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公開番号2024168606
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-05
出願番号2023085432
出願日2023-05-24
発明の名称照明装置および検査装置
出願人日亜化学工業株式会社
代理人弁理士法人iX
主分類G01N 21/84 20060101AFI20241128BHJP(測定;試験)
要約【課題】照射対象物を照射する光の輝度むらを低減する照明装置および検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る照明装置は、光源モジュールと、光反射部材と、を備える。前記光源モジュールは、第1面を有する基板と、前記第1面上に配列され、第1光と前記第1光よりも輝度が低い第2光とを含む光をそれぞれ出射可能な複数の光源と、を有する。前記光反射部材は、前記複数の光源のそれぞれが出射する前記光を反射する反射面を有する。前記反射面は、前記第1光を反射する第1反射面と、前記第2光を反射する第2反射面とを含む。前記第2反射面は、前記第1反射面よりも前記基板側に位置する。前記複数の光源のうちの1つの光源から出射された前記光は、前記第1反射面で反射された前記第1光と、前記第2反射面で反射された前記第2光とが集光点において集光する。
【選択図】図7A
特許請求の範囲【請求項１】
第１面を有する基板と、前記第１面上に配列され、第１光と前記第１光よりも輝度が低い第２光とを含む光をそれぞれ出射可能な複数の光源と、を有する光源モジュールと、
前記複数の光源のそれぞれが出射する前記光を反射する反射面を有する光反射部材と、
を備え、
前記反射面は、前記第１光を反射する第１反射面と、前記第２光を反射する第２反射面とを含み、
前記第２反射面は、前記第１反射面よりも前記基板側に位置し、
前記複数の光源のうちの１つの光源から出射された前記光は、前記第１反射面で反射された前記第１光と、前記第２反射面で反射された前記第２光とが集光点において集光する照明装置。
続きを表示（約 800 文字）【請求項２】
前記複数の光源のそれぞれが出射する前記光は、ランバーシアン配光を有する請求項１記載の照明装置。
【請求項３】
前記第１反射面は、前記複数の光源が出射する複数の前記第１光を反射し、
前記第２反射面は、前記複数の光源が出射する複数の前記第２光を反射し、
複数の前記第１光は、複数の前記第２光と、複数の前記集光点においてそれぞれ集光する請求項１記載の照明装置。
【請求項４】
前記複数の光源は、環状に配置され、
前記複数の光源が出射した複数の前記光は、前記反射面でそれぞれ反射され、照射対象物に向かってそれぞれ進行する請求項１記載の照明装置。
【請求項５】
前記複数の光源は、弧状に配置され、
前記複数の光源が出射した複数の前記光は、前記反射面でそれぞれ反射され、照射対象物に向かってそれぞれ進行する請求項１記載の照明装置。
【請求項６】
前記複数の光源のうちの一部の光源は、前記複数の光源のうちの残りの光源よりも外側に配置された請求項４記載の照明装置。
【請求項７】
前記集光点は、前記反射面と前記照射対象物との間に位置する請求項４記載の照明装置。
【請求項８】
前記第１反射面は、前記第２反射面に連続する曲面であり、
前記曲面は、非球面多項式の円錐定数ｋが－１＜ｋ＜０の関係を満たす請求項１記載の照明装置。
【請求項９】
前記第１反射面は、互いに角度の異なる複数の反射平面を含み、
前記第２反射面は、互いに角度の異なる複数の反射平面を含む請求項１記載の照明装置。
【請求項１０】
前記複数の光源のそれぞれは、発光素子を含む表面実装型の発光装置である請求項１記載の照明装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
実施形態は、照明装置および検査装置に関する。
続きを表示（約 3,100 文字）【背景技術】
【０００２】
照射対象物に光を当てて、たとえばその表面形状を観察するための照明装置がある。また、このような照明装置によって光を当てて検査対象物を撮像する検査装置がある（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような照明装置および検査装置では、鮮明な像を観察するために、照射対象物に輝度むらが低減した光を当てたいとの要求がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－６３２４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の一実施形態は、照射対象物を照射する光の輝度むらを低減する照明装置および検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、照明装置は、第１面を有する基板と、前記第１面上に配列され、第１光と前記第１光よりも輝度が低い第２光とを含む光をそれぞれ出射可能な複数の光源と、を有する光源モジュールと、前記複数の光源のそれぞれが出射する前記光を反射する反射面を有する光反射部材と、を備える。前記反射面は、前記第１光を反射する第１反射面と、前記第２光を反射する第２反射面とを含む。前記第２反射面は、前記第１反射面よりも前記基板側に位置する。前記複数の光源のうちの１つの光源から出射された前記光は、前記第１反射面で反射された前記第１光と、前記第２反射面で反射された前記第２光とが集光点において集光する。
