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公開番号2024144705
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-11
出願番号2024128692,2020052086
出願日2024-08-05,2020-03-24
発明の名称エッジ部のチッピング検出装置
出願人株式会社東京精密
代理人スプリング弁理士法人
主分類G01N 21/956 20060101AFI20241003BHJP(測定;試験)
要約【課題】ウエハ2あるいはツルーイング砥石エッジ部のチッピングを高精度に検出するエッジ部のチッピング検出装置を得る。
【解決手段】ウエハ2の外周縁部に形成され、その主面に対して傾斜して形成された面取り面Cのチッピングを検出するチッピング検出装置において、面取り面Cにウエハ2の主面に対して平行な方向から光を照射するLED照明装置4と、LED照明装置4から照射された光によって照明された面取り面Cと主面とを主面に対して直交する方向から撮像する撮像手段5、6と、LED照明装置4をウエハ2の中心方向から覆うように設けられた反射板1と、を備え、撮像手段5、6によって撮像された画像からチッピングを検出する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハの面取り面のチッピングを検出するチッピング検出装置において、
前記ウエハ側方から、前記面取り面に光を照射する面光源と、
前記面取り面からの反射光をとらえて撮像する撮像手段と、
前記面光源と対向し、前記面光源、及び、前記撮像手段よりも前記ウエハの中心側に設けられた拡散反射板と、を備えるチッピング検出装置。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
前記面光源は、前記ウエハの主面に平行な方向に前記ウエハと離間して配置される、請求項１に記載のチッピング検出装置。
【請求項３】
前記拡散反射板、前記撮像手段、及び、前記面光源は、前記ウエハの径方向に沿って、前記ウエハの中心側から順序で並んで配置される、請求項１に記載のチッピング検出装置。
【請求項４】
前記撮像手段は、前記面光源からの前記光、及び、前記拡散反射板による前記光の鏡面反射光が入射しない位置に配置される、請求項１に記載のチッピング検出装置。
【請求項５】
前記拡散反射板は、前記面光源を前記ウエハの中心方向から覆うように設けられた、請求項１に記載のチッピング検出装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハエッジ部の形状測定に係り、特にウエハ、あるいはツルーイング砥石エッジ部のチッピングをその端部の撮像画像に基づいて検出するエッジ部のチッピング検出装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハの製造時において、ウエハの端部（縁部）が、他の部品やウエハ保持部材と接触することによって傷ついたり、欠けたりする場合がある。さらに、その傷や欠けが原因でウエハが割れることもある。このため、ウエハの製造工程においては、その端部に生じた傷を精度良く、検出することが必要とされる。
【０００３】
例えば、特許文献１は、面取り加工されたエッジ部の形状（面取り形状：角度と面幅）を測定するため、測定対象物の端部に対し表裏各面に平行な方向から照射幅がウエハの厚さ幅よりも大きい光束を投光し、表裏各面側におけるその表面に直角の方向から２つのカメラで撮像する。そして、撮像画像における明部の像の幅を面取り加工された端面の幅として検出することを記載している。
【０００４】
また、特許文献２は、ウエハのノッチ部の研削条痕を視認するため、照明手段からノッチ部の直線部の任意点に入射する光のうち、直線状部の法線に対する光線の入射角が基準入射角以上である光線を遮光することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１０－１８１２４９号公報
特開２０１４－８５２９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来技術において、特許文献１は、単に、面取り加工された端面以外の表面が鏡面であるか非鏡面であるかに係らず、その面取り加工された端面の幅を測定したり、表裏各面それぞれの側についての測定を同時に行ったりするだけなので、ウエハエッジ部のチッピングの状態が検出できるものではない。
【０００７】
また、同様に、特許文献２は、ウエハのノッチ部の面取り面に形成されている研削条痕を視認することができるものの、ウエハエッジ部のチッピングの状態に基づいてウエハの品質を評価することができなかった。また、チッピングに照射される光量不足、光がチッピングに対して奥行き方向に照射されないこと、チッピングは面幅から欠けて形成されること、などより検出精度が低かった。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、ウエハエッジ部のチッピングを高精度に検出するエッジ部のチッピング検出装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は、ウエハの外周縁部に形成され、前記ウエハの主面に対して傾斜した面取り面のチッピングを検出するチッピング検出装置において、前記面取り面へ前記ウエハの前記主面に対して平行な方向から光を照射するＬＥＤ照明装置と、前記ＬＥＤ照明装置から照射された光によって照明された前記面取り面と前記主面とを前記主面に対して直交する方向から撮像する撮像手段と、前記ＬＥＤ照明装置を前記ウエハの中心方向から覆うように設けられた反射板と、を備え、前記撮像手段によって撮像された画像から前記チッピングを検出するものである。
【００１０】
また、上記のチッピング検出装置において、前記反射板は、前記ＬＥＤ照明装置側が前記面取り面を前記ウエハの前記中心方向へ超えた位置に設置されたことが望ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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