複数の台座と、を有し、前記コア層の長手方向の一端、及び前記台座は、前記第２クラッド層から露出する部品搭載領域に配置され、前記台座は、前記コア層と同一材料により、前記コア層と同一厚さに形成されている。
【発明の効果】
【０００７】
開示の技術によれば、シリコンフォトニクスチップがコア層の上面に対して傾いて搭載されるおそれを低減可能な光導波路装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係る光導波路装置を例示する図である。
第１実施形態に係る光導波路装置の製造工程を例示する図（その１）である。
第１実施形態に係る光導波路装置の製造工程を例示する図（その２）である。
第２実施形態に係る光導波路装置を例示する図である。
第２実施形態に係る光導波路装置の製造工程を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１０】
〈第１実施形態〉
［光導波路装置］
図１は、第１実施形態に係る光導波路装置を例示する図であり、図１（ａ）は、平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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