【０００７】
本発明の一態様によれば、照明装置は、第１面を有する基板と、前記第１面上で、第１光と前記第１光よりも輝度が低い第２光とをそれぞれ含む光を出射可能な複数の光源と、を有する光源モジュールと、前記複数の光源のそれぞれが出射する光を反射する反射面を有する光反射部材と、を含む中間部材を複数備える。前記複数の中間部材のそれぞれでは、前記反射面は、前記第１光を反射する第１反射面と、前記第２光を反射する第２反射面とを含む。前記第２反射面は、前記第１反射面よりも前記基板側に位置する。前記複数の光源のうちの１つの光源から出射された前記光は、前記第１反射面で反射された前記第１光と、前記第２反射面で反射された前記第２光とが集光点において集光する。前記複数の光源は、弧状に配置される。前記複数の光源がそれぞれ出射した複数の前記光は、前記反射面で反射されて照射対象物に向かって進行する。前記複数の中間部材は、相互に接続される。
【０００８】
本発明の一態様によれば、検査装置は、照明装置と、前記照明装置から離隔して配置され、前記照明装置から出射される前記光が照射された検査対象物を撮像する撮像装置と、を備える。前記照明装置は、第１面を有する基板と、前記第１面上に配列され、第１光と前記第１光よりも輝度が低い第２光とを含む光をそれぞれ出射可能な複数の光源と、を有する光源モジュールと、前記複数の光源のそれぞれが出射する前記光を反射する光反射部材と、を有する。前記反射面は、前記第１光を反射する第１反射面と、前記第２光を反射する第２反射面とを含む。前記第２反射面は、前記第１反射面よりも前記基板側に位置する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一実施形態によれば、照射対象物を照射する光の輝度むらを低減する照明装置および検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１の実施形態に係る照明装置を例示する模式的な斜視図である。
第１の実施形態に係る照明装置を例示する模式的な上面図である。
第１の実施形態に係る照明装置の光源モジュールを例示する模式的な下面図である。
第１の実施形態に係る照明装置の光源モジュールを例示する模式的な側面図である。
第１の実施形態に係る照明装置の光源モジュールの一部を例示する模式的な断面図である。
第１の実施形態に係る照明装置の光源モジュールの一部を例示する模式的な断面図である。
図２のＶ－Ｖ線における模式的な断面図である。
図２のＶ－Ｖ線における模式的な斜視断面図である。
第１の実施形態に係る照明装置の動作を説明するための模式的な断面図である。
図７ＡのＶＩＩＢ部の模式的な拡大図である。
第１の実施形態に係る照明装置の動作を説明するための模式図である。
参考例１に係る照明装置の動作を説明するための模式的な断面図である。
第１の実施形態に係る照明装置を動作させて取得したグラフ図である。
参考例１に係る照明装置を動作させて取得したグラフ図である。
第１の実施形態に係る照明装置および参考例１に係る照明装置の照度分布の測定結果をまとめて示すグラフ図である。
他の参考例２に係る照明装置の動作を説明するための模式的な断面図である。
他の参考例３に係る照明装置の動作を説明するための模式的な断面図である。
図１１の照明装置を動作させて取得したグラフ図である。
図１２の照明装置を動作させて取得したグラフ図である。
第１の実施形態に係る照明装置、図１１の照明装置および図１２の照明装置のそれぞれ照度分布の測定結果をまとめて示すグラフ図である。
第２の実施形態に係る照明装置を例示する模式的な斜視図である。
第２の実施形態に係る照明装置を例示する模式的な断面図である。
第３の実施形態に係る照明装置を例示する模式的な斜視図である。
第３の実施形態に係る照明装置の光源モジュールを例示する模式的な下面図である。
第４の実施形態に係る照明装置を例示する模式的な斜視図である。
第４の実施形態に係る照明装置の光源モジュールを例示する模式的な下面図である。
第５の実施形態に係る照明装置の光源モジュールを例示する模式的な下面図である。
第５の実施形態の変形例に係る照明装置の光源モジュールを例示する模式的な下面図である。
第５の実施形態の他の変形例に係る照明装置の光源モジュールを例示する模式的な下面図である。
第６の実施形態に係る照明装置を例示する模式的な上面図である。
第６の実施形態に係る照明装置を例示する模式的な斜視図である。
第６の実施形態の変形例に係る照明装置を例示する模式的な上面図である。
第６の実施形態の変形例に係る照明装置を例示する模式的な斜視図である。
第７の実施形態に係る照明装置の製造方法を例示する模式的な分解組立図である。
第７の実施形態に係る照明装置の製造方法を例示する模式的な分解組立図である。
第７の実施形態に係る照明装置の製造方法を例示する模式的な斜視完成図である。
第８の実施形態に係る照明装置の模式的な断面図である。
第９の実施形態に係る検査装置を例示する模式的なブロック図である。
第９の実施形態の変形例に係る検査装置を例示する模式的なブロック図である。
第９の実施形態の他の変形例に係る検査装置の一部を例示する模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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