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公開番号2024126951
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-20
出願番号2023035738
出願日2023-03-08
発明の名称基板トレイ及び膜付き基板製造方法
出願人株式会社カネカ
代理人個人,個人
主分類C23C 14/50 20060101AFI20240912BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】基板の配置及び取り出しが容易な基板トレイを提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる基板トレイ1は、基板Sを水平に保持し、前記基板Sの裏面の外縁部の全周に亘って連続して当接する当接面3を有する基板トレイ1であって、前記当接面3の一部を構成し、前記基板Sを支持可能な支持面121を有するトレイ本体10と、前記支持面121を補完して前記当接面3を完成させる補助面21、及び前記基板Sが配置されない領域に露出する操作面22を有し、前記補助面21を前記支持面121と面一に配置する標準位置と前記補助面21を前記支持面121よりも下方に配置する後退位置との間で移動するよう前記トレイ本体10に配設される可動体20と、前記可動体20を前記標準位置に向かって付勢し、前記操作面22の押圧により前記可動体20を前記後退位置に向かって移動させ得る付勢部材30と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板を水平に保持し、前記基板の裏面の外縁部の全周に亘って連続して当接する当接面を有する基板トレイであって、
前記当接面の一部を構成し、前記基板を支持可能な支持面を有するトレイ本体と、
前記支持面を補完して前記当接面を完成させる補助面、及び前記基板が配置されない領域に露出する操作面を有し、前記補助面を前記支持面と面一に配置する標準位置と前記補助面を前記支持面よりも下方に配置する後退位置との間で移動するよう前記トレイ本体に配設される可動体と、
前記可動体を前記標準位置に向かって付勢し、前記操作面の押圧により前記可動体を前記後退位置に向かって移動させ得る付勢部材と、
を備える、基板トレイ。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
前記可動体は、前記基板の対向する一対の側縁の互いに正対し合う位置にそれぞれ配設される、請求項１に記載の基板トレイ。
【請求項３】
前記トレイ本体は、ベースプレートと、前記ベースプレートの上面に取り付けられ、前記支持面と、前記可動体を前記標準位置に係止する係止部とが形成された支持部材と、を有し、
前記付勢部材は、前記可動体と前記ベースプレートの間に挟み込まれる、請求項１又は２に記載の基板トレイ。
【請求項４】
単一の前記ベースプレートに複数の前記支持部材が取り付けられ、前記支持部材はそれぞれ単一の前記基板を支持する、請求項３に記載の基板トレイ。
【請求項５】
請求項１又は２に記載の基板トレイにより前記基板を水平に保持した状態で成膜を行う工程を備える、膜付き基板製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板トレイに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
基板に成膜を行う製造設備及び膜付き基板製造方法において、基板を保持する基板トレイが用いられる。基板トレイは、板状又はフレーム状の部材に基板を受け容れる凹部を形成した構成とされることが多い。このような基板トレイは、成膜装置への基板の搬入及び搬出のためだけでなく、成膜プロセス中に基板を保持するためにも用いられる。
【０００３】
基板トレイへの基板の配置、及び、基板トレイからの基板の取り出しは、基板の側縁部の下面を支持する爪を有する複数の指状部材（フィンガー）を、基板の側方に差し込むことによって行われる。このため、上方から指状部材を基板の側方に挿入することが可能となるよう、基板トレイの基板を受け容れる凹部を局所的に拡大した構造とすることも提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
一方、例えば基板上面のみに成膜を行い、基板の裏面の全面又は外縁部には成膜しないようにしたい場合がある。このような場合、基板トレイは、基板の裏面の外縁部の全周に亘って当接し、成膜ガスが裏側に入り込まないようする必要がある。このような成膜ガスの遮断を確実にするために、基板トレイの凹部の外縁部に基板との密着性が高いマスクを配置することも提案されている（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平１１－１３１２３２号公報
特開２００５－５４２４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１のように、指状部材の挿入を可能にするよう基板トレイの凹部を局所的に拡大すると、この部分から成膜ガスが基板の裏面側に入り込んで意図しない部位に成膜されてしまう。しかしながら、特許文献２のように基板トレイが基板の裏面の外縁部の全周に亘って当接する構成とすると、基板トレイへの基板の配置及び基板トレイからの基板の取り出しが煩雑となり、作業性が低下する。
【０００７】
このため、本発明は、基板の裏面側への成膜ガス回り込みを防止でき、且つ基板の配置及び取り出しが容易な基板トレイ及び膜付き基板製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発の一態様に係る基板トレイは、基板を水平に保持し、前記基板の裏面の外縁部の全周に亘って連続して当接する当接面を有する基板トレイであって、前記当接面の一部を構成し、前記基板を支持可能な支持面を有するトレイ本体と、前記支持面を補完して前記当接面を完成させる補助面、及び前記基板が配置されない領域に露出する操作面を有し、前記補助面を前記支持面と面一に配置する標準位置と前記補助面を前記支持面よりも下方に配置する後退位置との間で移動するよう前記トレイ本体に配設される可動体と、前記可動体を前記標準位置に向かって付勢し、前記操作面の押圧により前記可動体を前記後退位置に向かって移動させ得る付勢部材と、を備える。
【０００９】
上述の基板トレイにおいて、前記可動体は、前記基板の対向する一対の側縁の互いに正対し合う位置にそれぞれ配設されてもよい。
【００１０】
上述の基板トレイにおいて、前記トレイ本体は、ベースプレートと、前記ベースプレートの上面に取り付けられ、前記支持面と、前記可動体を前記標準位置に係止する係止部とが形成された支持部材と、を有し、前記付勢部材は、前記可動体と前記ベースプレートの間に挟み込まれてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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