特許ウォッチ

公開番号2024152660
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-25
出願番号2024061326
出願日2024-04-05
発明の名称蒸着装置
出願人三星ディスプレイ株式會社,Samsung Display Co.,Ltd.
代理人弁理士法人PORT
主分類C23C 14/24 20060101AFI20241018BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】るつぼに均一に熱を伝達することができる蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着装置1000は、収容空間130を定義する分離膜120を有するるつぼ100と、るつぼを加熱させ、分離膜に重なる支持部230が形成された下部フレーム220を有するフレーム構造物200とを含む。前記支持部のそれぞれは、前記分離膜のそれぞれに重なってもよい。前記分離膜は、第1の方向に沿って並んで配列され、前記支持部は、前記第1の方向に沿って並んで配列されてもよい。前記分離膜の前記第1の方向における幅は、前記支持部の前記第1の方向における幅と同一であってもよい。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
収容空間を定義する分離膜を有するるつぼと、
前記るつぼを加熱させ、前記分離膜に重なる支持部が形成された下部フレームを有するフレーム構造物と、を含むことを特徴とする蒸着装置。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
前記支持部のそれぞれは、前記分離膜のそれぞれに重なることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記分離膜は、第１の方向に沿って並んで配列され、
前記支持部は、前記第１の方向に沿って並んで配列されることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記分離膜の前記第１の方向における幅は、前記支持部の前記第１の方向における幅と同一であることを特徴とする請求項３に記載の蒸着装置。
【請求項５】
ヒーターを更に含み、
前記フレーム構造物は、更に、前記るつぼの側部に隣接する側部フレームを有し、
前記下部フレーム及び前記側部フレームは、金属を含み、
前記ヒーターは、前記側部フレームに固定されることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記ヒーターで発生した熱が前記側部フレームを通じて前記支持部に伝達され、
前記支持部に伝達された前記熱により、前記分離膜が間接に加熱されることを特徴とする請求項５に記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記分離膜のそれぞれには、前記収容空間の間を連通させる開口が形成されることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項８】
前記下部フレームは、更に、前記支持部の間に位置する下部遮蔽板を有することを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項９】
前記フレーム構造物は、更に、
前記るつぼの側部に隣接する側部フレームと、
前記側部フレーム内に形成された冷却装置と、を有することを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項１０】
前記フレーム構造物は、更に、前記るつぼの側部に隣接する側部フレームを有し、
前記支持部は、前記側部フレームの熱伝導率よりも小さい熱伝導率を有することを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置に関する。より詳しくは、本発明は、表示装置を製造する工程に用いられる蒸着装置に関する。
続きを表示（約 930 文字）【背景技術】
【０００２】
表示装置は、複数の薄膜が積層された構造を有し、前記薄膜は、蒸着工程などにより形成される。例えば、前記蒸着工程は、るつぼ及びフレーム構造物を含む蒸着装置により行われる。前記るつぼ内に蒸着物質を装入し加熱すると、蒸発した前記蒸着物質がノズルを通じて噴射され、ターゲット基板に蒸着される。
【０００３】
前記蒸着工程が行われる間、前記蒸着物質が均一に蒸発することが望まれる。そこで、前記蒸着物質で加えられる熱が均一となる必要がある。しかし、前記るつぼの位置によって、前記蒸着物質に加えられる熱が均一でない場合、それにより、前記蒸着物質が前記るつぼの位置によって、不均一に焼尽するという不都合が発生する。
【０００４】
また、前記蒸着物質が液相ではなく固相である場合、前記蒸着物質が前記るつぼ内で移動しない。それにより、前記のような不都合が更に加速化する問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、るつぼに均一に熱を伝達することができる蒸着装置を提供することができる。
【０００６】
但し、本発明は、上述した目的に限定されるものではなく、本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲で、様々に拡張することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述した本発明の目的を達成するために、本発明の一実施形態による蒸着装置は、収容空間を定義する分離膜を有するるつぼと、前記るつぼを加熱させ、前記分離膜に重なる支持部が形成された下部フレームを有するフレーム構造物とを含むことを特徴とする。
【０００８】
前記支持部のそれぞれは、前記分離膜のそれぞれに重なる。
【０００９】
前記分離膜は、第１の方向に沿って並んで配列され、前記支持部は、前記第１の方向に沿って並んで配列される。
【００１０】
前記分離膜の前記第１の方向における幅は、前記支持部の前記第１の方向における幅と同一である。
（【００１１】以降は省略されています）

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