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公開番号2024119495
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-03
出願番号2023026424
出願日2023-02-22
発明の名称センサ部材
出願人TDK株式会社
代理人前田・鈴木国際特許弁理士法人
主分類G01L 9/00 20060101AFI20240827BHJP(測定;試験)
要約【課題】破損するリスクの少ないセンサ部材を提供すること。
【解決手段】センサ部材2は、メンブレン3と、前記メンブレン3の一部を被覆する保護膜4と、前記メンブレン3に接続する電極部5と、を有するセンサ部材2であって、前記電極部5は、前記保護膜4の少なくとも一部を覆っている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
メンブレンと
前記メンブレンの一部を被覆する保護膜と、
前記メンブレンに接続する電極部と、を有するセンサ部材であって、
前記電極部は、前記保護膜の少なくとも一部を覆っているセンサ部材。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
前記電極部は、金を有する実装層を有する請求項１に記載のセンサ部材。
【請求項３】
前記電極部は、白金族元素からなる拡散防止層を有する請求項１に記載のセンサ部材。
【請求項４】
前記電極部は、前記メンブレンと密着する密着層を有する請求項１に記載のセンサ部材。
【請求項５】
前記保護膜は、酸窒化物からなる請求項１に記載のセンサ部材。
【請求項６】
前記メンブレンは、金属基材と、前記金属基材に載置される絶縁膜と、前記絶縁膜に載置される歪抵抗膜と、を有する請求項１に記載のセンサ部材。
【請求項７】
前記電極部は、前記歪抵抗膜の上層で、前記歪抵抗膜よりも外側に広がって配置してある請求項６に記載のセンサ部材。
【請求項８】
前記電極部は、前記歪抵抗膜の上層で、前記歪抵抗膜よりも内側に配置してある請求項６に記載のセンサ部材。
【請求項９】
前記歪抵抗膜は、圧力を検知する抵抗部を有する請求項１～８のいずれかに記載のセンサ部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば圧力センサなどに用いられるセンサ部材に関する。
続きを表示（約 780 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１のように、歪抵抗膜を有する膜状のセンサが知られている。このようなセンサでは、歪抵抗膜を保護するために、歪抵抗膜を覆うように保護膜が形成してある。
【０００３】
しかしながら、保護膜には、密着性が悪い部分があり、剥離不良を生じるリスクがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開2005-249520号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の実情を鑑みてなされ、その目的は、破損するリスクの少ないセンサ部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係るセンサ部材は、
メンブレンと
前記メンブレンの一部を被覆する保護膜と、
前記メンブレンに接続する電極部と、を有するセンサ部材であって、
前記電極部は、前記保護膜の少なくとも一部を覆っている。
【０００７】
このように構成することで、保護膜上に電極が形成されるため、保護膜の端から剥離するような剥離不良や衝撃による破損を防止できる。
【０００８】
好ましくは、前記電極部は、金を有する実装層を有する。
【０００９】
実装層が金を有するものであることにより、耐熱性の良好なＡｕ配線に対する実装層の密着性が特に良好となる。したがって、このような実装層を有する電極部は、高温耐性が向上するとともに、配線に対する良好な密着力を奏する。
【００１０】
好ましくは、前記電極部は、白金族元素からなる拡散防止層を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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