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公開番号2024140530
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-10
出願番号2023051705
出願日2023-03-28
発明の名称配管の断熱構造体
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20241003BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】施工性がよく安定した断熱性能を得ることができる配管の断熱構造体を提供する。
【解決手段】アルミフレーム72によって冷却管24の外周部を、断熱空間76を介して覆い、且つ、断熱性を有する保持具74によって冷却管24をアルミフレーム72に保持させる。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
プローバ用ウェーハチャックに流体を流す配管と、
前記配管の外周部を、空気層による断熱空間を介して覆う筒状のカバー部材と、
前記カバー部材の内部に配置され、前記配管を前記カバー部材に保持させる断熱性を有する保持具と、
を備える配管の断熱構造体。
続きを表示（約 320 文字）【請求項２】
前記保持具は、前記配管の軸方向に間隔を空けて複数配置される、
請求項１に記載の配管の断熱構造体。
【請求項３】
前記カバー部材の端部は、前記配管を前記カバー部材の外部に延出させる開口部を有し、前記開口部と前記配管との間の隙間が断熱性を有するキャップによって封止される、
請求項１又は２に記載の配管の断熱構造体。
【請求項４】
前記カバー部材は、前記カバー部材の内部にドライエアを供給及び放出することが可能である、
請求項３に記載の配管の断熱構造体。
【請求項５】
前記カバー部材は、アルミフレームである、
請求項４に記載の配管の断熱構造体。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、配管の断熱構造体に係り、特にプローバのウェーハチャックに流体を供給する配管の断熱構造体に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程では、半導体ウェーハに各種の処理を施して、デバイスを有する複数のチップを形成する。各チップは電気的特性が検査され、その後ダイサーで分断された後、リードフレーム等に固定されて組み立てられる。
【０００３】
チップの電気的特性の検査は、テスタを備えたプローバによって実施される。プローバは、ウェーハをウェーハチャックに保持させて、各チップの電極パッドにプローブを接触させる。テスタは、プローブに接続される端子から電源及び各種の試験信号をチップに供給し、チップの電極に出力される信号を解析することにより正常に動作するかを確認する。
【０００４】
製品化されたデバイスは広い用途に使用され、例えば－５５℃以下の低温環境下で使用される場合がある。このため、プローバにはこのような低温環境下での検査が行えることが要求される。そこで、チラー機構等の冷却システムをプローバに搭載し、これらの冷却システムによってウェーハチャックを設定温度に冷却することにより、上記の低温環境下での検査を可能としている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
上記の冷却システムにおいて、低温の流体（以下、冷却液とも言う。）を流す配管（以下、冷却管とも言う。）は、一般的に冷却管の外表面にスポンジ状の発泡樹脂（断熱材）を取り付けることにより冷却管を外部の熱から断熱している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００８－３１１４８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の配管の断熱構造体は、断熱材を冷却管に取り付ける施工作業が作業者の手作業によるものなので、作業者の熟練度の差によって断熱性能が左右される。このため、この断熱構造体をプローバの冷却システムに適用しても断熱性能を得るには限界がある。また、施工性についても以下のような問題がある。
【０００８】
例えば、断熱材の施工時に有機溶剤（接着剤）を使用する場合には、換気設備等が必要になる。また、断熱材を潰さないように冷却管を他の部材に固定する場合、断熱材から冷却管の一部を露出させ、この露出部を、固定部品を利用して他の部材に固定する方法があるが、この方法では冷却管の熱が固定部品に伝わるため断熱施工箇所が増えてしまうデメリットがある。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、施工性がよく安定した断熱性能を得ることができる配管の断熱構造体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の配管の断熱構造体は、プローバ用ウェーハチャッ
クに流体を流す配管と、配管の外周部を、空気層による断熱空間を介して覆う筒状のカバー部材と、カバー部材の内部に配置され、配管をカバー部材に保持させる断熱性を有する保持具と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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