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公開番号2024164750
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-27
出願番号2023080453
出願日2023-05-15
発明の名称エレクトレットを備えるデバイスの特性調整方法、デバイスの製造方法、及び、エレクトレット
出願人学校法人立命館,国立大学法人群馬大学
代理人個人
主分類H01L 21/336 20060101AFI20241120BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】エレクトレットの表面電位に影響を受けるデバイスの特性を調整する。
【解決手段】開示の方法は、エレクトレットを備えるデバイスの特性を調整する方法であって、前記エレクトレットは、光の照射によって表面電位が変化する材料によって構成され、前記方法は、前記エレクトレットの前記表面電位を変化させる光を前記エレクトレットに対して照射することで、前記表面電位を変化させて、前記表面電位に依存するデバイス特性を調整することを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
エレクトレットを備えるデバイスの特性を調整する方法であって、
前記エレクトレットは、光の照射によって表面電位が変化する材料によって構成され、
前記方法は、前記エレクトレットの前記表面電位を変化させる光を前記エレクトレットに対して照射することで、前記表面電位を変化させて、前記表面電位に依存するデバイス特性を調整することを含む
デバイスの特性調整方法。
続きを表示（約 800 文字）【請求項２】
前記光を照射することは、
前記エレクトレットが形成されている領域全体よりも狭い領域に対して前記光を照射すること、又は、
前記エレクトレットが形成されている領域内における位置に応じて光の強度及び照射時間の少なくともいずれか一方が異なるように光を照射することである
請求項１に記載のデバイスの特性調整方法。
【請求項３】
前記光を照射することは、マスクレス露光機によって行われる
請求項１に記載のデバイスの特性調整方法。
【請求項４】
前記エレクトレットは、自己組織化エレクトレットである
請求項１に記載のデバイスの特性調整方法。
【請求項５】
前記デバイスは、前記エレクトレットを備えるＭＥＭＳ素子を備え、
前記デバイス特性は、前記ＭＥＭＳ素子の特性を含む
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のデバイスの特性調整方法。
【請求項６】
前記デバイスは、前記エレクトレットを備える電子回路を備え、
前記デバイス特性は、前記電子回路の回路特性を含む
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のデバイスの特性調整方法。
【請求項７】
エレクトレットを備えるデバイスの製造方法であって、
光の照射によって表面電位が変化し得るエレクトレットを、デバイスに設け、
前記エレクトレットを前記デバイスに設けた後に、前記エレクトレットに対して、前記光を照射することで、前記表面電位を変化させて、前記表面電位に依存するデバイス特性を調整する
ことを含む、デバイスの製造方法。
【請求項８】
エレクトレット表面の面内位置に応じて表面電位が異なるように制御された表面電位分布を有する、エレクトレット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、エレクトレットを備えるデバイスの特性調整方法、デバイスの製造方法、及び、エレクトレットに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
エレクトレットは、強い誘電性をもった絶縁体に電場を加えて電気分極を起こさせ、その電場を去っても帯電が保たれている物質である。エレクトレットと電子回路又はＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）とを組み合わせることで、小型のマイクロフォンや振動発電素子などを構成することができる。
【０００３】
特許文献１－３は、エレクトレットを備えるデバイスを開示している。特許文献１はエレクトレットを備える振動発電器を開示し、特許文献２はエレクトレットを備える振動発電素子を開示し、特許文献３はエレクトレットを形成したＭＥＭＳ素子を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－０３６４２３号公報
特開２０２１－０４０３８９号公報
特開２０２２－２９５９６号公報
【発明の概要】
【０００５】
エレクトレットは帯電しているため表面電位を持つ。エレクトレットの表面電位は、エレクトレット材料・寸法・荷電処理などで決まる。このため、エレクトレットを製造した時点でその表面電位は決まってしまう。その結果、エレクトレットの製造後には、再荷電処理以外の方法では、表面電位を調整することはできなかった。なお、エレクトレットの再荷電処理は、減衰した表面電位を基に戻す作業であり、表面電位の制御には適用できない。
【０００６】
エレクトレットの表面電位は、エレクトレットを備えたデバイスの特性・性能を左右することがある。したがって、エレクトレットによって、その表面電位に影響を受けるデバイスの特性を調整することが考えられる。しかし、エレクトレット製造後に表面電位を調整することができなければ、デバイスの特性の調整は困難である。
【０００７】
したがって、かかる問題を解決するための技術の提供又はそれに関連した技術の提供が望まれる。
【０００８】
本開示のある側面は、デバイス調整方法である。開示の方法は、エレクトレットを備えるデバイスの特性を調整する方法であって、前記エレクトレットは、光の照射によって表面電位が変化する材料によって構成され、前記方法は、前記エレクトレットの前記表面電位を変化させる光を前記エレクトレットに対して照射することで、前記表面電位を変化させて、前記表面電位に依存するデバイス特性を調整することを含む。
【０００９】
本開示の他の側面は、デバイスの製造方法である。開示の方法は、エレクトレットを備えるデバイスの製造方法であって、光の照射によって表面電位が変化し得るエレクトレットを、デバイスに設け、前記エレクトレットを前記デバイスに設けた後に、前記エレクトレットに対して、前記光を照射することで、前記表面電子を変化させて、前記表面電位に依存するデバイス特性を調整することを含む。
【００１０】
本開示の他の側面は、エレクトレットである。開示のエレクトレットは、エレクトレット表面の面内位置に応じて表面電位が異なるように制御された表面電位分布を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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